发明专利技术涉及键合机技术领域，尤其是一种键合机加工用降温装置，包括支撑台、加工区，还包括：键合完成品；平台，平台固定在支撑台上表面，平台与加工区之间设有定位装置；L型支撑柱，L型支撑柱与加工区后侧固定相连，键合完成品与L型支撑柱之间设有压合装置；缓存槽，缓存槽与加工区之间设有回流机构，加工区上侧设有冷却机构。C型定位板在键合完成品外侧形成阻挡，两个C型定位板中间留有缝隙以及导流槽A由于冷却液的流动，使得冷却油在流动时较与广阔时固定方式与键合完成品接触时间跟长，可以更好的利用冷却油进行冷却，使得相同冷却油可以吸收更多的热量，同时提高了接触面积，让冷却效果更好，以此提高了冷却效果。以此提高了冷却效果。以此提高了冷却效果。
【技术实现步骤摘要】
一种键合机加工用降温装置
[0001]本专利技术涉及键合机
，尤其涉及一种键合机加工用降温装置。
技术介绍
[0002]键合机是一种用于物理加工的仪器，将两个原料放置在一起，然后通过装置下压，让两个原料通过键合的方式结合到一起，键合是指将两片表面清洁、原子级平整的同质或异质半导体材料经表面清洗和活化处理，在一定条件下直接结合，通过范德华力、分子力甚至原子力使晶片键合成为一体的技术。
[0003]键合加工时会在两个原料的结合面产生热量，同时放置原料处往往是直接放置在固定槽内，此时会和原料下半部表面完全接触，减少了散热用的表面积，使用冷却油也会由于外侧较为空旷，使得冷却油流速较快，降低了冷却油的冷却效果，使得整体散热效果不佳，同时加工完成后不方便将完成品取出。为此我们提出一种键合机加工用降温装置，用于解决上述问题。
技术实现思路
[0004]本专利技术的目的是为了解决现有技术中存在键合加工时会在两个原料的结合面产生热量，同时放置原料处往往是直接放置在固定槽内，此时会和原料下半部表面完全接触，减少了散热用的表面积，使用冷却油也会由于外侧较为空旷，使得冷却油流速较快，降低了冷却油的冷却效果，使得整体散热效果不佳，同时加工完成后不方便将完成品取出的缺点，而提出的一种键合机加工用降温装置。
[0005]为了实现上述目的，本专利技术采用了如下技术方案：
[0006]设计一种键合机加工用降温装置，包括支撑台、加工区，所述支撑台下端与加工区内侧固定连接，还包括：
[0007]键合完成品；
[0008]四个L型定位块，所述L型定位块位于键合完成品外侧四角，所述L型定位块固定在平台上表面；
[0009]平台，所述平台固定在支撑台上表面，所述平台与加工区之间设有定位装置；
[0010]L型支撑柱，所述L型支撑柱与加工区后侧固定相连，所述键合完成品与L型支撑柱之间设有压合装置；
[0011]缓存槽，所述缓存槽与加工区下表面固定连接，所述缓存槽与加工区之间设有回流机构，所述加工区上侧设有冷却机构。
[0012]优选的，所述L型支撑柱前侧固定有两个支撑块，所述支撑块与加工区之间固定相连。
[0013]优选的，所述定位装置包括四个电动推杆，所述键合完成品左右两侧均设有定位块，所述定位块远离键合完成品一侧均固定有C型定位板，所述平台上侧设有四个燕尾槽，所述C型定位板下侧固定有两个滑块，所述滑块滑动在燕尾槽内侧，所述C型定位板上侧固
定有半圆板，所述电动推杆一侧固定有L型连接块，所述L型连接块与C型定位板和半圆板之间固定相连，所述支撑台前后两侧均设有安装台，所述安装台与电动推杆之间固定相连，所述电动推杆通过导线连接电源和控制器。
[0014]优选的，所述L型连接块上侧、半圆板上侧和C型定位板两端面内侧均设有倒角。
[0015]优选的，所述C型定位板下侧设有两侧导流槽A，所述安装台上侧中心设有导流槽B。
[0016]优选的，所述压合装置包括气缸，所述L型支撑柱上端前侧固定有支撑板，所述气缸轴端穿过支撑板固定有压合头，所述气缸外侧固定有四个定位条，所述定位条与支撑板上侧固定相连，所述气缸通过气管连接气源和控股器。
[0017]优选的，所述回流机构包括水泵，所述加工区下侧设有四个安装孔，所述安装孔内侧固定有支撑环，所述支撑环上侧设有固定环，所述固定环内侧固定有过滤网，所述支撑环与固定环之间通过螺柱可拆卸连接，所述缓存槽后侧固定有排水管，所述排水管与水泵之间固定连接，所述水泵通过导线连接电源和控制器。
[0018]优选的，所述冷却机构包括两个竹节万向管，所述竹节万向管靠近键合完成品一侧固定有喷头、另一侧固定有连接管，所述连接管下侧设有固定座、上侧设有连接座，所述固定座、连接座内侧均设有两侧定位槽，所述连接管外侧固定有两侧定位环，所述定位环滑动在定位槽内侧，所述固定座、连接座之间通过螺柱可拆卸连接，所述固定座下侧固定有L型支撑杆，所述L型支撑杆与缓存槽、加工区之间固定连接。
[0019]本专利技术提出的一种键合机加工用降温装置，有益效果在于：
[0020]1、通过设置L型定位块、电动推杆、定位块、C型定位板、滑块、半圆板、L型连接块、安装台，使得在对键合完成品进行固定的同时，并对冷却油流动起到减缓左右，可以让冷却油与键合完成品接触时间更长，接触的表面积也更多，以此提高了冷却效果，并且加工完成后移动C型定位板，可以让键合完成品更加方便取出。
