副炉开门式单晶炉制造技术

本实用新型专利技术公开了副炉开门式单晶炉，涉及单晶炉设备技术领域。本实用新型专利技术包括单晶炉主体、炉门、封门、多个锁门机构以及驱动机构，炉门开设在单晶炉主体的副炉室上，封门用于封堵所述炉门，多个锁门机构沿竖直方向设置在副炉室与所述封门上，所述锁门机构包括：两个固定块、两个锁定插杆以及驱动部，其中：两个固定块水平方向对称固设在副炉室上。本实用新型专利技术摒弃了传统的多组单独手柄压紧结构和多个气缸压紧结构，通过驱动机构和锁门机构的相互配合，实现炉门的打开和关闭，相比多组单独手柄压紧结构而言，操作方便且节省时间，提升了工作效率，相比多个气缸压紧结构而言，成本较低，不容易出现故障，因此更具有实用性。因此更具有实用性。因此更具有实用性。

【技术实现步骤摘要】
副炉开门式单晶炉


[0001]本技术涉及单晶炉设备
，具体涉及副炉开门式单晶炉。

技术介绍

[0002]单晶炉是一种在惰性气体(氮气、氦气为主)环境中，用石墨加热器将多晶硅等多晶材料融化，用直拉法生长无错位单晶的设备，根据结构不同可大致分为两种，即传统单晶炉和开门式单晶炉，二者的结构类似，都是由炉底板、主炉室、炉盖、副炉室、籽晶系统、坩埚系统等组成，区别在于后者在副炉室上设置有炉门和锁门机构，即副炉开门式单晶炉，在现有技术中，副炉开门式单晶炉的锁门机构是采用多组单独的手柄压紧结构或多个气缸压紧结构，在关闭或打开炉门时，前者需要工作人员逐个将多组手柄压紧结构进行锁紧或打开，操作较为繁琐且较为浪费时间，降低了工作效率，后者需要使用到多个气缸，成本较高，同时气缸在运行时受力的情况很复杂，容易发生塑性变形造成泄露的故障，二者均存在一定程度上的缺点，因此提出副炉开门式单晶炉。

