本发明专利技术涉及键合技术领域，尤其是一种键合机台装置，包括：支撑板，移动台，移动台滑动连接在支撑板的上侧中心位置，放置台固定连接在移动台的上侧中心位置，电机内嵌设置在移动台的上侧中心位置，螺纹杆固定连接在电机的轴端，升降板通过螺纹传动套接在螺纹杆的外侧，电动推杆一的数量为两个，两个电动推杆一分别设置于升降板的上侧，连接杆固定连接在电动推杆一的轴端，定位板固定连接在连接杆的顶端，晶圆一设置于放置台的上侧，晶圆二设置于晶圆一的上侧，防护壳固定连接在支撑板的上侧，液压缸设置于防护壳的上侧中心位置，自发热键合头设置于液压缸的轴端，该键合机台装置，自动居中对准键合，半自动半手动操作键合，键合质量高。量高。量高。
【技术实现步骤摘要】
一种键合机台装置与键合对准的方法
[0001]本专利技术涉及键合
，尤其涉及一种键合机台装置与键合对准的方法。
技术介绍
[0002]键合机是一种用于物理学领域的仪器，键合将两片表面清洁、原子级平整的同质或异质半导体材料经表面清洗和活化处理，在一定条件下直接结合，通过范德华力、分子力甚至原子力使晶片键合成为一体的技术。
[0003]现有的晶圆在进行键合的时候，放置方式多样化，如果在两片晶圆在放置的时候，没有进行居中对准的话，会影响到键合质量，降低键合效率，易发生松动，影响键合，为此，我们提出了一种键合机台装置与键合对准的方法。
技术实现思路
[0004]本专利技术的目的是为了解决现有技术中存在现有的晶圆在进行键合的时候，放置方式多样化，如果在两片晶圆在放置的时候，没有进行居中对准的话，会影响到键合质量，降低键合效率，易发生松动，影响键合的缺点，而提出的一种键合机台装置与键合对准的方法。
[0005]为了实现上述目的，本专利技术采用了如下技术方案：
[0006]设计一种键合机台装置，包括：支撑板，
[0007]移动台，所述移动台滑动连接在支撑板的上侧中心位置；
[0008]放置台，所述放置台固定连接在移动台的上侧中心位置，且放置台内侧呈空腔结构设置，所述放置台的上侧设有贯穿槽；
[0009]电机，所述电机内嵌设置在移动台的上侧中心位置；
[0010]螺纹杆，所述螺纹杆固定连接在电机的轴端，且螺纹杆设置于放置台的内侧；
[0011]升降板，所述升降板通过螺纹传动套接在螺纹杆的外侧；
[0012]电动推杆一，所述电动推杆一的数量为两个，两个所述电动推杆一分别设置于升降板的上侧；
[0013]连接杆，所述连接杆固定连接在电动推杆一的轴端；
[0014]定位板，所述定位板固定连接在连接杆的顶端；
[0015]晶圆一，所述晶圆一设置于放置台的上侧；
[0016]晶圆二，所述晶圆二设置于晶圆一的上侧；
[0017]防护壳，所述防护壳固定连接在支撑板的上侧；
[0018]液压缸，所述液压缸设置于防护壳的上侧中心位置；
[0019]自发热键合头，所述自发热键合头设置于液压缸的轴端。
[0020]优选的，所述放置台的前侧与后侧均固定设有电动推杆二，所述电动推杆二的轴端固定设有双向气缸，所述双向气缸的轴端固定设有连接块，所述连接块的一侧固定设有夹条一。
[0021]优选的，所述放置台的两侧均固定设有若干导向杆，所述导向杆的上侧滑动连接设有滑杆，所述滑杆的一侧设有若干拉簧，所述拉簧的一端与放置台的一侧相连接，所述滑杆的顶端固定设有夹条二，所述夹条二的上侧翻转连接设有卡条。
[0022]优选的，所述移动台的上侧平行对称设有两个导向座，所述导向座的上侧滑动套接设有导向套，所述导向座的顶侧设有若干弹簧，所述弹簧的一侧与导向套的内侧顶部相抵触，所述导向套的上侧固定设有压板，所述压板的上侧中心位置设有导向孔。
[0023]优选的，所述支撑板的下侧固定设有若干电动推杆三。
[0024]优选的，所述导向孔、晶圆一、晶圆二、自发热键合头的中轴线呈重合结构设置。
[0025]一种键合机台装置的键合对准的方法，具体步骤如下：
[0026]S1、首先将晶圆一放置在放置台的上侧；
[0027]S2、然后利用电机驱动螺纹杆螺纹传动升降板进行上升；
[0028]S3、接着利用两个电动推杆一开始工作，驱动定位板对晶圆一进行居中对准；
[0029]S4、利用电动推杆二驱动双向气缸控制连接块使夹条一对晶圆一进行固定，然后放置晶圆二；
[0030]S5、同理利用S将晶圆二进行居中操作；
[0031]S6、最后利用液压缸下压自发热键合头，将晶圆一与晶圆二进行热压键合。
[0032]本专利技术提出的一种键合机台装置，有益效果在于：通过设置支撑板、移动台、放置台、电机、螺纹杆、升降板、电动推杆一、连接杆、定位板、晶圆一、晶圆二、防护壳、液压缸，可提供一个自动对准居中的功能，自动对准提高键合质量，通过设置电动推杆二、双向气缸、连接块、夹条一、导向杆、滑杆、拉簧、夹条二、卡条，可对晶圆一、晶圆二提供一个夹紧的功能，避免键合时发生位移的情况，通过设置导向座、导向套、压板、弹簧，可提供一个键合下压缓冲的功能，同时可进行二次稳定的功能，该键合机台装置，自动居中对准键合，半自动半手动操作键合，键合质量高。
