一种用于使基板传送机器人在传送室内行走的行走机器人制造技术

本发明专利技术涉及行走机器人，包括：升降单元，其使设置于传送室内部的升降驱动轴做上下运动以及旋转运动；第1行走连杆臂，其第1一前端区域结合到升降驱动轴；第2行走连杆臂，其密封的内部空间中设置有第1驱动电机，与第1驱动电机联动的第1行走驱动轴、与第1行走驱动轴联动的第1行走输出轴密封地设置于第2一前端区域，与第1驱动电机联动的第2行走驱动轴、与第2行走驱动轴联动的第2行走输出轴密封地设置于第2另一前端区域，第1行走输出轴结合到第1行走连杆臂的第1另一前端区域；第3行走连杆臂，其密封的内部空间中设置有第2驱动电机，与第2驱动电机联动的旋转驱动轴、与旋转驱动轴联动的旋转输出轴设置于第3另一前端区域。转输出轴设置于第3另一前端区域。转输出轴设置于第3另一前端区域。

【技术实现步骤摘要】
一种用于使基板传送机器人在传送室内行走的行走机器人


[0001]本专利技术涉及一种行走机器人，更具体地，涉及一种用于使传送基板的基板传送机器人在基板处理装置内的传送室内行走的行走机器人。

技术介绍

[0002]通常，通过在基板上执行各种工艺来制造基板，例如，用于半导体元件的晶片、用于显示装置的玻璃基板，或用于薄膜太阳能电池的玻璃基板等。此时，基板装载到为每个工艺提供所需最佳条件的基板处理装置后被处理。
[0003]目前，为了提高生产率，能够批量处理基板的集群(cluster)式基板处理装置已被研发和使用。
[0004]集群式基板处理装置包括存储基板的负载锁定室、用于传送基板的传送室以及用于执行每个工艺的多个工艺室。
[0005]另外，用于传送基板的基板传送机器人设置于传送室，从而可以实施将基板从负载锁定室传送到传送室，将基板从传送室传送到负载锁定室，在传送室之间传送基板，或者传送基板以将其引入和引出工艺室。
[0006]为了在有限的空间里最小化基板处理装置的设置面积以提高空间效率，近年来进行着将工艺室以相同间距设置于传送室外围的圆形结构变更为工艺室设置于传送室内基板传送路径两侧的四角结构等研究，例如，韩国注册专利第10
‑
2200250号。
[0007]在这种四角结构的基板处理装置中，传送室中的基板传送距离会增加，以在工艺室中装载和卸载基板。
[0008]因此，如美国注册专利第5,993,142号所示，欲通过利用三节连杆的基板传送机器人，在四角结构的基板处理装置中增加基板的传送距离。
[0009]但是，利用三节连杆的传统基板传送机器人利用设置于基座轴的单一电机使每个连杆臂滑轮联动，从而使其执行直线运动，因此可传送基板的最大距离受限，当工艺室的设置距离大于或等于最大距离时，发生无法用一个基板传送机器人传送基板的问题。
[0010]因此，在四角结构中可能必须移动基板传送机器人的位置，以对应每个工艺室的设置位置。
[0011]为此，已提出在传送室内设置轨道等传送路径以使传送机器人在传送路径上行走的方法等。
[0012]但是，当在传送室内设置轨道等传送路径时，需要在传送室内设置用于形成传送路径的结构后，在结构上方设置基板传送机器人，因此不仅是基板传送机器人的设置工作存在难度，也会给以后对基板传送机器人的维修工作带来困难。
[0013]现有技术文献
[0014]专利文献
[0015](专利文献1)KR10
‑
2200250B1
[0016](专利文献2)US5,993,142B

