一种用于将基板传送机器人在真空室内行走的行走机器人制造技术

本发明专利技术涉及一种用于使基板传送机器人在真空室内行走的行走机器人，包括：行走臂平台，其包括第1_1结合孔、第1_2结合孔和第1_3结合孔；第1行走臂部包括第1_1行走连杆臂及第1_2行走连杆臂；第2行走臂部包括第2_1行走连杆臂及第2_2行走连杆臂；传送机器人结合部，其第2前端区域可旋转地结合到第1_2行走连杆臂的第1_2另一前端区域，第2另一前端区域可旋转地结合到第2_2行走连杆臂的第2_2另一前端区域，在第2中央区域形成有带中空的旋转驱动轴密封结合到用于传送基板的基板传送机器人的旋转驱动电机。动电机。动电机。

【技术实现步骤摘要】
一种用于将基板传送机器人在真空室内行走的行走机器人


[0001]本专利技术涉及一种行走机器人，更具体地，涉及一种用于在真空室中使基板传送机器人行走的行走机器人，所述基板传送机器人在基板处理装置中的真空室传送基板。

技术介绍

[0002]通常，半导体器件用晶片、显示装置用玻璃基板或薄膜太阳能电池用玻璃基板等基板通过对基板实施各种工艺来制备。此时，基板在为每个工艺提供最佳条件的基板处理装置中装载以进行处理。
[0003]目前，为了提高生产率，已经开发并使用可共同处理基板的集群(cluster)式基板处理装置。
[0004]集群式基板处理装置包括存储基板的负载锁定室、用于传送基板的传送室、以及用于执行每个工艺的多个工艺室。
[0005]另外，用于传送基板的基板传送机器人设置于真空状态的传送室，并可以将基板从负载锁定室传送到传送室、将基板从传送室传送到负载锁定室、在传送室之间传送基板，或传送基板以将其引入和引出到传送室中。
[0006]近来，为了应对基板的大型化，提高基板处理能力，正在研究将可在一个工艺室中处理两个基板的结构或四个工艺室以相等间隔设置于传送室的八边形结构改变为工艺室设置于传送室的基板传送路径两侧的四边形结构等。
[0007]尤其，当将两个基板设置于一个工艺室时，对应于相对于每个基板的位置的偏移，在四边形结构中，为了对应于各个工艺室的安装位置，可能不可避免地伴随着相对于基板传送机器人的位置移动。
[0008]为此，已经提出一种在传送室中设置诸如轨道之类的传送路径且使得传送机器人在传送路径上行走的方法。
[0009]然而，当传送室内设置诸如轨道之类的传送路径时，由于需要在传送室内设置用于形成传送路径的结构，然后在该结构的上部设置基板传送机器人，因此不仅难以设置基板传送机器人，而且事后对基板传送机器人进行维护也很困难。
[0010]现有技术文献
[0011](专利文献1)KR10
‑
2019
‑
0072373A
[0012](专利文献2)KR10
‑
2012
‑
0024021A

