用于在真空室内传送基板的基板传送机器人制造技术

本发明专利技术涉及一种用于在真空室内传送基板的基板传送机器人，包括：传送臂平台，其形成有第1结合孔、第2结合孔及第3结合孔，在前方区域固定结合有包括用于连杆结合的第1叶片和第2叶片的连杆连接件，引入至所述第1下部空间的所述底部支撑体的所述支撑轴固定结合于所述第1卡止件；第1传送臂部，其包括第1_1传送连杆臂、第1_2传送连杆臂、第1共用连杆臂、第1_1辅助连杆臂、第1_2辅助连杆臂、第1_3辅助连杆臂及第1末端执行器；以及第2传送臂部，其包括第2_1传送连杆臂、第2_2传送连杆臂、第2共用连杆臂、第2_1辅助连杆臂、第2_2辅助连杆臂、第2_3辅助连杆臂及第2末端执行器。辅助连杆臂及第2末端执行器。辅助连杆臂及第2末端执行器。

【技术实现步骤摘要】
用于在真空室内传送基板的基板传送机器人


[0001]本专利技术涉及一种基板传送机器人，更具体地，涉及一种用于在基板处理装置内的真空室中传送基板的基板传送机器人。

技术介绍

[0002]通常，半导体元件用晶片、显示装置用玻璃基板，或薄膜太阳能电池用玻璃基板等基板通过在基板上执行各种工艺来制造。此时，基板装载于为每个工艺提供所需最佳条件的基板处理装置后被处理。
[0003]目前，为了提高生产率，能够批量处理基板的集群(cluster)式基板处理装置已被研发和使用。
[0004]集群式基板处理装置包括存储基板的负载锁定室、用于传送基板的传送室、以及用于执行每个工艺的多个工艺室。
[0005]另外，用于传送基板的基板传送机器人设置于真空状态的传送室，从而可以实施将基板从负载锁定室传送至传送室，将基板从传送室传送至负载锁定室，在传送室之间传送基板，或者传送基板以将其引入和引出工艺室。
[0006]近年来，为了应对基板的大型化，提高基板的处理能力，以及应对高重量的基板，正在对高刚性基板传送机器人进行研究。
[0007]另外，为了提高相对于制造装置设置面积的效率，在能够保持高真空的状态下，需要更小型的基板传送机器人。
[0008]为了应对这种需求，提出了一种基板传送机器人，其将臂本身形成为连杆结构，并密封构成每个连杆的臂(arm)内部，且在每个臂的内部设置驱动电机和减速机。
[0009]但是，如上所述的现有基板传送机器人以密封结构形成连杆臂结合的臂平台并在内部设置驱动电机，用于旋转每个连杆臂的减速机设置于每个连杆臂的内部。
[0010]因此，现有的基板传送机器人存在因在臂平台设置驱动电机而需要较大地形成臂平台的问题。
[0011]另外，由于现有的基板传送机器人需要在臂平台设置驱动电机，并在每个连杆臂设置减速机，因此在设置和维护方面存在困难。
[0012]即，当基板传送机器人的驱动发生问题时，为了维护，需要分解臂平台和每个连杆臂来确认驱动电机和减速机是否发生故障，因此存在维护需要较长时间的问题。
[0013]现有技术文献
[0014]专利文献
[0015](专利文献1)KR10
‑
2011
‑
0052454A

