【技术实现步骤摘要】
本技术涉及晶圆传输技术，尤其涉及一种基于闭环带传动的机械臂。
技术介绍
1、随着半导体工艺水平的不断提高，前道和后道工艺设备厂对半导体自动化传输技术提出了更高更复杂的要求。尤其对应用于真空传输平台传输腔的真空机器人机械臂的尺寸小型化提出了更为紧迫的要求，因为在满足正常功能的前提下，真空机器人机械臂的尺寸直接影响着传输腔内部的空间大小，进而会影响真空腔所能达到的真空度等级，传输腔内部空间越小越能达到更高的真空度。
2、为此技术人曾考虑采用钢带传动的方案，以利用钢带传动结构紧凑，传动精度高，免润滑性，无伸缩性，高洁净性，无静电聚集性，能够远距离传送运动和动力的特点进行设计。
3、然而却发现此类钢带传动存在着瞬间载荷过大时，容易引起打滑的现象，从而会在往复运动过程中，出现回差等严重影响精密机械传动精度的致命问题。
4、目前其他行业针对这个问题，也曾提出过一种《真空镀膜设备的传输装置》（专利申请号：201721735916.7）的方案，其采用两条开环钢带，以上下层空间错开方式，分别与主动和从动带轮配接，而开环...
【技术保护点】
1.一种基于闭环带传动的机械臂，其包括：驱动单元、大臂单元、小臂单元、末端执行器，其特征在于，驱动单元上设有同轴布置的旋转外轴、旋转内轴，所述大臂单元内设有第一闭环带轮机构，所述小臂单元内设有第二闭环带轮机构；其中所述大臂单元经第一闭环带轮机构的传动端与小臂单元的前关节部连接，所述第二闭环带轮机构的驱动端与大臂单元的后关节部连接，所述末端执行器与第二闭环带轮机构的传动端连接；所述驱动单元的旋转外轴与大臂单元的前关节部连接、旋转内轴与第一闭环带轮机构的驱动端连接。
2.根据权利要求1所述的基于闭环带传动的机械臂，其特征在于，所述第一闭环带轮机构包括：第一驱动...
【技术特征摘要】
1.一种基于闭环带传动的机械臂，其包括：驱动单元、大臂单元、小臂单元、末端执行器，其特征在于，驱动单元上设有同轴布置的旋转外轴、旋转内轴，所述大臂单元内设有第一闭环带轮机构，所述小臂单元内设有第二闭环带轮机构；其中所述大臂单元经第一闭环带轮机构的传动端与小臂单元的前关节部连接，所述第二闭环带轮机构的驱动端与大臂单元的后关节部连接，所述末端执行器与第二闭环带轮机构的传动端连接；所述驱动单元的旋转外轴与大臂单元的前关节部连接、旋转内轴与第一闭环带轮机构的驱动端连接。
2.根据权利要求1所述的基于闭环带传动的机械臂，其特征在于，所述第一闭环带轮机构包括：第一驱动轮、第一传动轮、第一传动带，其中所述第一传动轮旋转套接在大臂单元后关节部的肘轴上，所述第一驱动轮与所述驱动单元的旋转内轴连接，所述第一驱动轮与第一传动轮上嵌有滚动体，所述第一传动带为闭环带，其带体上设有与滚动体适配的穿孔，所述第一传动带与所述第一驱动轮、第一传动轮配接成带轮机构，以令滚动体随轮转伸入第一传动带的穿孔内。
3.根据权利要求2所述的基于闭环带传动的机械臂，其特征在于，所述第二闭环带轮机构包括：第二驱动轮、第二传动轮、第二传动带，其中所述第二传动轮旋转套接在小臂单元后关节部的腕轴上，所述第二驱动轮与所述大臂单元的肘轴连接，所述第二驱动轮与第二传动轮上嵌有滚动体，所述第二传动带为闭环带，其带体上设有与滚动体适配的穿孔，所述第二传动带与所述第二驱动轮、第二传动轮配接成带轮机构，以令滚动体随轮转伸入...
【专利技术属性】
技术研发人员：刘恩龙，杨琦，张菊，武一鸣，张平，曲泉铀，王贺明，李家璇，中岛隆志，川辺哲也，西超博，焦子洋，
申请(专利权)人：上海广川科技有限公司，
类型：新型
国别省市：
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