一种机械手臂漏率检测治具制造技术

本实用新型专利技术涉及机械手臂漏率检测设备技术领域，具体为一种机械手臂漏率检测治具，本实用新型专利技术中治具本体可根据机台模拟真空环境，检测机械手臂在使用过程中是否存在泄漏，通过机械手臂固定于治具本体上接入氮气抽至真空状态，打开氦气，将气体流量调至最小，气管放在酒精瓶里小冒泡即可，用气管对着b波纹管吹，看测漏数值有无变化，大于10

【技术实现步骤摘要】
一种机械手臂漏率检测治具


[0001]本技术涉及机械手臂漏率检测设备
，具体为一种机械手臂漏率检测治具。

技术介绍

[0002]机械手臂适用于半导体设备真空环境内搬运晶圆上下货，需具备稳定的漏率、使用周期长的特点，传统的测漏或者常规的方法比较繁琐，加之执行者经验与能力大小各不同，操作手法也略有不同，从而时机械手臂漏率稳定性参差不齐，导致机械手臂使用周期各不同，针对上述问题，设计了一种机械手臂漏率检测治具。

技术实现思路

[0003]本技术的目的在于提供一种机械手臂漏率检测治具，以解决上述
技术介绍
中提出的问题。
[0004]为实现上述目的，本技术提供如下技术方案：一种机械手臂漏率检测治具，包括治具支架、治具本体、治具顶盖、测漏仪连接口和拓展连接口，所述治具支架顶部中间安装有圆形的治具本体，所述治具本体一侧面连接有测漏仪连接口，所述测漏仪连接口相对的治具本体另一侧面开设有拓展连接口，所述治具本体顶部安装有治具顶盖，所述治具顶盖顶部中间安装有顶盖提手，所述治具本体内部开设有治具内腔，所述治具内腔顶部边缘设置有顶盖支撑面，所述本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种机械手臂漏率检测治具，包括治具支架(1)、治具本体(2)、治具顶盖(3)、测漏仪连接口(4)和拓展连接口(5)，其特征在于：所述治具支架(1)顶部中间安装有圆形的治具本体(2)，所述治具本体(2)一侧面连接有测漏仪连接口(4)，所述测漏仪连接口(4)相对的治具本体(2)另一侧面开设有拓展连接口(5)，所述治具本体(2)顶部安装有治具顶盖(3)，所述治具顶盖(3)顶部中间安装有顶盖提手(12)，所述治具本体(2)内部开设有治具内腔(7)，所述治具内腔(7)顶部边缘设置有顶盖支撑面(8)，所述治具内腔(7)底部边缘设置有机械手臂固定孔(10)。2.根据权利要求1所述的一种机械手臂漏率检测治具，其特征在于：所述测漏仪连接口(4)通...

【专利技术属性】
技术研发人员：杨志翔，孙晓光，周全，
申请(专利权)人：亦亨电子上海有限公司，
类型：新型
国别省市：