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本技术涉及一种EFEM中FFU自动风速调整系统，包括风速检测板和信号采集及处理模块，所述风速检测板设置于所述EFEM设备内并与所述FFU模块电连接，所述信号采集及处理模块与所述风速检测板和所述变频器均电连接；所述风速检测板用于检测所述EFE...
该专利属于上海广川科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过上海广川科技有限公司授权不得商用。

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