技术实现思路

[0016]解决的技术问题
[0017]本专利技术旨在解决所有上述问题。
[0018]本专利技术的另一目的在于提供一种基板传送机器人，其可以从根本上阻止真空室内发生微粒。
[0019]本专利技术的另一目的在于提供一种更小型的基板传送机器人，以提高相对于制造装置设置面积的效率。
[0020]本专利技术的另一目的在于提供一种基板传送机器人，其在真空室内具有真空密封结构。
[0021]技术方案
[0022]本专利技术的特征用于实现上述本专利技术的目的和后述本专利技术的特征效果，其结构如下。
[0023]根据本专利技术的一实施例，提供一种用于在真空室内传送基板的基板传送机器人，其特征在于包括：传送臂平台，其形成有位于第1中央区域的第1结合孔、位于第1一前端区域的第2结合孔以及位于第1另一前端区域的第3结合孔，其中，所述第1结合孔被第1卡止件分为第1上部空间和第1下部空间，所述第1上部空间被第1盖子密封，所述第1卡止件形成有第1通孔，所述第1通孔对应于在底部支撑体的传送机器人结合部形成的支撑轴的中空；所述第2结合孔被第2卡止件分为第2上部空间和第2下部空间，所述第2下部空间被第2盖子密封，所述第2卡止件形成有第2通孔；所述第3结合孔被第3卡止件分为第3上部空间和第3下部空间，所述第3下部空间被第3盖子密封，所述第3卡止件形成有第3通孔，在前方区域固定结合有包括用于连杆结合的第1叶片和第2叶片的连杆连接件，所述前方是所述基板传送机器人为了将所述基板传送至与所述真空室结合的工艺室而配置的状态下所述工艺室所处的方向，引入至所述第1下部空间的所述底部支撑体的所述支撑轴固定结合于所述第1卡止件；第1传送臂部，其包括第1_1传送连杆臂、第1_2传送连杆臂、第1共用连杆臂、第1_1辅助连杆臂、第1_2辅助连杆臂、第1_3辅助连杆臂以及第1末端执行器，在所述第1_1传送连杆臂的密封的内部空间中设有第1传送驱动电机和第1减速机，所述第1减速机与所述第1传送驱动电机联动从而将转速降至1/2，在第1_1一前端区域密封地设置有第1_1驱动轴以及与所述第1_1驱动轴联动的第1_1输出轴，所述第1_1驱动轴与所述第1减速机联动且形成有中空，在第1_1另一前端区域密封地设置有第1_2驱动轴以及与所述第1_2驱动轴联动的第1_2输出轴，所述第1_2驱动轴与所述第1传送驱动电机联动且形成有中空，所述第1_1输出轴引入至所述传送臂平台的所述第2上部空间中并固定结合于与所述第2卡止件固定结合的第1连接件；所述第1_2传送连杆臂的第1_2一前端区域通过第1固定结合轴固定结合于所述第1_1传送连杆臂的所述第1_2输出轴；所述第1共用连杆臂的第2中央区域可旋转地结合于所述第1固定结合轴；所述第1_1辅助连杆臂平行于所述第1_1传送连杆臂，第1_4一前端区域可旋转地结合于所述传送臂平台的所述连杆连接件的所述第1叶片，第1_4另一前端区域可旋转地结合于所述第1共用连杆臂的第1_3一前端区域；所述第1_2辅助连杆臂平行于所述第1_2传送连杆臂，第1_5一前端区域可旋转地结合于所述第1共用连杆臂的第1_3另一前端区域；所述第1_3辅助连杆臂平行于所述第1共用连杆臂，第1_6一前端区域可旋转地结合于所述第1_2辅助连杆臂的第1_5另一前端区域，第1_6另一前端区域可旋转地结合于所述第1_2传送连杆臂的第1_2另一前端区域；所述第1末端执行器固定于所述第1_3辅助连杆臂的所述第1_6另一前端区域支撑所述基板；以及第2传送臂部，其包括第2_1传送连杆臂、第2_2传送连杆臂、第2共用连杆臂、第2_1辅助连杆臂、第2_2辅助连杆臂、第2_3辅助连杆臂以及