技术实现思路

[0013]本专利技术的目的在于解决所有上述问题。
[0014]本专利技术的另一目的在于提供一种用于将基板传送机器人在真空室内行走的行走机器人。
[0015]本专利技术的另一目的还在于可容易地设置用于使基板传送机器人在真空室中行走的行走机器人。
[0016]本专利技术的另一目的还在于可便于维护用于使设置在真空室中的基板传送机器人行走的行走机器人。
[0017]本专利技术的另一目的还在于提供一种可在保持真空室的真空状态的同时使基板传送机器人行走的行走机器人。
[0018]为了实现上述本专利技术的目的并实现后述的本专利技术的特征效果，本专利技术的特征结构如下。
[0019]根据本专利技术的一实施例，提供一种用于使基板传送机器人在真空室的内部行走的行走机器人，其特征在于，包括：行走臂平台，其包括：第1_1结合孔、其在第1中央区域被形成有与升降驱动轴的中空对应的第1_1通孔的第1_1卡止件分为第1_1上部空间和第1_1下部空间，并且所述第1_1上部空间被第1_1盖子密封；第1_2结合孔，其在第1一前端区域被形成有第1_2通孔的第1_2卡止件分为第1_2上部空间和第1_2下部空间，并且所述第1_2下部空间被第1_2盖子密封；和第1_3结合孔，其在第1另一前端区域被形成有第1_3通孔的第1_3卡止件分为第1_3上部空间和第1_3下部空间，并且所述第1_3下部空间被第1_3盖子密封，并且引入所述第1_1下部空间的所述升降驱动轴固定结合到所述第1_1卡止件；第1行走臂部，其包括：第1_1行走连杆臂，其在密封的内部空间设有第1行走驱动电机和与所述第1行走驱动电机联动将转速降低至1/2的第1减速机，与所述第1减速机联动的形成有中空的第1_1驱动轴和与所述第1_1驱动轴联动的第1_1输出轴密封设置于第1_1一前端区域，与所述第1行走驱动电机联动的形成有中空的第1_2驱动轴和与所述第1_2驱动轴联动的第1_2输出轴密封设置于第1_1另一前端区域，所述第1_1输出轴固定结合至第1_1连接件，所述第1_1连接件引入所述行走臂平台的所述第1_2上部空间中并固定结合至所述第1_2卡止件；以及第1_2行走连杆臂，其第1_2一前端区域固定结合至所述第1_1行走连杆臂的所述第1_2输出轴；第2行走臂部，其包括：第2_1行走连杆臂，其在密封的内部空间设有第2行走驱动电机和与所述第2行走驱动电机联动将转速降低至1/2的第2减速机，与所述第2减速机联动的形成有中空的第2_1驱动轴和与所述第2_1驱动轴联动的第2_1输出轴密封设置于第2_1一前端区域，与所述第2行走驱动电机联动的形成有中空的第2_2驱动轴和与所述第2_2驱动轴联动的第2_2输出轴密封设置于第2_1另一前端区域，所述第2_1输出轴固定结合至第1_2连接件，所述第1_2连接件引入所述行走臂平台的所述第1_3上部空间中并固定结合至所述第1_3卡止件；以及第2_2行走连杆臂，其第2_2一前端区域固定结合至所述第2_1行走连杆臂的所述第2_2输出轴；以及传送机器人结合部，其第2一前端区域可旋转地结合到所述第1_2行走连杆臂的第1_2另一前端区域，第2另一前端区域可旋转地结合到所述第2_2行走连杆臂的第2_2另一前端区域，在第2中央区域形成有带中空的旋转驱动轴密封结合到用于传送基板的基板传送机器人的旋转驱动电机。
[0020]所述传送机器人结合部还可以包括柔顺件，其在所述第2一前端区域至所述第2另一前端区域中的任意一个前端区域中，响应于外力，在所述传送机器人结合部内改变所述第1_2行走连杆臂的所述第1_2另一前端区域可旋转地结合的位置至所述第2_2行走连杆臂的所述第2_2另一前端区域可旋转地结合的位置中的任意一个位置。
