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一种直拉式单晶炉快速冷却热场装置制造方法及图纸

技术编号:38695551 阅读:9 留言:0更新日期:2023-09-07 15:33
本实用新型专利技术属于单晶炉冷却技术领域,具体的说是一种直拉式单晶炉快速冷却热场装置,包括炉体;所述炉体顶端固接有盖体,所述炉体内部设置有保温组件,所述炉体内部设置有降温组件,所述保温组件包括保温层,所述保温层固接在炉体内壁,所述保温层内壁开设有弧形槽,所述保温层底部开设有滑槽;通过在炉体的保温层内设置间隙,可在需要冷却时降低保温层的保温效果,通过设置弧形槽,可使在需要冷却时,通过推动推杆使保温片移动至弧形槽内,并通过滑块和滑槽的配合使四组保温片同时移动,从而将保温层的间隙打开,并通过散热板和波纹管的降温效果促使炉体内温度下降,从而解决了保温层持续保温导致炉体冷却慢的问题。续保温导致炉体冷却慢的问题。续保温导致炉体冷却慢的问题。

【技术实现步骤摘要】
一种直拉式单晶炉快速冷却热场装置


[0001]本技术涉及单晶炉冷却
,具体是一种直拉式单晶炉快速冷却热场装置。

技术介绍

[0002]直拉式单晶炉是一种使用石墨加热器将多晶硅等晶体材料进行熔化的设备,并采用直拉法使单晶体进行生长,从而使晶体达到预设的效果。
[0003]直拉式单晶炉在不断工作一个生产周期后,会关闭加热器,使单晶炉内部的温度降低到一定程度,方可重新启动加热。
[0004]现有的直拉式单晶炉在需要降温冷却时,通常只能关闭加热系统,令单晶炉内部自行降温冷却,而单晶炉内的保温层会持续保温,使单晶炉的冷却时间较长,从而导致生产效率降低;因此,针对上述问题提出一种直拉式单晶炉快速冷却热场装置。

技术实现思路

[0005]为了弥补现有技术的不足,解决现有技术中存在的问题,本技术提出一种直拉式单晶炉快速冷却热场装置。
[0006]本技术解决其技术问题所采用的技术方案是:本技术所述的一种直拉式单晶炉快速冷却热场装置,包括炉体;所述炉体顶端固接有盖体,所述炉体内部设置有保温组件,所述炉体内部设置有降温组件;
[0007]所述保温组件包括保温层,所述保温层固接在炉体内壁,所述保温层内壁开设有弧形槽,所述保温层底部开设有滑槽,所述滑槽内壁滑动连接有滑块,所述滑块顶端固接有保温片,所述保温片大小小于弧形槽,所述保温片设置在保温层的间隙处,所述降温组件包括水箱,所述水箱固接在炉体外壁,所述水箱内壁固接有导水管,所述导水管伸入炉体内,所述导水管伸入炉体内的一侧固接有散热板,所述导水管的一端固接有波纹管,所述导水管内壁与水箱、波纹管内壁连通,所述炉体一侧开设有开口,所述保温片一侧固接有推杆,所述推杆一端伸出开口。
[0008]优选的,所述炉体一侧设置有固位组件,所述固位组件包括转轴,所述转轴固接在炉体一侧,所述转轴顶端固接有固位板,所述固位板顶端开设有扣孔,所述扣孔形状与推杆相扣和,所述扣孔设置两组,并呈对称分布于固位板的两侧,所述固位组件设置在开口中心处的底部。
[0009]优选的,所述炉体底部设置有移动组件,所述移动组件包括支腿,所述支腿固接在炉体底部,所述支腿内壁固接有第二弹簧,所述第二弹簧底部固接有挡板,所述挡板底部转动连接有移动轮,所述支腿一侧开设有第一插槽,所述支腿一侧开设有第二插槽,所述第二插槽位于第一插槽的底部,并与第一插槽平行,所述第一插槽和第二插槽两侧均贯穿支腿,所述第二插槽内壁插接有插板,所述插板中心处开设有大于第二弹簧的开槽。
[0010]优选的,所述散热板一侧固接有第一弹簧,所述第一弹簧的另一端固接在炉体内
壁,所述推杆位于炉体内的一侧固接有隔热板,所述隔热板形状为弧形,所述隔热板长度大于开口,所述隔热板材质为铜制。
[0011]优选的,所述保温片长度等于保温层的间隙处,所述保温层共设置有四组间隙,所述保温片和散热板形状均为弧形,所述散热板材质为铜制,所述保温片、散热板和波纹管设置四组,并呈圆周分布。
[0012]优选的,所述移动组件设置四组,并呈对称分布于炉体底部。
[0013]本技术的有益之处在于:
[0014]1.本技术通过在炉体的保温层内设置间隙,可在需要冷却时降低保温层的保温效果,通过设置弧形槽,可使在需要冷却时,通过推动推杆使保温片移动至弧形槽内,并通过滑块和滑槽的配合使四组保温片同时移动,从而将保温层的间隙打开,并通过散热板和波纹管的降温效果促使炉体内温度下降,从而解决了保温层持续保温导致炉体冷却慢的问题。
[0015]2.本技术通过在支腿底部内壁设置第二弹簧,可在需要移动炉体时,将支腿抬起,从而将移动轮通过第二弹簧放出,并通过将插板插在第二插槽内,从而通过插板将挡板的位置进行限定,防止移动轮缩回支腿内壁,使炉体可通过移动轮进行移动。
附图说明
[0016]为了更清楚地说明本技术实施例或现有技术中的技术方案,下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍,显而易见地,下面描述中的附图仅仅是本技术的一些实施例,对于本领域普通技术人员来讲,在不付出创造性劳动性的前提下,还可以根据这些附图获得其它的附图。
[0017]图1为实施例一的立体结构示意图;
[0018]图2为实施例一的第一立体剖面结构示意图;
[0019]图3为图2的A处放大图;
[0020]图4为图2的B处放大图;
[0021]图5为图2的C处放大图;
[0022]图6为实施例一的第二立体剖面结构示意图;
[0023]图7为图6的D处放大图;
[0024]图8为实施例二的横杆的结构示意图。
[0025]图中:1、炉体;2、盖体;301、保温层;302、弧形槽;303、滑槽;304、滑块;305、保温片;401、水箱;402、导水管;403、散热板;404、波纹管;405、第一弹簧;406、开口;407、推杆;408、隔热板;501、转轴;502、固位板;503、扣孔;601、支腿;602、第二弹簧;603、挡板;604、移动轮;605、第一插槽;606、第二插槽;607、插板;7、横杆。
具体实施方式
[0026]下面将结合本技术实施例中的附图,对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述,显然,所描述的实施例仅是本技术一部分实施例,而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例,本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其它实施例,都属于本技术保护的范围。
[0027]实施例一
[0028]请参阅图1

