真空镀膜机补料机构制造技术

本申请涉及真空镀膜机领域，尤其是涉及一种真空镀膜机补料机构，包括坩埚、坩埚托盘、机架、传送组件与承接组件，坩埚放置在坩埚托盘内，坩埚托盘放置在机架上，传送组件连接在机架上，传送组件用于将坩埚沿水平方向输送至蒸镀腔室外，承接组件用承接运出蒸镀腔室外的所述坩埚。本申请具有便于往坩埚内补充靶材，从而提高工作效率的效果。而提高工作效率的效果。而提高工作效率的效果。

【技术实现步骤摘要】
真空镀膜机补料机构


[0001]本申请涉及真空镀膜机，尤其是涉及一种真空镀膜机补料机构。

技术介绍

[0002]真空镀膜机主要指一类需要在较高真空度下进行镀膜的设备，具体包括很多种类，包括真空电阻加热蒸发，电子枪加热蒸发，磁控溅射，MBE分子束外延，PLD激光溅射沉积，离子束溅射等很多种。主要思路是分成蒸发和溅射两种。需要镀膜的被称为基片，镀的材料被称为靶材，基片与靶材均同在真空腔中。
[0003]当真空镀膜机进行蒸镀时，置于坩埚内的靶材汽化飞向基片，对基材进行镀膜。当坩埚内的靶材越来越少，需要往坩埚内添加靶材，而蒸镀腔室的温度较高且空间较窄，不便往坩埚内添加靶材。

