一种单晶炉制造技术

本申请涉及一种单晶炉，包括：主炉室，所述主炉室的外壁具有挂接槽；驱动机构，所述驱动机构包括：悬臂组件，所述悬臂组件上具有挂接部，所述挂接部用于与所述挂接槽插接配合；所述悬臂组件具有竖直升降的移动自由度和水平旋转的转动自由度，所述悬臂组件挂接于所述主炉室后，使得所述主炉室能够随所述悬臂组件升降和旋转。解决了炉体的旋转、升降结构占据的空间较大的技术问题，达到减小炉体的旋转、升降结构占据的空间的技术效果。术效果。术效果。

【技术实现步骤摘要】
一种单晶炉


[0001]本申请涉及单晶炉
，尤其是涉及一种单晶炉。

技术介绍

[0002]单晶硅是电子信息材料和光伏行业中的最基础性材料，而直拉法单晶炉是生产硅单晶的关键技术装备。直拉式单晶硅生长炉是制备单晶硅材料的主要设备,又称单晶硅生长炉，或者单晶炉。设备通过石墨加热方式将盛在石英坩埚中的高纯多晶硅原料熔化,在持续的低压氩气保护下，硅晶体在合适的温度与生长速度下，在一根细小的籽晶上逐淅结晶成一根单晶体。在装料，取晶棒、清理等环节，根据不同的需求，需要将副炉室、隔离阀、炉盖或主炉室提升至一定高度并旋开，以便完成不同的任务要求，即单晶炉的装卸过程中需要对炉体进行旋转和升降驱动。
[0003]现有技术中，针对单晶炉的主炉室旋转和升降，需要在主炉室的侧边设置一机架，在机架上设置一旋转座，为了提高旋转座和主炉室之间的连接稳定性，往往需要将旋转座设置较长或较大；旋转座具有升降和旋转的自由度，通过旋转座与主炉室之间的固定连接，实现主炉室整体的旋转和升降，如此，在主炉室的旋转过程中，机架和旋转座本身就占据了较大空间，在驱动主炉室旋转过程中，则需要更大的空间以满足旋转座的摆动。
[0004]因此，现有技术的技术问题在于：炉体的旋转、升降结构占据的空间较大。

