一种侧边激光剥离装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术公开了一种侧边激光剥离装置，包括底座，底座上侧中部通过转轴旋转安装有上支板，上支板上侧中部通过液压缸安装有工作平台，工作平台上放置有待剥离基板，待剥离基板中部设置有键合胶层，键合胶层外部设有的溢胶区，底座一端上侧安装有反射镜组，反射镜组上侧安装有激光发射器，转轴一端通过齿轮组传动连接有电机，工作平台设置成圆形台状，且工作平台与转轴垂直设置，本实用新型专利技术通过工作平台上外围设置有反射镜组，可以使原有的激光系统能够以水平方向针对侧边溢胶区域进行激光剥离，方便后续基板分离，也无须增加激光模组。也无须增加激光模组。也无须增加激光模组。

【技术实现步骤摘要】
一种侧边激光剥离装置


[0001]本技术涉及激光剥离
，具体是一种侧边激光剥离装置。

技术介绍

[0002]激光剥离技术(LLO)是利用材料吸收激光能量产生分解或碳化的现象，使得原本接著于材料上的基板进行分离。相比于化学剥离、机械剥离和离子束等其他高能束剥离，激光剥离技术具有能量输入效率高、器件损伤小、设备开放性好、应用方式灵活等优势，已成为柔性电子器件及半导体封装制造的新兴关键技术。
[0003]现有的激光剥离装置，激光大多由基板上方向下进行照射，由于键合后基板测边有溢胶的现象，由上至下之激光无法针对侧边溢胶区域进行照射，使得激光剥离后两片基板会因为溢胶区域无法进行分离。