技术实现思路

[0017]解决的技术问题
[0018]本专利技术的目的在于解决所有上述问题。
[0019]本专利技术的另一目的在于提供一种用于使基板传送机器人在传送室内行走的行走机器人。
[0020]本专利技术的另一目的在于能够容易地设置用于使基板传送机器人在传送室内行走的行走机器人。
[0021]本专利技术的另一目的在于能够容易地维修用于使设置于传送室内的基板传送机器人行走的行走机器人。
[0022]本专利技术的另一目的在于提供一种行走机器人，其能够保持传送室的真空状态并使基板机器人行走。
[0023]技术方案
[0024]本专利技术的特征用于实现上述本专利技术的目的和后述本专利技术的特征效果，其结构如下。
[0025]根据本专利技术一实施例提供一种行走机器人，其用于使基板传送机器人在传送室内行走，其包括：升降单元，其使设置于传送室的内部的升降驱动轴做上下运动以及旋转运动；第1行走连杆臂，其第1一前端区域结合到所述升降驱动轴；第2行走连杆臂，其密封的内部空间中设置有第1驱动电机，与所述第1驱动电机联动的第1行走驱动轴、与所述第1行走驱动轴联动的第1行走输出轴密封地设置于第2一前端区域，与所述第1驱动电机联动的第2行走驱动轴、与所述第2行走驱动轴联动的第2行走输出轴密封地设置于第2另一前端区域，所述第1行走输出轴结合到所述第1行走连杆臂的第1另一前端区域；以及第3行走连杆臂，其密封的内部空间中设置有第2驱动电机，与所述第2驱动电机联动的旋转驱动轴、与所述旋转驱动轴联动的旋转输出轴设置于第3另一前端区域，第3一前端区域结合到所述第2行走连杆臂的所述第2行走输出轴，基板传送机器人结合到所述旋转输出轴。
[0026]所述升降单元位于密封所述传送室的内部的壳体的外侧下方区域，所述升降单元的上端密封地结合到形成于所述壳体的下方区域的传送室通孔，并且使所述升降驱动轴在所述传送室的通孔中做上下运动。
[0027]所述升降驱动轴、所述第1行走驱动轴以及所述第2行走驱动轴的旋转速度之比为1：2：2。
[0028]所述升降驱动轴、所述第1行走驱动轴、所述第2行走驱动轴以及所述旋转驱动轴的旋转速度之比为1：2：2：1。
[0029]所述升降单元的所述升降驱动轴包括与所述升降驱动轴联动的升降输出轴，所述升降输出轴结合到所述第1行走连杆臂的所述第1一前端区域；
[0030]所述升降输出轴、所述第1行走输出轴以及所述第2行走输出轴的旋转速度之比为1：2：2。
[0031]所述升降单元的所述升降驱动轴包括与所述升降驱动轴联动的升降输出轴，所述升降输出轴结合到所述第1行走连杆臂的所述第1一前端区域；
[0032]所述升降输出轴、所述第1行走输出轴、所述第2行走输出轴以及所述旋转输出轴的旋转速度之比为1：2：2：1。
[0033]所述第1行走输出轴与所述第1另一前端区域的结合通过第1连接件实现，所述第1连接件的第1一侧端结合到所述第1行走输出轴并且第1另一侧端结合到所述第1另一前端区域；所述第2行走输出轴与所述第3一前端区域的结合通过第2连接件实现，所述第2连接件的第2一侧端结合到所述第2行走输出轴并且第2另一侧端结合到所述第3一前端区域。
[0034]所述升降驱动轴和所述第1行走驱动轴之间的距离、所述第1行走驱动轴和所述第2行走驱动轴之间的距离以及所述第2行走驱动轴和所述旋转驱动轴之间的距离之比为1：2：1。
[0035]所述升降驱动轴、所述第1行走驱动轴、所述第2行走驱动轴以及所述旋转驱动轴分别形成有中空，布线通过所述中空设置于所述第1行走连杆臂、所述第2行走连杆臂以及所述第3行走连杆臂的内部，所述布线用于控制所述第1驱动电机、所述第2驱动电机以及所述基板传送机器人。
[0036]所述基板传送机器人可以包括：传送臂平台，其形成第1结合孔、第2结合孔以及第3结合孔，连杆连接件固定结合到其前方区域，其中，所述前方是所述基板传送机器人处于将要把基板传送至与所述传送室结合的工艺室的状态下，所述工艺室所处的方向，所述第1结合孔通过第1卡止件分为第1上部空间和第1下部空间，所述第1上部空间被第1盖子密封，所述第1卡止件的中央区域形成有第1通孔，所述第1通孔对应于所述第2行走连杆臂的所述旋转驱动轴，所述第2结合孔通过第2卡止件分为第2上部空间和第2下部空间本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