[0021]2、通过设置缓存槽、水泵、支撑环、固定环、过滤网、排水管，实现冷却油在使用后可以经过处理循环使用，减少冷却油的浪费。
附图说明
[0022]图1为本专利技术提出的一种键合机加工用降温装置的正面立体结构示意图；
[0023]图2为本专利技术提出的图1中A区局部放大立体结构示意图；
[0024]图3为本专利技术提出的图1中B区局部放大立体结构示意图；
[0025]图4为本专利技术提出的一种键合机加工用降温装置的后侧局部放大立体结构示意图；
[0026]图5为本专利技术提出的一种键合机加工用降温装置的前侧剖切局部放大立体结构示意图；
[0027]图6为本专利技术提出的一种键合机加工用降温装置的后侧剖切局部放大立体结构示意图。
[0028]图中：1支撑台、2加工区、3键合完成品、4平台、5L型定位块、6L型支撑柱、7缓存槽、8支撑块、9电动推杆、10定位块、11C型定位板、12滑块、13半圆板、14L型连接块、15安装台、16竹节万向管、17喷头、18连接管、19固定座、20连接座、21定位环、22L型支撑杆、23水泵、24
支撑环、25固定环、26过滤网、27排水管、28气缸、29支撑板、30压合头、31定位条。
具体实施方式
[0029]下面将结合本专利技术实施例中的附图，对本专利技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本专利技术一部分实施例，而不是全部的实施例。
[0030]参照图1
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6，一种键合机加工用降温装置，包括支撑台1、加工区2，支撑台1下端与加工区2内侧固定连接还包括：
[0031]键合完成品3；
[0032]四个L型定位块5，L型定位块5位于键合完成品3外侧四角，L型定位块5固定在平台4上表面；L型定位块5对键合完成品3起到预固定左右，便于定位块10原材料进行二次固定，同时方便后续加工完成当定位块10松开键合完成品3时便于取出。
[0033]平台4，平台4固定在支撑台1上表面，平台4与加工区2之间设有定位装置，定位装置包括四个电动推杆9，键合完成品3左右两侧均设有定位块10，定位块10远离键合完成品3一侧均固定有C型定位板11，平台4上侧设有四个燕尾槽，C型定位板11下侧固定有两个滑块12，滑块12滑动在燕尾槽内侧，C型定位板11上侧固定有半圆板13，电动推杆9一侧固定有L型连接块14，L型连接块14与C型定位板11和半圆板13之间固定相连，L型连接本文档来自技高网...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种键合机加工用降温装置，包括支撑台(1)、加工区(2)，所述支撑台(1)下端与加工区(2)内侧固定连接，其特征在于，还包括：键合完成品(3)；四个L型定位块(5)，所述L型定位块(5)位于键合完成品(3)外侧四角，所述L型定位块(5)固定在平台(4)上表面；平台(4)，所述平台(4)固定在支撑台(1)上表面，所述平台(4)与加工区(2)之间设有定位装置；L型支撑柱(6)，所述L型支撑柱(6)与加工区(2)后侧固定相连，所述键合完成品(3)与L型支撑柱(6)之间设有压合装置；缓存槽(7)，所述缓存槽(7)与加工区(2)下表面固定连接，所述缓存槽(7)与加工区(2)之间设有回流机构，所述加工区(2)上侧设有冷却机构。2.根据权利要求1所述的一种键合机加工用降温装置，其特征在于，所述L型支撑柱(6)前侧固定有两个支撑块(8)，所述支撑块(8)与加工区(2)之间固定相连。3.根据权利要求1所述的一种键合机加工用降温装置，其特征在于，所述定位装置包括四个电动推杆(9)，所述键合完成品(3)左右两侧均设有定位块(10)，所述定位块(10)远离键合完成品(3)一侧均固定有C型定位板(11)，所述平台(4)上侧设有四个燕尾槽，所述C型定位板(11)下侧固定有两个滑块(12)，所述滑块(12)滑动在燕尾槽内侧，所述C型定位板(11)上侧固定有半圆板(13)，所述电动推杆(9)一侧固定有L型连接块(14)，所述L型连接块(14)与C型定位板(11)和半圆板(13)之间固定相连，所述支撑台(1)前后两侧均设有安装台(15)，所述安装台(15)与电动推杆(9)之间固定相连，所述电动推杆(9)通过导线连接电源和控制器。4.根据权利要求3所述的一种键合机加工用降温装置，其特征在于，所述L型连接块(14)上侧、半圆板(13)上侧和C型定位板(1...
【专利技术属性】
技术研发人员：邱新智，
申请(专利权)人：苏州芯睿科技有限公司，
类型：发明
国别省市：
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