技术实现思路

[0005]本申请提供一种单晶炉，解决了炉体的旋转、升降结构占据的空间较大的技术问题，达到减小炉体的旋转、升降结构占据的空间的技术效果。
[0006]一种单晶炉，包括：主炉室，所述主炉室的外壁具有挂接槽；驱动机构，所述驱动机构包括：悬臂组件，所述悬臂组件上具有挂接部，所述挂接部用于与所述挂接槽插接配合；所述悬臂组件具有竖直升降的移动自由度和水平旋转的转动自由度，所述悬臂组件挂接于所述主炉室后，使得所述主炉室能够随所述悬臂组件升降和旋转。
[0007]作为优选，所述主炉室包括：工艺法兰；炉体，所述炉体连接于所述工艺法兰的底部；其中，所述工艺法兰的外壁具有第一挂接槽，所述炉体的外壁具有第二挂接槽；所述悬臂组件包括：第一悬臂，所述第一悬臂上具有第一挂接部，所述第一挂接部用于与所述第一挂接槽配合；第二悬臂，所述第二悬臂位于所述第一悬臂的下方，所述第二悬臂上具有第二挂接部，所述第二挂接部用于与所述第二挂接槽配合。
[0008]作为优选，所述工艺法兰的外壁上连接有一外伸的第一挂接座，所述第一挂接座上具有所述第一挂接槽。
[0009]作为优选，所述第一悬臂包括：第一调平件，所述第一调平件包括：第一调节螺钉；第一调节板，所述第一调节板用于抵触于所述工艺法兰的外壁上，所述第一调节板通过所述第一调节螺钉滑移连接于所述第一悬臂上，使得所述第一调节板具有相对于所述工艺法兰的外壁靠近或远离的自由度。
[0010]作为优选，所述炉体的外壁上连接有第二挂接座，所述第二挂接座上具有所述第二挂接槽；所述第二挂接座位于所述第一挂接座的底部，且所述第二挂接座相对于所述第一挂接座靠近所述主炉室的外壁。
[0011]作为优选，所述第二悬臂包括：第二悬臂座；第二悬臂本体，所述第二悬臂本体水平滑移连接于所述第二悬臂座上；以及伸缩件，所述伸缩件固定连接于所述第二悬臂座上并作用于所述第二悬臂本体上，使得所述第二悬臂本体具有相对于炉体靠近或远离的移动自由度，从而使得所述第二挂接部能够进入所述第二挂接槽中配合。
[0012]作为优选，所述第二悬臂还包括：第二调平件，所述第二调平件包括：第二调节螺钉；第二调节板，所述第二调节板用于抵触于所述炉体的外壁上，所述第二调节板通过所述第二调节螺钉滑移连接于所述第二悬臂本体上，使得所述第二调节板具有相对于所述炉体的外壁靠近或远离的自由度。
[0013]作为优选，所述驱动机构还包括：第一驱动组件，所述第一驱动组件包括：座体，所述座体固定；升降座，所述升降座沿竖直方向滑移连接于所述座体上，所述升降座上转动连接有所述第二悬臂；以及第一驱动件，所述第一驱动件连接于所述座体和所述升降座之间，所述第一驱动件用于驱动所述升降座竖直升降。
[0014]作为优选，所述驱动机构还包括：第二驱动组件，所述第二驱动组件包括：升降轴，所述升降轴呈竖直方向布置，所述升降轴容置于所述升降座的内部，所述升降轴上套设所述第一悬臂；第二驱动件，所述第二驱动件包括：第二丝杆，所述第二丝杆呈竖直方向布置，所述第二丝杆容置于所述升降座的内部且所述第二丝杆转动连接于所述升降座上；其中，所述升降轴套设于所述第二丝杆上，且所述升降轴通过螺纹滑移连接于所述第二丝杆上，使得所述第二悬臂可随所述升降轴而升降。
[0015]作为优选，所述驱动机构还包括：旋转组件，所述旋转组件作用于所述第一悬臂和所述第二悬臂，使得所述第一悬臂和所述第二悬臂具有水平旋转的转动自由度。
[0016]本申请提供的一种单晶炉，采用如下的技术方案：
[0017]综上所述，本申请包括以下至少一种有益技术效果：
[0018]1、本申请中炉体与悬臂之间采用挂接的形式连接，代替现有技术中旋转座连接炉体的方式，通过挂接的形式连接炉体和驱动机构，简化了炉体和驱动机构之间的连接结构的同时能够保证稳定连接和支撑炉体，将挂接的形式代替体积较大的旋转座，减小了驱动机构在旋转炉体时占据的摆动空间，解决了炉体的旋转、升降结构占据的空间较大的技术问题，达到减小炉体的旋转、升降结构占据的空间的技术效果。
[0019]2、针对主炉室上的工艺法兰和炉体，通过两个悬臂进行分别旋转和提升，有利于对悬臂的重量的分担，提高悬臂对主炉室支撑的稳定性。
