【技术实现步骤摘要】
本技术涉及减震技术，尤其涉及一种减震结构及具有该减震结构的晶圆手指、机器人。
技术介绍
1、目前，由于机械手在晶圆传片过程中，始终存在加减速过程，由此产生的悬臂振动不可避免。常规操作是优化加减速曲线，控制加/减速时间来改善末端执行器的振动情况。
2、通常大气机械手由于末端晶圆多采用夹持或者真空吸附，因此在振动发生，到逐渐消失的过程中，晶圆所处的位置不会发生变化。因此只需考虑机械手的传片精度即可。但是对于真空机械手来说，其晶圆固定完全依赖被动摩擦力来保持，除了要考虑机械手传片精度，还要考虑晶圆受到振动影响而产生的位置移动。
3、鉴于上述情况，本领域亟待一种减震方案来改善机械手末端执行器在运动时产生的振动现象，以优化此类振动带来的晶圆位置变化问题。
技术实现思路
1、为此，本技术的主要目的在于提供一种减震结构及具有该减震结构的晶圆手指、机器人，以改善传片时悬臂振动带来的晶圆位置变化问题。
2、为了实现上述目的，根据本技术的一个方面，提供了一种减震结构，其设置在机械手末端执行器的尾端，其包括：底板、盖板、减震组件，所述底板设有第一缓震槽，以当底板与盖板相合时定义出减震腔，所述减震组件收纳在减震腔内，其中所述减震组件包括：弹性件、震荡件，所述震荡件经弹性件在减震腔内震荡。
3、优选地，其中所述弹性件为弹簧，所述弹簧设置在震荡件两端，所述震荡件经弹簧在减震腔内震荡。
4、优选地，其中减震结构还包括：导轨，其设置在第一缓震槽内，所述震
5、优选地，其中减震结构，还包括：导轨，其成对间隔布设在第一缓震槽内，且所述第一缓震槽内位于导轨间隔处还设有导槽以供容纳弹性件，所述震荡件上设有滑槽，以供与导轨配接形成导轨滑块机构。
6、优选地，其中所述减震组件包括数个震荡件，其中数个震荡件经弹性件串联成组。
7、优选地，其中所述弹性件为减震棉，所述震荡件与减震腔壁之间填充有减震棉，以允许震荡件在减震棉的裹挟下，在减震腔内震荡。
8、优选地，其中所述减震组件包括数个震荡件，其中各震荡件间经减震棉间隔。
9、优选地，其中减震结构，还包括：导轨，其设置在第一缓震槽内，所述震荡件上设有滑槽，以供与导轨配接形成导轨滑块机构。
10、为了实现上述目的，对应上述减震结构，根据本技术的另一个方面，还提供了一种晶圆手指，其中所述晶圆手指的尾端采用如上任一所述的减震结构。
11、为了实现上述目的，对应上述减震结构，根据本技术的另一个方面，还提供了一种机器人，其包括：主体及手臂，其中所述手臂的末端执行器采用如上所述的晶圆手指。
12、通过本技术提供的该减震结构及具有该减震结构的晶圆手指、机器人，巧妙的在末端执行器尾端设置了减震腔，以供收纳减震组件来吸收机械手高速运动时产生的振动，并以震荡方式进行消散，从而能够在狭小紧凑的空间内，在一定程度上缓解机械手末端执行器在运动时产生的振动现象，以优化此类振动带来的晶圆位置变化问题。
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1.一种减震结构，设置在机械手末端执行器的尾端，其特征在于包括：底板、盖板、减震组件，所述底板设有第一缓震槽，以当底板与盖板相合时定义出减震腔，所述减震组件收纳在减震腔内，其中所述减震组件包括：弹性件、震荡件，所述震荡件经弹性件在减震腔内震荡。
2.根据权利要求1所述的减震结构，其特征在于，所述弹性件为弹簧，所述弹簧设置在震荡件两端，所述震荡件经弹簧在减震腔内震荡。
3.根据权利要求2所述的减震结构，其特征在于，还包括：导轨，其设置在第一缓震槽内，所述震荡件上设有滑槽，以供与导轨配接形成导轨滑块机构。
4.根据权利要求2所述的减震结构，其特征在于，还包括：导轨，其成对间隔布设在第一缓震槽内，且所述第一缓震槽内位于导轨间隔处还设有导槽以供容纳弹性件，所述震荡件上设有滑槽，以供与导轨配接形成导轨滑块机构。
5.根据权利要求2所述的减震结构，其特征在于，所述减震组件包括数个震荡件，其中数个震荡件经弹性件串联成组。
6.根据权利要求1所述的减震结构，其特征在于，所述弹性件为减震棉，所述震荡件与减震腔壁之间填充有减震棉，以允许震荡
7.根据权利要求6所述的减震结构，其特征在于，所述减震组件包括数个震荡件，其中各震荡件间经减震棉间隔。
8.根据权利要求6所述的减震结构，其特征在于，还包括：导轨，其设置在第一缓震槽内，所述震荡件上设有滑槽，以供与导轨配接形成导轨滑块机构。
9.一种晶圆手指，其特征在于，所述晶圆手指的尾端采用如权利要求1至8中任一所述的减震结构。
10.一种机器人，其包括：主体及手臂，其特征在于，所述手臂的末端执行器采用如权利要求9所述的晶圆手指。
...【技术特征摘要】
1.一种减震结构，设置在机械手末端执行器的尾端，其特征在于包括：底板、盖板、减震组件，所述底板设有第一缓震槽，以当底板与盖板相合时定义出减震腔，所述减震组件收纳在减震腔内，其中所述减震组件包括：弹性件、震荡件，所述震荡件经弹性件在减震腔内震荡。
2.根据权利要求1所述的减震结构，其特征在于，所述弹性件为弹簧，所述弹簧设置在震荡件两端，所述震荡件经弹簧在减震腔内震荡。
3.根据权利要求2所述的减震结构，其特征在于，还包括：导轨，其设置在第一缓震槽内，所述震荡件上设有滑槽，以供与导轨配接形成导轨滑块机构。
4.根据权利要求2所述的减震结构，其特征在于，还包括：导轨，其成对间隔布设在第一缓震槽内，且所述第一缓震槽内位于导轨间隔处还设有导槽以供容纳弹性件，所述震荡件上设有滑槽，以供与导轨配接形成导轨滑块机构。
【专利技术属性】
技术研发人员：王申，刘锐，赵鹏程，毛丰富，方恺，
申请(专利权)人：上海广川科技有限公司，
类型：新型
国别省市：
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