单晶炉用保温炉盖及单晶炉制造技术

本实用新型专利技术涉及保温炉盖及单晶炉，具体的说是单晶炉用保温炉盖及单晶炉，包括盖体组件，盖体组件包括螺纹盖、把手、进水管、抽气管、安装筒、筒体、环体，两个把手分别焊接在螺纹盖两侧外壁上，两个进水管、抽气管分别插接在螺纹盖顶部外壁两侧，且抽气管延伸至螺纹盖内部，四个安装筒等距离呈环形结构一体成型在螺纹盖顶部外壁靠近边缘处，筒体一体成型在螺纹盖顶部外壁上，环体一体成型在筒体顶端，筒体顶部外壁上开设有等距离呈环形结构分布的通孔；本实用新型专利技术由螺纹盖、把手等构成的盖体组件通过螺栓连接的方式安装在炉体单元上，可以提高盖体组件与炉体单元之间的密封性，避免该单晶炉运作时炉盖漏水。单晶炉运作时炉盖漏水。单晶炉运作时炉盖漏水。

【技术实现步骤摘要】
单晶炉用保温炉盖及单晶炉


[0001]本技术涉及保温炉盖及单晶炉，具体为单晶炉用保温炉盖及单晶炉，属于单晶炉


技术介绍

[0002]单晶炉是一种在惰性气体(氮气、氦气为主)环境中，用石墨加热器将多晶硅等多晶材料熔化，用直拉法生长无错位单晶的设备。
[0003]中国专利号CN212128335U提供一种单晶炉用保温盖及单晶炉，该单晶炉保温盖包括：多个块体，所述多个块体拼接形成环形结构；所述保温盖的材质包括：在大于或等于预设温度的情况下，不与硅的氧化物发生反应的材质。本技术实施例提供的保温盖由于在大于或等于预设温度的情况下，不产生碳扩散现象，因此能够在单晶硅生长过程中，避免碳的污染，能够提高单晶硅的生长质量，此外，本技术实施例提供的保温盖由于采用多个块体结构拼接形成，能够提高保温盖的稳定性。
[0004]然而，上述中案例虽然供的保温盖由于在大于或等于预设温度的情况下，不产生碳扩散现象，但是现有的单晶炉炉盖存在漏水问题，影响单晶炉的运作。
[0005]有鉴于此特提出本技术。