[0021]所述柔顺件可以包括：滑动件，其在所述第2一前端区域至所述第2另一前端区域中的任意一个前端区域内部沿所述传送机器人结合部的纵向滑动，并且可旋转地结合到所述第1_2行走连杆臂的所述第1_2另一前端区域至所述2_2行走连杆臂的所述第2_2另一前
端区域中的任意一个；和弹性件，其分别形成于所述第2一前端区域至所述第2另一前端区域中任意一个的前端区域内部的所述滑动件的两侧滑动路径上。
[0022]所述行走臂平台还可以包括：第1布线孔，其连接所述第1_1上部空间与所述第1_2下部空间；和第2布线孔，其连接所述第1_1上部空间与所述第1_3下部空间。
[0023]所述行走臂平台还可以包括：第1_1布线孔和第1_2布线孔，其分别在所述行走臂平台的主体的一侧面连接所述第1_1上部空间；第2_1布线孔，其在所述行走臂平台的主体的一侧面连接所述第1_2下部空间；第2_2布线孔，其在所述行走臂平台的主体的一侧面连接所述第1_3下部空间；第1密封盖子，其在所述行走臂平台的主体的一侧面密封所述第1_1布线孔和所述第2_1布线孔；和第2密本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种用于使基板传送机器人在真空室的内部行走的行走机器人，其特征在于，包括：行走臂平台，其包括：第1_1结合孔、其在第1中央区域被形成有与升降驱动轴的中空对应的第1_1通孔的第1_1卡止件分为第1_1上部空间和第1_1下部空间，并且所述第1_1上部空间被第1_1盖子密封；第1_2结合孔，其在第1一前端区域被形成有第1_2通孔的第1_2卡止件分为第1_2上部空间和第1_2下部空间，并且所述第1_2下部空间被第1_2盖子密封；和第1_3结合孔，其在第1另一前端区域被形成有第1_3通孔的第1_3卡止件分为第1_3上部空间和第1_3下部空间，并且所述第1_3下部空间被第1_3盖子密封，并且引入所述第1_1下部空间的所述升降驱动轴固定结合到所述第1_1卡止件；第1行走臂部，其包括：第1_1行走连杆臂，其在密封的内部空间设有第1行走驱动电机和与所述第1行走驱动电机联动将转速降低至1/2的第1减速机，与所述第1减速机联动的形成有中空的第1_1驱动轴和与所述第1_1驱动轴联动的第1_1输出轴密封设置于第1_1一前端区域，与所述第1行走驱动电机联动的形成有中空的第1_2驱动轴和与所述第1_2驱动轴联动的第1_2输出轴密封设置于第1_1另一前端区域，所述第1_1输出轴固定结合至第1_1连接件，所述第1_1连接件引入所述行走臂平台的所述第1_2上部空间中并固定结合至所述第1_2卡止件；以及第1_2行走连杆臂，其第1_2一前端区域固定结合至所述第1_1行走连杆臂的所述第1_2输出轴；第2行走臂部，其包括：第2_1行走连杆臂，其在密封的内部空间设有第2行走驱动电机和与所述第2行走驱动电机联动将转速降低至1/2的第2减速机，与所述第2减速机联动的形成有中空的第2_1驱动轴和与所述第2_1驱动轴联动的第2_1输出轴密封设置于第2_1一前端区域，与所述第2行走驱动电机联动的形成有中空的第2_2驱动轴和与所述第2_2驱动轴联动的第2_2输出轴密封设置于第2_1另一前端区域，所述第2_1输出轴固定结合至第1_2连接件，所述第1_2连接件引入所述行走臂平台的所述第1_3上部空间中并固定结合至所述第1_3卡止件；以及第2_2行走连杆臂，其第2_2一前端区域固定结合至所述第2_1行走连杆臂的所述第2_2输出轴；以及传送机器人结合部，其第2一前端区域可旋转地结合到所述第1_2行走连杆臂的第1_2另一前端区域，第2另一前端区域可旋转地结合到所述第2_2行走连杆臂的第2_2另一前端区域，在第2中央区域形成有带中空的旋转驱动轴密封结合到用于传送基板的基板传送机器人的旋转驱动电机。2.