技术实现思路

[0003]本技术的目的在于：为解决
技术介绍
提出的问题，本技术提供了副炉开门式单晶炉。
[0004]本技术为了实现上述目的具体采用以下技术方案：
[0005]副炉开门式单晶炉，包括单晶炉主体、炉门、封门、多个锁门机构以及驱动机构，炉门开设在单晶炉主体的副炉室上，封门用于封堵所述炉门，多个锁门机构沿竖直方向设置在副炉室与所述封门上，所述锁门机构包括：
[0006]两个固定块、两个锁定插杆以及驱动部，其中：
[0007]两个固定块水平方向对称固设在副炉室上，所述固定块上贯穿开设有锁定插孔，两个锁定插杆均沿水平方向滑动设置在所述封门上且对称分布，两个所述锁定插杆分别与两个锁定插孔插接配合，驱动部设置在所述封门与两个锁定插杆上，通过所述驱动部驱使两个锁定插杆同步反向滑动；
[0008]驱动机构设置在所述封门与多个所述驱动部上，通过所述驱动机构驱使多个驱动部同步运作。
[0009]进一步地，所述炉门与封门均构造呈矩形且二者均为台阶状结构。
[0010]进一步地，所述封门上设置有密封圈，所述密封圈为三元乙丙橡胶材质。
[0011]进一步地，所述驱动部包括：
[0012]转杆、驱动杆以及两个连接杆，其中：
[0013]转杆通过轴承转动设置在所述封门上，驱动杆套设在所述转杆上，两个连接杆的一端分别与两个所述锁定插杆铰接，另一端分别与所述驱动杆的两端铰接。
[0014]进一步地，所述锁门机构的数量为两个，所述驱动机构设置在所述封门与两个转杆上，通过所述驱动机构驱使两个所述转杆同步转动。
[0015]进一步地，所述驱动机构包括：
[0016]轴杆、主动齿轮、两个齿条、两个从动齿轮以及锁定部，其中：
[0017]轴杆通过轴承转动设置在所述封门上，主动齿轮套设在所述轴杆上，两个齿条均沿竖直方向滑动设置在所述封门上且均与所述主动齿轮啮合，两个从动齿轮分别套设在两个所述转杆上且分别与两个所述齿条啮合，锁定部设置在所述轴杆与封门上，通过所述锁定部对轴杆进行锁定。
[0018]进一步地，所述锁定部包括：
[0019]棘轮、固定架、固定杆、棘爪以及扭转弹簧，其中：
[0020]棘轮套设在所述轴杆上，固定架固设在所述封门上，固定杆固设在所述固定架上，棘爪转动套设在所述固定杆上，扭转弹簧套设在所述固定杆上且两端分别与固定架以及棘爪固定连接。
[0021]本技术的有益效果如下：本技术摒弃了传统的多组单独手柄压紧结构和多个气缸压紧结构，通过驱动机构和锁门机构的相互配合，实现炉门的打开和关闭，相比多组单独手柄压紧结构而言，操作方便且节省时间，提升了工作效率，相比多个气缸压紧结构而言，成本较低，不容易出现故障，因此更具有实用性。
附图说明
[0022]图1是本技术结构立体图；
[0023]图2是本技术部分结构立体图；
[0024]图3是本技术图2中A处的放大图；
[0025]图4是本技术图2中B处的放大图；
[0026]图5是本技术部分结构爆炸立体图；
[0027]图6是本技术图5中C处的放大图。
[0028]附图标记：1、单晶炉主体；2、炉门；3、封门；4、固定块；5、锁定插杆；6、锁定插孔；7、密封圈；8、转杆；9、驱动杆；10、连接杆；11、轴杆；12、主动齿轮；13、齿条；14、从动齿轮；15、棘轮；16、固定架；17、固定杆；18、棘爪；19、扭转弹簧。
具体实施方式
[0029]为使本技术实施例的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述。
[0030]如图1
‑
6所示，本技术一个实施例提出的副炉开门式单晶炉，包括单晶炉主体1、炉门2、封门3、多个锁门机构以及驱动机构，炉门2开设在单晶炉主体1的副炉室上，封门3用于封堵炉门2，封门3上对称设置有两个把手，封门3和炉门2紧密插接配合，多个锁门机构沿竖直方向设置在副炉室与封门3上，锁门机构包括：两个固定块4、两个锁定插杆5以及驱动部，其中：两个固定块4水平方向对称固设在副炉室上，固定块4上贯穿开设有锁定插孔6，两个锁定插杆5均沿水平方向滑动设置在封门3上且对称分布，两个锁定插杆5分别与两个锁定插孔6插接配合，驱动部设置在封门3与两个锁定插杆5上，通过驱动部驱使两个锁定插杆5同步反向滑动；驱动机构设置在封门3与多个驱动部上，通过驱动机构驱使多个驱动部同步运作，在初始状态下，封门3和炉门2紧密插接配合，封门3将炉门2进行封堵，炉门2处于
关闭状态，锁定机构的状态为，两个锁定插杆5分别插接在两个锁定插孔6中，两个锁定插杆5处于相互远离状态，锁定插杆5无法在非外力作用下脱离锁定插孔6，锁定插杆5和固定块4无法分离，封门3无法脱离炉门2，在需要将炉门2打开时，驱动部运作，通过驱动部驱使两个锁定插杆5同步反向滑动至相互靠近，直至两个锁定插杆5分别退出两个锁定插孔6，通过驱动机构驱使多个驱动部同步运作，锁定插杆5和固定块4分离，拉动两个把手，使封门3脱离炉门2，炉门2为打开状态，综上所述，本装置摒弃了传统的多组单独手柄压紧结构和多个气缸压紧结构，通过驱动机构和锁门机构的相互配合，实现炉门2的打开和关闭，相比多组单独手柄压紧结构而言，操作方便且节省时间，提升了工作效率，相比多个气缸压紧结构而言，成本较低，不容易出现故障，因此更具有实用性。
[0031]如图1
‑
6所示，在一些实施例中，炉门2与封门3均构造呈矩形且二者均为台阶状结构，在将炉门2关闭时，使封门3对应炉门2，推动封门3，,使封门3紧密插接到炉门2中，直至无法继续推动封门3，即可进行后续的操作，此设计便于封门3和炉门2之间的定位，从而便于炉门2的关闭。
[0032]如图5所示，在一些实施例中,封门3上设置有密封圈7，密封圈7为三元乙丙橡胶材质，密封圈7的设计可以提升炉门2在关闭本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.副炉开门式单晶炉，包括单晶炉主体(1)、炉门(2)、封门(3)、多个锁门机构以及驱动机构，其特征在于，炉门(2)开设在单晶炉主体(1)的副炉室上，封门(3)用于封堵所述炉门(2)，多个锁门机构沿竖直方向设置在副炉室与所述封门(3)上，所述锁门机构包括：两个固定块(4)、两个锁定插杆(5)以及驱动部，其中：两个固定块(4)水平方向对称固设在副炉室上，所述固定块(4)上贯穿开设有锁定插孔(6)，两个锁定插杆(5)均沿水平方向滑动设置在所述封门(3)上且对称分布，两个所述锁定插杆(5)分别与两个锁定插孔(6)插接配合，驱动部设置在所述封门(3)与两个锁定插杆(5)上，通过所述驱动部驱使两个锁定插杆(5)同步反向滑动；驱动机构设置在所述封门(3)与多个所述驱动部上，通过所述驱动机构驱使多个驱动部同步运作。2.根据权利要求1所述的副炉开门式单晶炉，其特征在于，所述炉门(2)与封门(3)均构造呈矩形且二者均为台阶状结构。3.根据权利要求1所述的副炉开门式单晶炉，其特征在于，所述封门(3)上设置有密封圈(7)，所述密封圈(7)为三元乙丙橡胶材质。4.根据权利要求1所述的副炉开门式单晶炉，其特征在于，所述驱动部包括：转杆(8)、驱动杆(9)以及两个连接杆(10)，其中：转杆(8)通过轴承转动设置在所述封门(3)上，驱动杆(9)套设在所述转杆(8)上，两个连接杆(10)的一端...

【专利技术属性】
技术研发人员：许建枫，王永利，曹刚，郝振庆，祝林飞，
申请(专利权)人：浙江昱力机电科技有限公司，
类型：新型
国别省市：