[0020]3、在工艺法兰和炉体上分别设置第一挂接座和第二挂接座，分别与第一悬臂和第二悬臂挂接配合，且第二挂接座的位置相对于第一挂接座的位置更靠近炉体的侧壁，使得磁场在上升下降过程中不会与挂接座之间形成干涉，有利于单晶炉系统中空间的合理利用。
[0021]4、对于第一悬臂和第二悬臂的驱动，本申请通过第一驱动组件对第一悬臂和第二悬臂的整体提升，第二驱动组件容置于第一驱动组件的升降座中第二驱动组件可单独调节第二悬臂的升降，实现了可对每个悬臂灵活驱动，同时还极大的减小了第二驱动组件对空
间的占用，提高单晶炉系统中空间的利用率。
附图说明
[0022]图1是本申请单晶炉的主炉室和驱动机构的示意图；
[0023]图2是本申请单晶炉的工艺法兰和炉体的示意图；
[0024]图3是本申请单晶炉的悬臂组件的示意图；
[0025]图4是本申请单晶炉的悬臂组件的剖视图；
[0026]图5是本申请单晶炉的驱动机构的示意图；
[0027]图6是本申请单晶炉的旋转组件示意图。
[0028]附图标记说明：100、主炉室；110、工艺法兰；111、第一挂接座；1111、固定板；1112、第一板；1113、第二板；1114、第一挂接槽；120、炉体；121、第二挂接座；1211、侧板；1212、顶板；1213、盖板；1214、第二挂接槽；200、驱动机构；210、悬臂组件；211、第一悬本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种单晶炉，其特征在于，包括：主炉室(100)，所述主炉室(100)的外壁具有挂接槽；驱动机构(200)，所述驱动机构(200)包括：悬臂组件(210)，所述悬臂组件(210)上具有挂接部，所述挂接部用于与所述挂接槽插接配合；所述悬臂组件(210)具有竖直升降的移动自由度和水平旋转的转动自由度，所述悬臂组件(210)挂接于所述主炉室(100)后，使得所述主炉室(100)能够随所述悬臂组件(210)升降和旋转。2.根据权利要求1所述的一种单晶炉，其特征在于，所述主炉室(100)包括：工艺法兰(110)；炉体(120)，所述炉体(120)连接于所述工艺法兰(110)的底部；其中，所述工艺法兰(110)的外壁具有第一挂接槽(1114)，所述炉体(120)的外壁具有第二挂接槽(1214)；所述悬臂组件(210)包括：第一悬臂(211)，所述第一悬臂(211)上具有第一挂接部(2112)，所述第一挂接部(2112)用于与所述第一挂接槽(1114)配合；第二悬臂(213)，所述第二悬臂(213)位于所述第一悬臂(211)的下方，所述第二悬臂(213)上具有第二挂接部(2133)，所述第二挂接部(2133)用于与所述第二挂接槽(1214)配合。3.根据权利要求2所述的一种单晶炉，其特征在于，所述工艺法兰(110)的外壁上连接有一外伸的第一挂接座(111)，所述第一挂接座(111)上具有所述第一挂接槽(1114)。4.根据权利要求3所述的一种单晶炉，其特征在于，所述第一悬臂(211)包括：第一调平件(212)，所述第一调平件(212)包括：第一调节螺钉(2121)；第一调节板(2122)，所述第一调节板(2122)用于抵触于所述工艺法兰(110)的外壁上，所述第一调节板(2122)通过所述第一调节螺钉(2121)滑移连接于所述第一悬臂(211)上，使得所述第一调节板(2122)具有相对于所述工艺法兰(110)的外壁靠近或远离的自由度。5.根据权利要求3所述的一种单晶炉，其特征在于，所述炉体(120)的外壁上连接有第二挂接座(121)，所述第二挂接座(121)上具有所述第二挂接槽(1214)；所述第二挂接座(121)位于所述第一挂接座(111)的底部，且所述第二挂接座(121)相对于所述第一挂接座(111)靠近所述主炉室(100)的外壁。6.根据权利要求5所述的一种单晶炉，其特征在于，所述第二悬臂(213)包括：第二悬臂座(2131)；第二悬臂本体(2132)，所述第二悬臂本体(2132)水平滑移连接于所述第二悬臂座(...

【专利技术属性】
技术研发人员：曹建伟，朱亮，叶钢飞，倪军夫，阮文星，梁晋辉，
申请(专利权)人：浙江晶盛机电股份有限公司，
类型：发明
国别省市：