测量装置以及直列式的蒸镀装置制造方法及图纸

本发明专利技术涉及测量装置以及直列式的蒸镀装置，抑制在真空环境下输送中的母玻璃的弯曲行进。一种用于直列式的蒸镀装置的测量装置，其中，蒸镀装置具备：腔室，所述腔室形成被维持为真空的输送空间；输送构件，所述输送构件在腔室内对输送对象物进行输送；以及引导构件，所述引导构件对相对于输送构件的输送方向的输送对象物的宽度方向的位置进行限制，测量装置具备：被输送构件，所述被输送构件由输送构件输送；以及检测构件，所述检测构件设置于被输送构件，在被输送构件在真空环境下的所述腔室内由输送构件输送的期间，检测引导构件的宽度方向的位置。方向的位置。方向的位置。

【技术实现步骤摘要】
测量装置以及直列式的蒸镀装置


[0001]本专利技术涉及用于调整输送装置的位置的测量装置以及直列(in
‑
line)式的蒸镀装置。

技术介绍

[0002]在有机EL显示器的制造中，在形成有TFT(薄膜晶体管)的基板上成膜有机材料。作为有机材料的成膜方法，真空蒸镀成为主流，使用使形成有TFT的面朝下而从基板的下方朝上对蒸镀材料进行成膜的方法。在形成有TFT的基板上，有时配置多个面板区域，可以称为母玻璃。近年来，由于母玻璃的尺寸变大，因此，正在研究从以往的使玻璃基板静止的状态下的成膜方法一边使基板移动一边进行成膜的直列成膜方式(专利文献1)。
[0003]现有技术文献
[0004]专利文献
[0005]专利文献1：日本特开2014
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141706号公报

技术实现思路

[0006]专利技术要解决的课题
[0007]在此，在直列成膜方式中，出于抑制输送中的母玻璃的弯曲行进的目的，在输送路径的侧方设置有侧辊。但是，即便在大气环境下调整侧辊的位置，有时也会因在真空环境下产生本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种测量装置，用于直列式的蒸镀装置，其特征在于，所述蒸镀装置具备：腔室，所述腔室形成被维持为真空的输送空间；输送构件，所述输送构件在所述腔室内对输送对象物进行输送；以及引导构件，所述引导构件对相对于所述输送构件的输送方向的所述输送对象物的宽度方向的位置进行限制，所述测量装置具备：被输送构件，所述被输送构件由所述输送构件输送；以及检测构件，所述检测构件设置于所述被输送构件，在所述被输送构件在真空环境下的所述腔室内由所述输送构件输送的期间，检测所述引导构件的所述宽度方向的位置。2.如权利要求1所述的测量装置，其特征在于，所述检测构件具备激光测距计，所述激光测距计的输出值根据与位于所述测量装置的宽度方向的侧方的物体之间的距离而变化，所述检测构件基于所述输出值来检测所述引导构件的所述宽度方向的位置。3.如权利要求2所述的测量装置，其特征在于，所述激光测距计以规定的时间间隔或连续地检测与位于所述侧方的物体之间的距离，在与物体之间的距离为极小值的情况下，所述检测构件检测所述引导构件的位置。4.如权利要求2所述的测量装置，其特征在于，所述激光测距计以规定的时间间隔或连续地检测与位于所述侧方的物体之间的距离，所述检测构件选择性地存储所述输出值中表示极小值的输出值，或者向外部发送所述输出值中表示极小值的输出值。5.如...

【专利技术属性】
技术研发人员：户江由也，
申请(专利权)人：佳能特机株式会社，
类型：发明
国别省市：