技术实现思路

[0004]为了便于往坩埚内补充靶材，本申请提供一种真空镀膜机补料机构。
[0005]本申请提供的一种真空镀膜机补料机构采用如下的技术方案：
[0006]一种真空镀膜机补料机构，包括
[0007]坩埚；
[0008]坩埚托盘，所述坩埚放置在所述坩埚托盘内；
[0009]机架，所述坩埚托盘放置在所述机架上；
[0010]传送组件，连接在所述机架上，所述传送组件用于将所述坩埚及所述坩埚托盘沿水平方向输送至蒸镀腔室外；以及
[0011]承接组件，用承接运出蒸镀腔室外的所述坩埚以及所述坩埚托盘。
[0012]通过采用上述技术方案，当需要往坩埚内补充靶材时，首先打开蒸镀腔室门，然后利用传送组件，将坩埚托盘从蒸镀腔室内输送至蒸镀腔室外，坩埚托盘承载坩埚一起移动，此时承接组件承接输送出蒸镀腔室的坩埚以及坩埚托盘，然后工人往坩埚内进行补料，最后利用承接组件再次将坩埚输送至蒸镀腔室内。
[0013]上述技术方案通过传送组件与承接组件的相互配合，从而达到便于往坩埚内补充靶材，提高工作效率的效果。
[0014]可选的，所述传送组件包括若干组滚轮组、导轨，每组所述滚轮组包括至少两个滚轮，所述滚轮连接在所述机架上，若干组所述滚轮组沿水平方向依次铺设，所述滚轮用于支撑所述坩埚托盘，所述导轨连接在所述坩埚托盘上，所述导轨能够滑动卡接在所述滚轮上。
[0015]通过采用上述技术方案，当靶材用完后，需要将坩埚连同坩埚托盘移出蒸镀腔室外，通过设置滚轮组与导轨，便于工人手动将坩埚拉出到蒸镀腔室外，从而使工人补料时更便捷。
[0016]可选的，所述传送组件还包括驱动件，所述驱动件用于驱动所述滚轮转动。
[0017]通过采用上述技术方案，驱动件带动滚轮转动，滚轮转动从而驱使导轨移动，导轨
带动坩埚托盘连同坩埚朝向蒸镀腔室外移动，从而将坩埚托盘连同坩埚输送至蒸镀腔室外，实现自动运出蒸镀腔室的效果。
[0018]可选的，还包括升降组件，所述升降组件用于驱动所述坩埚托盘升降，所述升降组件包括丝杆、驱动元、连接板，所述丝杆呈竖向设置且转动连接于所述机架，所述驱动元连接在所述机架上，所述驱动元用于驱动所述丝杆转动，所述连接板沿竖向滑动连接在所述机架上，所述连接板呈水平设置，所述连接板与所述丝杆螺纹连接，所述连接板上开设有用于容纳所述滚轮的容纳槽，所述连接板用于顶升所述坩埚托盘。
[0019]通过采用上述技术方案，当靶材因消耗而逐渐减少时，靶材液面下降，至使基片与靶材间距离改变，此时驱动元工作从而带动丝杆转动，与丝杆螺纹配合的连接板沿丝杆的轴向进行上升，使连接板与坩埚托盘底部抵接，导轨穿设在容纳槽内，连接板从而带动坩埚托盘以及坩埚朝向基片移动。升降组件通过保持靶材与基片之间距离不变，从而提高了的镀膜均匀性及成膜质量，使镀膜的工艺性能更趋近于一致。
[0020]另外，在蒸镀时，坩埚托盘放置在连接板上，升降组件驱动坩埚托盘上升，使得坩埚托盘上的导轨脱离滚轮，从而使得坩埚托盘定位稳定不易晃动。
[0021]可选的，所述连接板上连接有限位板，当所述坩埚托盘滑动至蒸镀腔室内后，所述限位板用于限制所述坩埚托盘的滑动距离。
[0022]通过采用上述技术方案，限制坩埚托盘移动距离，减小坩埚托盘滑出连接板的可能。
[0023]可选的，所述承接组件包括承接小车、承接轮，所述承接轮固定连接在所述承接小车上，所述承接轮用于与所述导轨滑动配合。
[0024]通过采用上述技术方案，当坩埚被输送至蒸镀腔室外时，承接小车位于蒸镀腔室外，坩埚托盘从蒸镀腔室内输送出后，坩埚托盘上的导轨与承接轮相互配合，直至坩埚托盘完全落在承接小车上，随后即可对坩埚内进行补料，
[0025]可选的，所述承接小车上连接有抵接板，所述抵接板用于限制所述坩埚托盘的滑移距离。
[0026]通过采用上述技术方案，从而限制了坩埚在承接小车上的移动距离，减小坩埚沿承接轮滑出的可能。
[0027]可选的，所述抵接板上连接有缓冲层。
[0028]通过采用上述技术方案，坩埚托盘在滑动至承接小车上时，坩埚托盘与抵接板可能发生碰撞，通过设置缓冲层，从而将刚性接触改为柔性接触，从而降低坩埚在转运时损坏的可能。
[0029]可选的，所述坩埚托盘包括第一坩埚托盘、第二坩埚托盘，所述坩埚放置在所述第一坩埚托盘内，所述第一坩埚托盘固定在所述第二坩埚托盘内，所述第一坩埚托盘的外侧设置有冷却水道槽。
[0030]通过采用上述技术方案，第一坩埚托盘的外侧设置有冷却水道槽，冷却水道槽一直通有冷却液，保证环境温度的控制及避免蒸镀腔室内温度过高而对蒸镀腔室内其他零加造成损坏。另外，在手动将坩埚托盘拉出时，冷却水道槽对坩埚的降温作用，能够减小对工人烫伤的可能性。
[0031]综上所述，本申请包括以下至少一种有益技术效果：
[0032]1.通过传送组件与承接组件，达到便于往坩埚内补充靶材，从而提高工作效率的效果；
[0033]2.通过设置第一坩埚托盘、第二坩埚托盘，且第一坩埚托盘的外侧设置有冷却水道槽，冷却水道槽内流动有冷却液，保证环境温度的控制及避免蒸镀腔室内温度过高而对蒸镀腔室内其他零加造成损坏；
[0034]3.通过升降组件，一方面使得在蒸镀过程中导轨与滚轮脱离，从而保持坩埚定位的稳定性，另一方面使靶材与基片距离保持稳定，从而提高镀膜质量。
附图说明
[0035]图1是本申请实施例的真空镀膜机补料机构的结构示意图。
[0036]图2是本申请实施例的传送组件的部分结构示意图。
[0037]图3是本申请实施例的真空镀膜机补料机构的部分结构示意图。
[0038]图4是本申请实施例的承接组件的结构示意图。
[0039]附图标记说明：
[0040]1、坩埚；2、坩埚托盘；201、第一坩埚托盘；202、第二坩埚托盘；3、机架；301、轴承座；302、磁流密封座；4、传送组件； 401、导轨；402、滚轮；403、驱动件；5、承接组件；501、承接小车；5011、抵接板；5012、缓冲层；502、承接轮；6、升降组件；601、丝杆；602、驱动元；603、连接板；6031、容纳槽；604、限位板。
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【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种真空镀膜机补料机构，其特征在于，包括：坩埚(1)；坩埚托盘(2)，所述坩埚(1)放置在所述坩埚托盘(2)内；机架(3)，所述坩埚托盘(2)放置在所述机架(3)上；传送组件(4)，连接在所述机架(3)上，所述传送组件(4)用于将所述坩埚(1)及所述坩埚托盘(2)沿水平方向输送至蒸镀腔室外；以及承接组件(5)，用承接运出蒸镀腔室外的所述坩埚托盘(2)以及所述坩埚(1)。2.根据权利要求1所述的真空镀膜机补料机构，其特征在于，所述传送组件(4)包括若干组滚轮组、导轨(401)，每组所述滚轮组包括至少两个滚轮(402)，所述滚轮(402)连接在所述机架(3)上，若干组所述滚轮组沿水平方向依次铺设，所述滚轮(402)用于支撑所述坩埚托盘(2)，所述导轨(401)连接在所述坩埚托盘(2)上，所述导轨(401)能够滑动卡接在所述滚轮(402)上。3.根据权利要求2所述的真空镀膜机补料机构，其特征在于，所述传送组件(4)还包括驱动件(403)，所述驱动件(403)用于驱动所述滚轮(402)转动。4.根据权利要求2所述的真空镀膜机补料机构，其特征在于，还包括升降组件(6)，所述升降组件(6)用于驱动所述坩埚托盘(2)升降，所述升降组件(6)包括丝杆(601)、驱动元(602)、连接板(603)，所述丝杆(601)呈竖向设置且转动连接于所述机架(3)，所述驱动元(602)连接在所述机架(3)上，所述驱动元(602)用于驱动所述丝杆(601)转动，所...

【专利技术属性】
技术研发人员：马永，金晨，
申请(专利权)人：北京北方华创真空技术有限公司，
类型：新型
国别省市：