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测量装置以及直列式的蒸镀装置制造方法及图纸
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下载测量装置以及直列式的蒸镀装置的技术资料
文档序号:36067446
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本发明涉及测量装置以及直列式的蒸镀装置,抑制在真空环境下输送中的母玻璃的弯曲行进。一种用于直列式的蒸镀装置的测量装置,其中,蒸镀装置具备:腔室,所述腔室形成被维持为真空的输送空间;输送构件,所述输送构件在腔室内对输送对象物进行输送;以及引导...
该专利属于佳能特机株式会社所有,仅供学习研究参考,未经过佳能特机株式会社授权不得商用。
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