第2末端执行器，在所述第2_1传送连杆臂的密封的内部空间中设有第2传送驱动电机和第2减速机，所述第2减速机与所述第2传送驱动电机联动从而将转速降至1/2，在所述第2_1传送连杆臂的第2_1一前端区域密封地设置有第2_1驱动轴以及与所述第2_1驱动轴联动的第2_1输出轴，所述第2_1驱动轴与所述第2减速机联动且形成有中空，在第2_1另一前端区域密封地设置有第2_2驱动轴以及与所述第2_2驱动轴联动的第2_2输出轴，所述第2_2驱动轴与所述第2传送驱动电机联动且形成有中空，所述第2_1输出轴引入至所述传送臂平台的所述第3上部空间中且固定结合于与所述第3卡止件固定结合的第2连接件；所述第2_2传送连杆臂的第2_2一前端区域通过第2固定结合轴固定结合于所述第2_1传送连杆臂的所述第2_2输出轴；所述第2共用连杆臂的第3中央区域可旋转地结合于所述第2固定结合轴；所述第2_1辅助连杆臂平行于所述第2_1传送连杆臂，第2_4一前端区域可旋转地结合于所述传送臂平台的所述连杆连接件的所述第2叶片，第2本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种用于在真空室内传送基板的基板传送机器人，其特征在于包括：传送臂平台，其形成有位于第1中央区域的第1结合孔、位于第1一前端区域的第2结合孔以及位于第1另一前端区域的第3结合孔，其中，所述第1结合孔被第1卡止件分为第1上部空间和第1下部空间，所述第1上部空间被第1盖子密封，所述第1卡止件形成有第1通孔，所述第1通孔对应于在底部支撑体的传送机器人结合部形成的支撑轴的中空；所述第2结合孔被第2卡止件分为第2上部空间和第2下部空间，所述第2下部空间被第2盖子密封，所述第2卡止件形成有第2通孔；所述第3结合孔被第3卡止件分为第3上部空间和第3下部空间，所述第3下部空间被第3盖子密封，所述第3卡止件形成有第3通孔，在前方区域固定结合有包括用于连杆结合的第1叶片和第2叶片的连杆连接件，所述前方是所述基板传送机器人为了将所述基板传送至与所述真空室结合的工艺室而配置的状态下所述工艺室所处的方向，引入至所述第1下部空间的所述底部支撑体的所述支撑轴固定结合于所述第1卡止件；第1传送臂部，其包括第1_1传送连杆臂、第1_2传送连杆臂、第1共用连杆臂、第1_1辅助连杆臂、第1_2辅助连杆臂、第1_3辅助连杆臂以及第1末端执行器，在所述第1_1传送连杆臂的密封的内部空间中设有第1传送驱动电机和第1减速机，所述第1减速机与所述第1传送驱动电机联动从而将转速降至1/2，在第1_1一前端区域密封地设置有第1_1驱动轴以及与所述第1_1驱动轴联动的第1_1输出轴，所述第1_1驱动轴与所述第1减速机联动且形成有中空，在第1_1另一前端区域密封地设置有第1_2驱动轴以及与所述第1_2驱动轴联动的第1_2输出轴，所述第1_2驱动轴与所述第1传送驱动电机联动且形成有中空，所述第1_1输出轴引入至所述传送臂平台的所述第2上部空间中并固定结合于与所述第2卡止件固定结合的第1连接件；所述第1_2传送连杆臂的第1_2一前端区域通过第1固定结合轴固定结合于所述第1_1传送连杆臂的所述第1_2输出轴；所述第1共用连杆臂的第2中央区域可旋转地结合于所述第1固定结合轴；所述第1_1辅助连杆臂平行于所述第1_1传送连杆臂，第1_4一前端区域可旋转地结合于所述传送臂平台的所述连杆连接件的所述第1叶片，第1_4另一前端区域可旋转地结合于所述第1共用连杆臂的第1_3一前端区域；所述第1_2辅助连杆臂平行于所述第1_2传送连杆臂，第1_5一前端区域可旋转地结合于所述第1共用连杆臂的第1_3另一前端区域；所述第1_3辅助连杆臂平行于所述第1共用连杆臂，第1_6一前端区域可旋转地结合于所述第1_2辅助连杆臂的第1_5另一前端区域，第1_6另一前端区域可旋转地结合于所述第1_2传送连杆臂的第1_2另一前端区域；所述第1末端执行器固定于所述第1_3辅助连杆臂的所述第1_6另一前端区域支撑所述基板；以及第2传送臂部，其包括第2_1传送连杆臂、第2_2传送连杆臂、第2共用连杆臂、第2_1辅助连杆臂、第2_2辅助连杆臂、第2_3辅助连杆臂以及第2末端执行器，在所述第2_1传送连杆臂的密封的内部空间中设有第2传送驱动电机和第2减速机，所述第2减速机与所述第2传送驱动电机联动从而将转速降至1/2，在所述第2_1传送连杆...

【专利技术属性】
技术研发人员：李寿钟，金明辰，李昌成，白承煐，池昌弦，咸相辉，许文纪，朴宰炫，李太韩，
申请(专利权)人：株式会社TROBOTICS，
类型：发明
国别省市：