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本技术提供了一种减震结构及具有该减震结构的晶圆手指、机器人，其中该减震结构，设置在机械手末端执行器的尾端，其包括：底板、盖板、减震组件，所述底板及盖板上分别设有第一及第二缓震槽，以当底板与盖板相合时经第一及第二缓震槽定义出减震腔，所述减震组...
该专利属于上海广川科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过上海广川科技有限公司授权不得商用。

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