【技术实现步骤摘要】
本技术涉及半导体设备风速调整，特别是涉及一种efem中ffu自动风速调整系统。
技术介绍
1、efem（equipment front end module），是半导体设备前端模块。在efem设备中，ffu（fan filter unit风机过滤机组）对整个系统的洁净度控制起关键的作用，ffu自上而下吹出经过过滤系统的新风，将腔室内的粉尘颗粒吹向设备底部，保证晶圆表面的洁净度。
2、目前市面上的大部分efem系统，都是通过调速器调整ffu风速。这种方式由于受到efem设备的腔室的结构和布局影响而具有一定的局限性，导致每一处的风速均有较大的误差，进而导致现有技术中的调速装置无法与feem设备相适配，也导致调速精度低的问题。
技术实现思路
1、基于此，有必要针对上述技术问题，提供一种能够通过小型的风速传感器及风速采集控制模块，通过变频器调整风机的风速，从而实现风速的稳定控制，同时可以通过上位系统调整风速及记录风速数据的efem中ffu自动风速调整系统。
2、本技术技术方案如下：
3、一种efem中ffu自动风速调整系统，包括efem设备、ffu模块和变频器，所述ffu模块设置于所述efem设备，所述变频器与所述ffu模块电连接；还包括风速检测板和信号采集及处理模块，所述风速检测板设置于所述efem设备内并与所述ffu模块电连接，所述信号采集及处理模块与所述风速检测板和所述变频器均电连接；所述风速检测板用于检测所述efem设备内的风速信息，以使所述信号
4、可选地，所述风速检测板包括板体和设置于所述板体上的风速采集处理电路，所述风速采集处理电路与所述信号采集及处理模块电连接。
5、可选地，所述风速采集处理电路包括供电端、温度补偿电路、风速检测电路和信号放大电路，所述温度补偿电路与所述供电端连接，所述风速检测电路与所述温度补偿电路连接，所述信号放大电路与所述供电端和所述风速检测电路均电连接；所述信号放大电路还与所述信号采集及处理模块电连接。
6、可选地，所述风速采集处理电路包括热膜式风速传感器，所述热膜式风速传感器与所述温度补偿电路和所述信号放大电路均电连接，所述热膜式风速传感器设置于所述板体的前端。
7、可选地，所述板体前端还设有导风罩，所述热膜式风速传感器设置于所述导风罩。
8、可选地，所述导风罩内设有通孔，所述热膜式风速传感器设置于所述通孔的侧壁上。
9、可选地，所述信号放大电路包括放大器、第三十电阻、第二十九电阻和第二十七电阻；所述放大器的第一输入端与所述第三十电阻连接，所述第三十电阻还与所述供电端连接；所述第二十九电阻与所述放大器的第二输入端连接，所述第二十七电阻与所述第二十九电阻连接；所述第二十七电阻还与所述信号采集及处理模块连接。
10、可选地，所述温度补偿电路包括第十五电阻、第十八电阻、滑动电阻、第十九电阻和第二十六电阻；所述第十五电阻与一第十四电阻连接后与所述供电端连接；所述第十八电阻与所述第十五电阻连接；所述滑动电阻的两端分别连接所述第十八电阻和所述第二十六电阻，所述第十九电阻的两端分别连接所述第十五电阻和所述滑动电阻；所述第二十六电阻还与所述热膜式风速传感器和所述第二十九电阻连接。
11、可选地，还包括上位机，所述上位机与所述信号采集及处理模块电连接。
12、可选地，所述风速检测板的数量为多个，各所述风速检测板分别等间隔设置于所述efem设备内。
13、本技术实现技术效果如下：
14、本技术通过设置风速检测板和信号采集及处理模块，所述风速检测板设置于所述efem设备内并与所述ffu模块电连接，所述信号采集及处理模块与所述风速检测板和所述变频器均电连接；所述风速检测板用于检测所述efem设备内的风速信息，以使所述信号采集及处理模块在获取所述风速信息后根据所述风速信息驱动所述变频器调整所述ffu模块的风速，进而克服了efem设备的腔室的结构和布局所带来的无法对调速装置进行对应性布局的问题，实现了适应性布局，进而实现调速精度提高的效果；具体而言，通过设置了小型的风速传感器及风速采集控制模块，通过变频器调整风机的风速，从而实现风速的稳定控制，同时可以通过上位系统调整风速及记录风速数据。
本文档来自技高网...【技术保护点】
1.一种EFEM中FFU自动风速调整系统，包括EFEM设备、FFU模块和变频器，所述FFU模块设置于所述EFEM设备，所述变频器与所述FFU模块电连接；其特征在于，还包括风速检测板和信号采集及处理模块，所述风速检测板设置于所述EFEM设备内并与所述FFU模块电连接，所述信号采集及处理模块与所述风速检测板和所述变频器均电连接；所述风速检测板用于检测所述EFEM设备内的风速信息，以使所述信号采集及处理模块在获取所述风速信息后根据所述风速信息驱动所述变频器调整所述FFU模块的风速。
