一种半导体设备加工用辅助装配装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术公开了一种半导体设备加工用辅助装配装置，属于设备加工技术领域，包括传送架、电机、控制柜和防护套，传送架中部设置有控制柜，传送架表面设置有防护套，且防护套端部安装有电机，所述控制柜内部设置有安装板，所述安装板端部皆固定有引导杆，且引导杆表面分别套设有弹簧和引导套，所述弹簧两侧端部分别抵接在安装板表面和引导套之间，且引导套皆固定在控制柜侧壁上，所述安装板表面贴合有限位杆；不再需要操作者将头部探头控制柜内，对电器件进行检查或维修，提高工作人员检查或维修控制柜的便捷性，同时不再需要操作者一直手动托动电机与防护套进行安装，提高装置的使用性。性。性。

【技术实现步骤摘要】
一种半导体设备加工用辅助装配装置


[0001]本技术属设备加工
，尤其涉及一种半导体设备加工用辅助装配装置。

技术介绍

[0002]半导体设备通常是用于对半导体芯片生产加工的设备，在对半导体设备进行生产加工完成后，可能需要对半导体设备进行装配，从而得到完整的半导体设备，在装配时，由于部分半导体设备的零件较大，在进行装配，可能需要借助传送带对半导体设备零件进行运输，对半导体设备的装配进行辅助，例如比如公告号为202122960258.4的授权的中国技术专利的一种半导体设备加工专用装配辅助装置，此种结构设计辅助装配装置，通过设计的限位板、放置槽、横杆、扭簧、旋转槽，改善原先操作箱与支撑架之间通过螺栓固定，存在一定操作不便的现象，通过该结构，使操作箱与支撑架之间通过卡合的方式进行连接，且在拆装过程中，无需用工具辅助，增加使用便捷度，当操作箱长期使用后，操作箱内的电器件可能会发生损坏，为了避免操作箱内的电器件发生损坏后，可能需要定期对操作箱内的电器件进行检查，在检查或维修操作箱内的电器件时，操作者先将操作箱的箱门打开，当箱门打开后，操作者对操作箱本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种半导体设备加工用辅助装配装置，包括传送架(1)、电机(2)、控制柜(3)和防护套(4)，传送架(1)中部设置有控制柜(3)，传送架(1)表面设置有防护套(4)，且防护套(4)端部安装有电机(2)，其特征在于：所述控制柜(3)内部设置有安装板(9)，所述安装板(9)端部皆固定有引导杆(11)，且引导杆(11)表面分别套设有弹簧(10)和引导套(12)，所述弹簧(10)两侧端部分别抵接在安装板(9)表面和引导套(12)之间，且引导套(12)皆固定在控制柜(3)侧壁上，所述安装板(9)表面贴合有限位杆(5)，且限位杆(5)皆贯穿控制柜(3)一侧，所述限位杆(5)皆通过转动构件与控制柜(3)外侧壁连接。2.根据权利要求1所述的一种半导体设备加工用辅助装配装置，其特征在于：所述防护套(4)四周皆固定有延伸板(13)，且延伸板(13)中部皆贯穿有转杆(14)，所述转杆(14)末端皆固定有卡板(15)，所述卡板(15)末端皆套设在定位杆(16)表面，且定位杆(16)固定在电机(2)四周。3.根据权利要求1所述的一种半导体设备加工用辅助装...

【专利技术属性】
技术研发人员：吉晶晶，钱伟，赵斌，
申请(专利权)人：南通通州东大机械有限公司，
类型：新型
国别省市：