【技术实现步骤摘要】
本技术涉及半导体设备风速调整，特别是涉及一种efem中ffu自动风速调整系统。
技术介绍
1、efem（equipment front end module），是半导体设备前端模块。在efem设备中，ffu（fan filter unit风机过滤机组）对整个系统的洁净度控制起关键的作用，ffu自上而下吹出经过过滤系统的新风，将腔室内的粉尘颗粒吹向设备底部，保证晶圆表面的洁净度。
2、目前市面上的大部分efem系统，都是通过调速器调整ffu风速。这种方式由于受到efem设备的腔室的结构和布局影响而具有一定的局限性，导致每一处的风速均有较大的误差，进而导致现有技术中的调速装置无法与feem设备相适配，也导致调速精度低的问题。
技术实现思路
1、基于此，有必要针对上述技术问题，提供一种能够通过小型的风速传感器及风速采集控制模块，通过变频器调整风机的风速，从而实现风速的稳定控制，同时可以通过上位系统调整风速及记录风速数据的efem中ffu自动风速调整系统。
2、本技术技术方
【技术保护点】
1.一种EFEM中FFU自动风速调整系统，包括EFEM设备、FFU模块和变频器，所述FFU模块设置于所述EFEM设备，所述变频器与所述FFU模块电连接；其特征在于，还包括风速检测板和信号采集及处理模块，所述风速检测板设置于所述EFEM设备内并与所述FFU模块电连接，所述信号采集及处理模块与所述风速检测板和所述变频器均电连接；所述风速检测板用于检测所述EFEM设备内的风速信息，以使所述信号采集及处理模块在获取所述风速信息后根据所述风速信息驱动所述变频器调整所述FFU模块的风速。
2.根据权利要求1所述的EFEM中FFU自动风速调整系统，其特征在于，所述风速检...
【技术特征摘要】
1.一种efem中ffu自动风速调整系统，包括efem设备、ffu模块和变频器，所述ffu模块设置于所述efem设备，所述变频器与所述ffu模块电连接；其特征在于，还包括风速检测板和信号采集及处理模块，所述风速检测板设置于所述efem设备内并与所述ffu模块电连接，所述信号采集及处理模块与所述风速检测板和所述变频器均电连接；所述风速检测板用于检测所述efem设备内的风速信息，以使所述信号采集及处理模块在获取所述风速信息后根据所述风速信息驱动所述变频器调整所述ffu模块的风速。
2.根据权利要求1所述的efem中ffu自动风速调整系统，其特征在于，所述风速检测板包括板体和设置于所述板体上的风速采集处理电路，所述风速采集处理电路与所述信号采集及处理模块电连接。
3.根据权利要求2所述的efem中ffu自动风速调整系统，其特征在于，所述风速采集处理电路包括供电端、温度补偿电路、风速检测电路和信号放大电路，所述温度补偿电路与所述供电端连接，所述风速检测电路与所述温度补偿电路连接，所述信号放大电路与所述供电端和所述风速检测电路均电连接；所述信号放大电路还与所述信号采集及处理模块电连接。
4.根据权利要求3所述的efem中ffu自动风速调整系统，其特征在于，所述风速采集处理电路包括热膜式风速传感器，所述热膜式风速传感器与所述温度补偿电路和所述信号放大电路均电连接，所述热膜式风速传感器设置于所述板体的前端。
5.根据权利要求4所述的efem中ffu自动风速调整系统，其特征在于，所述...
【专利技术属性】
技术研发人员：苗义，川辺哲也，马刚，
申请(专利权)人：上海广川科技有限公司，
类型：新型
国别省市：
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