2.根据权利要求1所述的EFEM中FFU自动风速调整系统，其特征在于，所述风速检测板包括板体和设置于所述板体上的风速采集处理电路，所述风速采集处理电路与所述信号采集及处理模块电连接。
3.根据权利要求2所述的EFEM中FFU自动风速调整系统，其特征在于，所述风速采集处理电路包括供电端、温度补偿电路、风速检测电路和信号放大电路，所述温度补偿电路与所述供电端连接，所述风速检测电路与所述温度补偿电路连接，所述信号放大电路与所述供电端和所述风速检测电路均电连接；所述信号放大电路还与所述信号采
4.根据权利要求3所述的EFEM中FFU自动风速调整系统，其特征在于，所述风速采集处理电路包括热膜式风速传感器，所述热膜式风速传感器与所述温度补偿电路和所述信号放大电路均电连接，所述热膜式风速传感器设置于所述板体的前端。
5.根据权利要求4所述的EFEM中FFU自动风速调整系统，其特征在于，所述板体前端还设有导风罩，所述热膜式风速传感器设置于所述导风罩。
6.根据权利要求5所述的EFEM中FFU自动风速调整系统，其特征在于，所述导风罩内设有通孔，所述热膜式风速传感器设置于所述通孔的侧壁上。
7.根据权利要求4所述的EFEM中FFU自动风速调整系统，其特征在于，所述信号放大电路包括放大器、第三十电阻、第二十九电阻和第二十七电阻；所述放大器的第一输入端与所述第三十电阻连接，所述第三十电阻还与所述供电端连接；所述第二十九电阻与所述放大器的第二输入端连接，所述第二十七电阻与所述第二十九电阻连接；所述第二十七电阻还与所述信号采集及处理模块连接。
8.根据权利要求7所述的EFEM中FFU自动风速调整系统，其特征在于，所述温度补偿电路包括第十五电阻、第十八电阻、滑动电阻、第十九电阻和第二十六电阻；所述第十五电阻与一第十四电阻连接后与所述供电端连接；所述第十八电阻与所述第十五电阻连接；所述滑动电阻的两端分别连接所述第十八电阻和所述第二十六电阻，所述第十九电阻的两端分别连接所述第十五电阻和所述滑动电阻；所述第二十六电阻还与所述热膜式风速传感器和所述第二十九电阻连接。
9.根据权利要求1-8任一项所述的EFEM中FFU自动风速调整系统，其特征在于，还包括上位机，所述上位机与所述信号采集及处理模块电连接。
10.根据权利要求1-8任一项所述的EFEM中FFU自动风速调整系统，其特征在于，所述风速检测板的数量为多个，各所述风速检测板分别等间隔设置于所述EFEM设备内。
...【技术特征摘要】
1.一种efem中ffu自动风速调整系统，包括efem设备、ffu模块和变频器，所述ffu模块设置于所述efem设备，所述变频器与所述ffu模块电连接；其特征在于，还包括风速检测板和信号采集及处理模块，所述风速检测板设置于所述efem设备内并与所述ffu模块电连接，所述信号采集及处理模块与所述风速检测板和所述变频器均电连接；所述风速检测板用于检测所述efem设备内的风速信息，以使所述信号采集及处理模块在获取所述风速信息后根据所述风速信息驱动所述变频器调整所述ffu模块的风速。
2.根据权利要求1所述的efem中ffu自动风速调整系统，其特征在于，所述风速检测板包括板体和设置于所述板体上的风速采集处理电路，所述风速采集处理电路与所述信号采集及处理模块电连接。
3.根据权利要求2所述的efem中ffu自动风速调整系统，其特征在于，所述风速采集处理电路包括供电端、温度补偿电路、风速检测电路和信号放大电路，所述温度补偿电路与所述供电端连接，所述风速检测电路与所述温度补偿电路连接，所述信号放大电路与所述供电端和所述风速检测电路均电连接；所述信号放大电路还与所述信号采集及处理模块电连接。
4.根据权利要求3所述的efem中ffu自动风速调整系统，其特征在于，所述风速采集处理电路包括热膜式风速传感器，所述热膜式风速传感器与所述温度补偿电路和所述信号放大电路均电连接，所述热膜式风速传感器设置于所述板体的前端。
5.根据权利要求4所述的efem中ffu自动风速调整系统，其特征在于，所述...
【专利技术属性】
技术研发人员：苗义，川辺哲也，马刚，
申请(专利权)人：上海广川科技有限公司，
类型：新型
国别省市：
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。