下载一种半导体设备加工用辅助装配装置的技术资料

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本实用新型公开了一种半导体设备加工用辅助装配装置,属于设备加工技术领域,包括传送架、电机、控制柜和防护套,传送架中部设置有控制柜,传送架表面设置有防护套,且防护套端部安装有电机,所述控制柜内部设置有安装板,所述安装板端部皆固定有引导杆,且引...
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