根据权利要求1所述的行走机器人，其特征在于，所述传送机器人结合部还包括：柔顺件，其在所述第2一前端区域至所述第2另一前端区域中的任意一个前端区域中，响应于外力，在所述传送机器人结合部内改变所述第1_2行走连杆臂的所述第1_2另一前端区域可旋转地结合的位置至所述第2_2行走连杆臂的所述第2_2另一前端区域可旋转地结合的位置中的任意一个位置。3.根据权利要求2所述的行走机器人，其特征在于，所述柔顺件包括：滑动件，其在所述第2一前端区域至所述第2另一前端区域中的任意一个前端区域内部沿所述传送机器人结合部的纵向滑动，并且可旋转地结合到所述第1_2行走连杆臂的所述第1_2另一前端区域至所述2_2行走连杆臂的所述第2_2另一前端区域中的任意一个；和弹性件，其分别形成于所述第2一前端区域至所述第2另一前端区域中任意一个的前端区域内部的所述滑动件的两侧滑动路径上。
4.根据权利要求1所述的行走机器人，其特征在于，所述行走臂平台还包括：第1布线孔，其连接所述第1_1上部空间与所述第1_2下部空间；和第2布线孔，其连接所述第1_1上部空间与所述第1_3下部空间。5.根据权利要求1所述的行走机器人，其特征在于，所述行走臂平台还包括：第1_1布线孔和第1_2布线孔，其分别在所述行走臂平台的主体的一侧面连接所述第1_1上部空间；第2_1布线孔，其在所述行走臂平台的主体的一侧面连接所述第1_2下部空间；第2_2布线孔，其在所述行走臂平台的主体的一侧面连接所述第1_3下部空间；第1密封盖子，其在所述行走臂平台的主体的一侧面密封所述第1_1布线孔和所述第2_1布线孔；和第2密封盖子，其在所述行走臂平台的主体的一侧面密封所述第1_2布线孔和所述第2_2布线孔。6.根据权利要求1所述的行走机器人，其特征在于：还包括用于所述第1行走驱动电机工作的第1布线和用于所述第2行走驱动电机工作的第2布线，所述第1布线通过所述升降驱动轴和所述第1_1驱动轴的中空引入所述第1行走驱动电机，以在所述真空室的内部空间被密封，所述第2布线分别通过升降驱动轴和所述第2_1驱动轴的中空引入所述第2行走驱动电机，以在真空室的内部空间被密封。7.根据权利要求1所述的行走机器人，其特征在于：当将所述行走臂平台的纵向中心线与所述第1_1行走连杆臂的纵向中心线相交的位置称为第1_1接触点，将所述行走臂平台的纵向中心线与所述第2_1行走连杆臂的纵向中心线相交的位置称为第1_2接触点，将所述第1_1行走连杆臂的纵向中心线与所述第1_2行走连杆臂的纵向中心线相交的位置称为第2_1接触点，将所述第2_1行走连杆臂的纵向中心线与所述第2_2行走连杆臂的纵向中心线相交的位置称为第2_2接触点，将所述第1_2行走连杆臂的纵向中心线与所述传送机器人结合部的纵向中心线相交的位置称为第3_1接触点，将所述第2_2行走连杆臂的纵向中心线与所述传送机器人结合部的纵向中心线相交的位置称为第3_2接触点时，使所述第1_1接触点与所述第1_2接触点之间的距离和所述第3_1接触点与所述第3_2接触点之间的距离相等，使所述第1_1接触点与所述第2_1接触点之间的距离、所述第2_1接触点与所述第3_1接触点之间的距离、所述第1_2接触点与所述第2_2接触点之间的距离、和所述第2_2接触点与所述第3_2接触点之间的距离相等，使在所述第1_1接触点处所述行走臂平台与所述第1_1行走连杆臂之间的角度与所述第1_2接触点处的所述行走臂平台与所述第2_1行走连杆臂构成的角度的绝对值相等，使在所述第2_1接触点处所述第1_1行走连杆臂与所述第1_2行走连杆臂构成的角度与所述第2_2接触点处的所述第2_1行走连杆臂与所述第2_2行走连杆臂之间的角度的绝对值相等，使在所述第3_1接触点处...

【专利技术属性】
技术研发人员：李寿钟，金明辰，李昌成，白承煐，池昌弦，咸相辉，许文纪，朴宰炫，李太韩，
申请(专利权)人：株式会社TROBOTICS，
类型：发明
国别省市：