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本实用新型涉及机械手臂漏率检测设备技术领域，具体为一种机械手臂漏率检测治具，本实用新型中治具本体可根据机台模拟真空环境，检测机械手臂在使用过程中是否存在泄漏，通过机械手臂固定于治具本体上接入氮气抽至真空状态，打开氦气，将气体流量调至最小，气...
该专利属于亦亨电子（上海）有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过亦亨电子（上海）有限公司授权不得商用。

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