附图说明
[0033]图1为本专利技术提出的一种键合机台装置的正面轴测结构示意图；
[0034]图2为本专利技术提出的一种键合机台装置的侧面剖切轴测结构示意图；
[0035]图3为本专利技术提出的一种键合机台装置的图2中A的结构示意图；
[0036]图4为本专利技术提出的一种键合机台装置的局部结构示意图；
[0037]图5为本专利技术提出的一种键合机台装置的正面剖切轴测结构示意图；
[0038]图6为本专利技术提出的一种键合机台装置的图5中B的结构示意图。
[0039]图中：1支撑板、2移动台、3放置台、4电机、5螺纹杆、6升降板、7电动推杆一、8连接杆、9定位板、10晶圆一、11晶圆二、12防护壳、13液压缸、14电动推杆二、15双向气缸、16连接块、17夹条一、18导向杆、19滑杆、20拉簧、21夹条二、22卡条、23导向座、24导向套、25压板、26弹簧、27电动推杆三、28自发热键合头。
具体实施方式
[0040]下面将结合本专利技术实施例中的附图，对本专利技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本专利技术一部分实施例，而不是全部的实施例。
[0041]参照图1
‑
6，一种键合机台装置，包括：支撑板1，
[0042]移动台2，移动台2滑动连接在支撑板1的上侧中心位置；
[0043]放置台3，放置台3固定连接在移动台2的上侧中心位置，且放置台3内侧呈空腔结构设置，放置台3的上侧设有贯穿槽；
[0044]电机4，电机4内嵌设置在移动台2的上侧中心位置；
[0045]螺纹杆5，螺纹杆5固定连接在电机4的轴端，且螺纹杆5设置于放置台3的内侧；
[0046]升降板6，升降板6通过螺纹传动套接在螺纹杆5的外侧；
[0047]电动推杆一7，电动推杆一7的数量为两个，两个电动推杆一7分别设置于升降板6的上侧；
[0048]连接杆8，连接杆8固定连接在电动推杆一7的轴端；
[0049]定位板9，定位板9固定连接在连接杆8的顶端；
[0050]晶圆一10，晶圆一10设置于放置台3的上侧；
[0051]晶圆二11，晶圆二11设置于晶圆一10的上侧；
[0052]防护壳12，防护壳12固定连接在支撑板1的上侧；
[0053]液压缸13，液压缸13设置于防护壳12的上侧中心位置；
[0054]自发热键合头2本文档来自技高网...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种键合机台装置，其特征在于，包括：支撑板(1)，移动台(2)，所述移动台(2)滑动连接在支撑板(1)的上侧中心位置；放置台(3)，所述放置台(3)固定连接在移动台(2)的上侧中心位置，且放置台(3)内侧呈空腔结构设置，所述放置台(3)的上侧设有贯穿槽；电机(4)，所述电机(4)内嵌设置在移动台(2)的上侧中心位置；螺纹杆(5)，所述螺纹杆(5)固定连接在电机(4)的轴端，且螺纹杆(5)设置于放置台(3)的内侧；升降板(6)，所述升降板(6)通过螺纹传动套接在螺纹杆(5)的外侧；电动推杆一(7)，所述电动推杆一(7)的数量为两个，两个所述电动推杆一(7)分别设置于升降板(6)的上侧；连接杆(8)，所述连接杆(8)固定连接在电动推杆一(7)的轴端；定位板(9)，所述定位板(9)固定连接在连接杆(8)的顶端；晶圆一(10)，所述晶圆一(10)设置于放置台(3)的上侧；晶圆二(11)，所述晶圆二(11)设置于晶圆一(10)的上侧；防护壳(12)，所述防护壳(12)固定连接在支撑板(1)的上侧；液压缸(13)，所述液压缸(13)设置于防护壳(12)的上侧中心位置；自发热键合头(28)，所述自发热键合头(28)设置于液压缸(13)的轴端。2.根据权利要求1所述的一种键合机台装置，其特征在于，所述放置台(3)的前侧与后侧均固定设有电动推杆二(14)，所述电动推杆二(14)的轴端固定设有双向气缸(15)，所述双向气缸(15)的轴端固定设有连接块(16)，所述连接块(16)的一侧固定设有夹条一(17)。3.根据权利要求1所述的一种键合机台装置，其特征在于，所述放置台(3)的两侧均固定设有若干导向杆(18)，所述导向杆(18)的上侧滑动...
【专利技术属性】
技术研发人员：邱新智，
申请(专利权)人：苏州芯睿科技有限公司，
类型：发明
国别省市：
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