技术实现思路

[0004]本技术的目的在于提供一种侧边激光剥离装置，以解决现有技术中激光无法对基板侧边溢胶区域进行反应，使得激光剥离后两片基板会因为溢胶区域无法进行分离的问题。
[0005]为实现上述目的，本技术提供如下技术方案：一种侧边激光剥离装置，包括底座，所述底座上侧中部通过转轴旋转安装有上支板，所述上支板上侧中部通过液压缸安装有工作平台，所述工作平台上放置有待剥离基板，所述待剥离基板中部设置有键合胶层，所述键合胶层外部设有的溢胶区，所述底座一端上侧安装有反射镜组，所述反射镜组上侧安装有激光发射器，所述转轴一端通过齿轮组传动连接有电机。
[0006]进一步的，所述工作平台设置成圆形台状，且工作平台与转轴垂直设置。
[0007]进一步的，所述底座一端上侧安装有垫板，所述反射镜组倾斜安装在垫板上。
[0008]进一步的，所述底座下侧开设有凹槽，且齿轮组和电机安装在凹槽内。
[0009]进一步的，所述齿轮组包括设置在电机一端的主动齿轮，所述转轴一端安装有从动齿轮，且从动齿轮和主动齿轮啮合连接。
[0010]进一步的，所述上支板和工作平台之间安装有导向杆，且导向杆采用伸缩杆。
[0011]与现有技术相比，本技术的有益效果是：
[0012]1、本技术通过工作平台上外围设置有反射镜组，可以使原有的激光系统能够以水平方向针对侧边溢胶区域进行激光剥离，方便后续基板分离，也无须增加激光模组。
[0013]2、本技术由于底座上侧中部通过转轴旋转安装有上支板和工作平台，转轴一端通过齿轮组传动连接有电机，齿轮组包括设置在电机一端的主动齿轮，转轴一端安装有从动齿轮，且从动齿轮和主动齿轮啮合连接，使得通过电机和齿轮组能够驱动工作平台匀速水平旋转处理，从而能够对待剥离基板外侧进行全面的激光剥离，剥离效率较高。
[0014]3、本技术而且通过上支板和工作平台之间安装有液压缸和导向杆，使得便于提高工作平台下部支撑的稳定性，而且液压缸能够驱动工作平台升降调节处理，从而满足
不同高度的待剥离基板进行剥离使用处理，有利于提高复合板剥离的效率。
附图说明
[0015]附图用来提供对本技术的进一步理解，并且构成说明书的一部分，与本技术的实施例一起用于解释本技术，并不构成对本技术的限制。在附图中：
[0016]图1为本技术的整体结构主视图；
[0017]图2为本技术待剥离基板结构俯视图。
[0018]图中：1、底座；2、转轴；3、上支板；4、液压缸；5、工作平台；6、待剥离基板；7、键合胶层；8、溢胶区；9、垫板；10、反射镜组；11、激光发射器；12、从动齿轮；13、导向杆；14、主动齿轮；15、电机。
具体实施方式
[0019]下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。
[0020]请参阅图1，图2，本技术实施例中，一种侧边激光剥离装置，包括底座1，底座1上侧中部通过转轴2旋转安装有上支板3，上支板3上侧中部通过液压缸4安装有工作平台5，使得便于提高工作平台5下部支撑的稳定性，液压缸4能够驱动工作平台5升降调节处理，从而满足不同高度的待剥离基板6进行剥离使用处理，有利于提高复合板剥离的效率，工作平台5上放置有待剥离基板6，待剥离基板6中部设置有键合胶层7，键合胶层7外部设有的溢胶区8，底座1一端上侧安装有反射镜组10，反射镜组10上侧安装有激光发射器11，可以使原有的激光系统能够以水平方向针对侧边溢胶区域进行激光剥离，方便后续基板分离，也无须增加激光模组，转轴2一端通过齿轮组传动连接有电机15，使得通过电机15和齿轮组能够驱动工作平台5匀速水平旋转处理，从而能够对待剥离基板6外侧进行全面的激光剥离，剥离效率较高。
[0021]优选的，工作平台5设置成圆形台状，且工作平台5与转轴2垂直设置，便于对待剥离基板6下部进行水平支撑处理，便于进行精准剥离。
[0022]优选的，底座1一端上侧安装有垫板9，反射镜组10倾斜安装在垫板9上，便于对反射镜组10下侧进行安装支撑处理。
[0023]优选的，底座1下侧开设有凹槽，且齿轮组和电机15安装在凹槽内，齿轮组包括设置在电机15一端的主动齿轮14，转轴2一端安装有从动齿轮12，且从动齿轮12和主动齿轮14啮合连接，能够驱动工作平台5匀速水平旋转处理，从而能够对待剥离基板6外侧进行全面的激光剥离。
[0024]优选的，上支板3和工作平台5之间安装有导向杆13，且导向杆13采用伸缩杆，用于对工作平台5升降调节进行导向处理，有利于提高工作平台5升降调节的稳定性。
[0025]本技术的工作原理及使用流程：通过工作平台5上外围设置有反射镜组10，反射镜组10上侧安装有激光发射器11，可以使原有的激光系统能够以水平方向针对侧边溢胶区域进行激光剥离，方便后续基板分离，也无须增加激光模组；而且底座1上侧中部通过转
轴2旋转安装有上支板3和工作平台5，转轴2一端通过齿轮组传动连接有电机15，使得通过电机15和齿轮组能够驱动工作平台5匀速水平旋转处理，从而能够对待剥离基板6外侧进行全面的激光剥离，剥离效率较高。
[0026]最后应说明的是：以上所述仅为本技术的优选实施例而已，并不用于限制本技术，尽管参照前述实施例对本技术进行了详细的说明，对于本领域的技术人员来说，其依然可以对前述各实施例所记载的技术方案进行修改，或者对其中部分技术特征进行等同替换。凡在本技术的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本技术的保护范围之内。
本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种侧边激光剥离装置，包括底座(1)，其特征在于：所述底座(1)上侧中部通过转轴(2)旋转安装有上支板(3)，所述上支板(3)上侧中部通过液压缸(4)安装有工作平台(5)，所述工作平台(5)上放置有待剥离基板(6)，所述待剥离基板(6)中部设置有键合胶层(7)，所述键合胶层(7)外部设有的溢胶区(8)，所述底座(1)一端上侧安装有反射镜组(10)，所述反射镜组(10)上侧安装有激光发射器(11)，所述转轴(2)一端通过齿轮组传动连接有电机(15)。2.根据权利要求1所述的一种侧边激光剥离装置，其特征在于：所述工作平台(5)设置成圆形台状，且工作平台(5)与转轴(2)垂直设置。3.根据权利要求1所...

【专利技术属性】
技术研发人员：邱新智，
申请(专利权)人：苏州芯睿科技有限公司，
类型：新型
国别省市：