技术实现思路

[0006]本技术的目的就在于为了解决上述问题而提供单晶炉用保温炉盖及单晶炉。
[0007]本技术通过以下技术方案来实现上述目的，单晶炉用保温炉盖，包括盖体组件，所述盖体组件包括螺纹盖、把手、进水管、抽气管、安装筒、筒体、环体，两个所述把手分别焊接在螺纹盖两侧外壁上，两个所述进水管、抽气管分别插接在螺纹盖顶部外壁两侧，且抽气管延伸至螺纹盖内部，四个所述安装筒等距离呈环形结构一体成型在螺纹盖顶部外壁靠近边缘处，所述筒体一体成型在螺纹盖顶部外壁上，所述环体一体成型在筒体顶端，所述筒体顶部外壁上开设有等距离呈环形结构分布的通孔，所述安装筒顶端螺纹连接有摄像头。
[0008]进一步的，所述螺纹盖内部设置有腔体，所述进水管一端延伸至腔体内部。
[0009]进一步的，所述筒体内部开设有连接腔二，且连接腔二与腔体相互贯通。
[0010]进一步的，所述安装筒内部开设有连接腔一，且连接腔一与腔体相互贯通。
[0011]进一步的，所述螺纹盖顶部内壁上设置有螺纹连接在安装筒内部的镜片组件，所述镜片组件包括框体，所述框体内部粘接有镜片。
[0012]进一步的，所述框体顶部外壁两侧均开设有安装槽，且安装槽内部粘接有泵体。
[0013]进一步的，所述框体内部开设有腔室，所述框体侧面内壁靠近底部处开设有等距离呈环形结构分布的气孔，且气孔与腔室相互贯通。
[0014]单晶炉，包括底座组件、炉体单元、盖体组件及拉丝模组，所述炉体单元插接在底座组件顶端，所述盖体组件螺纹连接在炉体单元顶端，所述拉丝模组插接在盖体组件上，所
述底座组件包括底座，所述底座底部外壁上焊接有等距离呈环形结构分布的支腿，所述底座底部内壁中心处开设有插槽，所述底座底部内壁上开设有等距离呈环形结构分布的安置槽，且安置槽内部固设有与炉体单元相互接触的称重传感器。
[0015]本技术的技术效果和优点：(1)通过设置的盖体组件，由螺纹盖、把手等构成的盖体组件通过螺栓连接的方式安装在炉体单元上，可以提高盖体组件与炉体单元之间的密封性，避免该单晶炉运作时炉盖漏水；(2)通过设置的腔体、连接腔一及连接腔二，腔体、连接腔一及连接腔二配合可以使得螺纹盖中间变为一个空腔，在单晶炉运作时，可以向该空腔内部注水，从而对炉盖及其上的零件进行降温处理，同时在需要该炉盖保温时，向该空腔内部注水后不排出水可以提高该炉盖的保温能力；(3)通过设置的泵体、腔室及气孔，在摄像头拍摄的画面显示出较大的阴影时，可以启动泵体，使得腔室内部被冲入空气，而后空气从气孔喷出，从而对镜片进行吹拂，去除镜片上的灰尘等杂质，避免杂质影响摄像头的拍摄；(4)通过设置的底座组件，底座组件上的称重传感器可以对炉体单元的重量进行检测，从而在向炉体单元投入物料时便于工人精确把握向炉体单元内部投料质量，实现精确投料的目的。
附图说明
[0016]图1为本技术的整体结构示意图；
[0017]图2为本技术的底座组件结构示意图；
[0018]图3为本技术的盖体组件结构示意图；
[0019]图4为本技术的螺纹盖剖视结构示意图；
[0020]图5为本技术的镜片组件结构示意图。
[0021]图中：100、底座组件；101、底座；102、安置槽；103、称重传感器；104、支腿；105、插槽；200、炉体单元；300、盖体组件；301、螺纹盖；302、把手；303、进水管；304、抽气管；305、安装筒；306、摄像头；307、筒体；308、环体；309、通孔；310、腔体；311、连接腔一；312、连接腔二；400、镜片组件；401、框体；402、镜片；403、气孔；404、腔室；405、安装槽；406、泵体；500、拉丝模组。
具体实施方式
[0022]下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。
[0023]请参阅图3
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5所示，单晶炉用保温炉盖，包括盖体组件300，盖体组件300包括螺纹盖301、把手302、进水管303、抽气管304、安装筒305、筒体307、环体308，螺纹盖301以螺纹连接的方式安装在炉体单元200顶端，把手302便于转动螺纹盖301，使得螺纹盖301安装或者从炉体单元200上脱离，进水管303便于向腔体310、连接腔一311、连接腔二312构成的空腔内部注水，抽气管304配合真空泵可以使得炉体单元200与盖体组件300构成的结构处于真空状态，安装筒305便于摄像头306安装在螺纹盖301上，筒体307配合环体308可以使得拉丝模组500安装在盖体组件300上，两个把手302分别焊接在螺纹盖301两侧外壁上，两个进水
管303、抽气管304分别插接在螺纹盖301顶部外壁两侧，且抽气管304延伸至螺纹盖301内部，四个安装筒305等距离呈环形结构一体成型在螺纹盖301顶部外壁靠近边缘处，筒体307一体成型在螺纹盖301顶部外壁上，环体308一体成型在筒体307顶端，筒体307顶部外壁上开设有等距离呈环形结构分布的通孔309，通孔309便于配合螺栓使得拉丝模组500安装在筒体307上，安装筒305顶端螺纹连接有摄像头306，摄像头306为现有高清摄像头，可以对炉体单元200内部的运作情况进行监测，而后传输到显示器上供工人观看。
[0024]作为本技术的一种技术优化方案，螺纹盖301内部设置有腔体310，进水管303一端延伸至腔体310内部，筒体307内部开设有连接腔二312，且连接腔二312与腔体310相互贯通，安装筒305内部开设有连接腔一311，腔体310、连本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.单晶炉用保温炉盖，包括盖体组件(300)，其特征在于：所述盖体组件(300)包括螺纹盖(301)、把手(302)、进水管(303)、抽气管(304)、安装筒(305)、筒体(307)、环体(308)，两个所述把手(302)分别焊接在螺纹盖(301)两侧外壁上，两个所述进水管(303)、抽气管(304)分别插接在螺纹盖(301)顶部外壁两侧，且抽气管(304)延伸至螺纹盖(301)内部，四个所述安装筒(305)等距离呈环形结构一体成型在螺纹盖(301)顶部外壁靠近边缘处，所述筒体(307)一体成型在螺纹盖(301)顶部外壁上，所述环体(308)一体成型在筒体(307)顶端，所述筒体(307)顶部外壁上开设有等距离呈环形结构分布的通孔(309)，所述安装筒(305)顶端螺纹连接有摄像头(306)。2.根据权利要求1所述的单晶炉用保温炉盖，其特征在于：所述螺纹盖(301)内部设置有腔体(310)，所述进水管(303)一端延伸至腔体(310)内部。3.根据权利要求2所述的单晶炉用保温炉盖，其特征在于：所述筒体(307)内部开设有连接腔二(312)，且连接腔二(312)与腔体(310)相互贯通。4.根据权利要求2所述的单晶炉用保温炉盖，其特征在于：所述安装筒(305)内部开设有连接腔一(311)，且连接腔一(311)与腔体(310)相互贯通。5.根据权利要求1所述的单晶炉用保温炉盖，其特征在于：所述螺纹盖...

【专利技术属性】
技术研发人员：许建枫，祝林飞，郝振庆，曹林，曹刚，
申请(专利权)人：浙江昱力机电科技有限公司，
类型：新型
国别省市：