一种真空蒸镀蒸发舟制造技术

本实用新型专利技术涉及真空蒸镀技术领域，公开了一种真空蒸镀蒸发舟。该真空蒸镀蒸发舟包括舟体以及设置在舟体上的第一结构面和蒸发槽，蒸发槽包括底壁，真空蒸镀蒸发舟还包括凸台，凸台从蒸发槽的底壁向上凸起设置，凸台的顶面设有多条第一导流槽，多条第一导流槽交错设置。本实用新型专利技术通过设置凸台作为送丝点，延长了蒸发舟可侵蚀深度，降低因侵蚀造成的蒸发舟开裂等缺陷，延长蒸发舟的使用寿命，金属丝在凸台的顶面液化，并沿着多条第一导流槽向各个方向扩散，增大了金属液扩散均匀性，并使得金属液能够沿着凸台的侧面流向蒸发槽，加大金属液对整个蒸发槽的浸润，使整个蒸发槽温度分布较均匀，降低因温差而产生爆沸发生的频率，提高产品良率。品良率。品良率。

【技术实现步骤摘要】
一种真空蒸镀蒸发舟


[0001]本技术涉及真空蒸镀
，具体地涉及一种真空蒸镀蒸发舟。

技术介绍

[0002]在柔性基材上均匀涂覆的最常用的方法是高真空带式蒸镀法。其原理是，在真空环境中，将蒸发舟直接通电加热到约1500℃，输入金属丝，金属丝在接触蒸发舟时，会在蒸发舟表面液化，并在真空环境中蒸发，使得在基材的整个宽度方向上涂敷厚度均匀的金属层。
[0003]现有的蒸发舟一般采用氮化硼复合材料等材质制成，其主要成分为二硼化钛(TiB2)与氮化硼(BN)，部分蒸发舟会掺杂AlN成分。蒸发舟大致形状均为舟形，中间有凹槽，金属丝接触蒸发舟后蒸发镀到基材表面上。
[0004]目前蒸发舟存在明显缺点，即因蒸发材料要放在蒸发舟的凹槽部分，中间接触部分的金属丝难以扩散到整个蒸发舟的表面，形成更大的金属熔池，会造成局部温度过高，容易溅出并且影响整体镀膜效果，同时送丝点位置更容易出现蒸发舟局部腐蚀现象，造成蒸发舟的开裂等缺陷，缩短蒸发舟使用寿命。

技术实现思路

[0005]为了解决上述技术问题或者至少部分地解决上述技术问题，本技术提本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种真空蒸镀蒸发舟，包括舟体(1)以及设置在所述舟体(1)上的第一结构面(11)和蒸发槽(12)，所述第一结构面(11)设置在所述舟体(1)的顶面，所述蒸发槽(12)设置在所述第一结构面(11)上，所述蒸发槽(12)包括底壁，其特征在于，所述真空蒸镀蒸发舟还包括凸台(2)，所述凸台(2)从所述蒸发槽(12)的底壁向上凸起设置，所述凸台(2)的顶面设有多条第一导流槽(21)，多条所述第一导流槽(21)交错设置。2.根据权利要求1所述的真空蒸镀蒸发舟，其特征在于，部分所述第一导流槽(21)沿着所述第一结构面(11)的长度方向设置，另一部分所述第一导流槽(21)沿着所述第一结构面(11)的宽度方向设置，所述第一导流槽(21)的宽度为0.2mm至2mm，所述第一导流槽(21)的深度为0.2mm至2mm，同向设置的相邻两条所述第一导流槽(21)之间的距离为0.2mm至2mm。3.根据权利要求1所述的真空蒸镀蒸发舟，其特征在于，所述凸台(2)的侧面设有多条第二导流槽(3)，所述第二导流槽(3)具有相对的第一端和第二端，所述第一端与至少一条所述第一导流槽(21)连通，所述第二端与所述蒸发槽(12)连通。4.根据权利要求3所述的真空蒸镀蒸发舟，其特征在于，所述第二导流...

【专利技术属性】
技术研发人员：侯建洋，李永强，祁岭，孙欣森，
申请(专利权)人：安迈特科技北京有限公司，
类型：新型
国别省市：