7所示,一种直拉式单晶炉快速冷却热场装置,包括炉体1;所述炉体1顶端固接有盖体2,所述炉体1内部设置有保温组件,所述炉体1内部设置有降温组件;
[0029]所述保温组件包括保温层301,所述保温层301固接在炉体1内壁,所述保温层301内壁开设有弧形槽302,所述保温层301底部开设有滑槽303,所述滑槽303内壁滑动连接有滑块304,所述滑块304顶端固接有保温片305,所述保温片305大小小于弧形槽302,所述保温片305设置在保温层301的间隙处,所述降温组件包括水箱401,所述水箱401固接在炉体1外壁,所述水箱401内壁固接有导水管402,所述导水管402伸入炉体1内,所述导水管402伸入炉体1内的一侧固接有散热板403,所述导水管402的一端固接有波纹管404,所述导水管402内壁与水箱401、波纹管404内壁连通,所述炉体1一侧开设有开口406,所述保温片305一侧固接有推杆407,所述推杆407一端伸出开口406;
[0030]工作时,现有的直拉式单晶炉在需要降温冷却时,通常只能关闭加热系统,令单晶炉内部自行降温冷却,而单晶炉内的保温层301会持续保温,使单晶炉的冷却时间较长,从而导致生产效率降低,为解决保温层301持续保温导致炉体1冷却慢的问题,在需要对炉体1进行冷却时,通过将推杆407向开口本文档来自技高网
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【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种直拉式单晶炉快速冷却热场装置,其特征在于:包括炉体(1);所述炉体(1)顶端固接有盖体(2),所述炉体(1)内部设置有保温组件,所述炉体(1)内部设置有降温组件;所述保温组件包括保温层(301),所述保温层(301)固接在炉体(1)内壁,所述保温层(301)内壁开设有弧形槽(302),所述保温层(301)底部开设有滑槽(303),所述滑槽(303)内壁滑动连接有滑块(304),所述滑块(304)顶端固接有保温片(305),所述保温片(305)大小小于弧形槽(302),所述保温片(305)设置在保温层(301)的间隙处,所述降温组件包括水箱(401),所述水箱(401)固接在炉体(1)外壁,所述水箱(401)内壁固接有导水管(402),所述导水管(402)伸入炉体(1)内,所述导水管(402)伸入炉体(1)内的一侧固接有散热板(403),所述导水管(402)的一端固接有波纹管(404),所述导水管(402)内壁与水箱(401)、波纹管(404)内壁连通,所述炉体(1)一侧开设有开口(406),所述保温片(305)一侧固接有推杆(407),所述推杆(407)一端伸出开口(406)。2.根据权利要求1所述的一种直拉式单晶炉快速冷却热场装置,其特征在于:所述炉体(1)一侧设置有固位组件,所述固位组件包括转轴(501),所述转轴(501)固接在炉体(1)一侧,所述转轴(501)顶端固接有固位板(502),所述固位板(502)顶端开设有扣孔(503),所述扣孔(503)形状与推杆(407)相扣和,所述扣孔(503)设置两组,并呈对称分布于固位板(502)的两侧,所述固位组件设置在开口(406)中心处的底部。3.根据权利要求2所述的一...

【专利技术属性】
技术研发人员:张艺波
申请(专利权)人:张艺波
类型:新型
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