种行走机器人，其用于使基板传送机器人在传送室内行走，其中，包括：升降单元，其使设置于传送室的内部的升降驱动轴做上下运动以及旋转运动；第1行走连杆臂，其第1一前端区域结合到所述升降驱动轴；第2行走连杆臂，其密封的内部空间中设置有第1驱动电机，与所述第1驱动电机联动的第1行走驱动轴、与所述第1行走驱动轴联动的第1行走输出轴密封地设置于第2一前端区域，与所述第1驱动电机联动的第2行走驱动轴、与所述第2行走驱动轴联动的第2行走输出轴密封地设置于第2另一前端区域，所述第1行走输出轴结合到所述第1行走连杆臂的第1另一前端区域；以及第3行走连杆臂，其密封的内部空间中设置有第2驱动电机，与所述第2驱动电机联动的旋转驱动轴、与所述旋转驱动轴联动的旋转输出轴设置于第3另一前端区域，第3一前端区域结合到所述第2行走连杆臂的所述第2行走输出轴，基板传送机器人结合到所述旋转输出轴。2.根据权利要求1所述的行走机器人，其中：所述升降单元位于密封所述传送室的内部的壳体的外侧下方区域，所述升降单元的上端密封地结合到形成于所述壳体的下方区域的传送室通孔，并且使所述升降驱动轴在所述传送室的通孔中做上下运动。3.根据权利要求1所述的行走机器人，其中：所述升降驱动轴、所述第1行走驱动轴以及所述第2行走驱动轴的旋转速度之比为1：2：2。4.根据权利要求1所述的行走机器人，其中：所述升降驱动轴、所述第1行走驱动轴、所述第2行走驱动轴以及所述旋转驱动轴的旋转速度之比为1：2：2：1。5.根据权利要求1所述的行走机器人，其中：所述升降单元的所述升降驱动轴包括与所述升降驱动轴联动的升降输出轴，所述升降输出轴结合到所述第1行走连杆臂的所述第1一前端区域；所述升降输出轴、所述第1行走输出轴以及所述第2行走输出轴的旋转速度之比为1：2：2。6.根据权利要求1所述的行走机器人，其中：所述升降单元的所述升降驱动轴包括与所述升降驱动轴联动的升降输出轴，所述升降输出轴结合到所述第1行走连杆臂的所述第1一前端区域；所述升降输出轴、所述第1行走输出轴、所述第2行走输出轴以及所述旋转输出轴的旋转速度之比为1：2：2：1。7.根据权利要求1所述的行走机器人，其中：所述第1行走输出轴与所述第1另一前端区域的结合通过第1连接件实现，所述第1连接件的第1一侧端结合到所述第1行走输出轴并且第1另一侧端结合到所述第1另一前端区域；所述第2行走输出轴与所述第3一前端区域的结合通过第2连接件实现，所述第2连接件的第2一侧端结合到所述第2行走输出轴并且第2另一侧端结合到所述第3一前端区域。8.根据权利要求1所述的行走机器人，其中：所述升降驱动轴和所述第1行走驱动轴之间的距离、所述第1行走驱动轴和所述第2行
走驱动轴之间的距离以及所述第2行走驱动轴和所述旋转驱动轴之间的距离之比为1：2：1。9.根据权利要求1所述的行走机器人，其中：所述升降驱动轴、所述第1行走驱动轴、所述第2行走驱动轴以及所述旋转驱动轴分别形成有中空，布线通过所述中空设置于所述第1行走连杆臂、所述第2行走连杆臂以及所述第3行走连杆臂的内部，所述布线用于控制所述第1驱动电机、所述第2驱动电机以及所述基板传送机器人。10.根据权利要求1所述的行走机器人，其中，包括：传送臂平台，其形成第1结合孔、第2结合孔以及第3结合孔，连杆连接件固定结合到其前方的区域，其中，所述前方是所述基板传送机器人处于将要把基板传送至与所述传送室结合的工艺室的状态下，所述工艺室所处的方向，所述第1结合孔通过第1卡止件分为第1上部空间和第1下部空间，所述第1上部空间被第1盖子密封，所述第1卡止件的中央区域形成有第1通孔，所述第1通孔对应于所述第2行走连杆臂的所述旋转驱动轴，所述第2结合孔通过第2卡止件分为第2上部空间和第2下部空间，所述第2下部空间被第2盖子密封，所述第2卡止件具有形成于第4一前端区域的第2通孔，所述第3结合孔通过第3卡止件分为第3上部空间和第3下部空间，所述第3下部空间被第3盖子密封，所述第3卡止件具有形成于第4另一前端区域的第3通孔，所述连杆连接件包括用于连杆结合的第1叶片和第2叶片，所述旋转输出轴固定结合到第3连接件，所述第3连接件被引入至所述第1下部空间且固定结合到所述第1卡止件；第1传送臂单元，其包括第1...

【专利技术属性】
技术研发人员：李寿钟，崔恩载，金贤珠，金峻莹，
申请(专利权)人：株式会社TROBOTICS，
类型：发明
国别省市：