一种关于半导体生产数据的处理方法及装置制造方法及图纸

本申请公开了一种关于半导体生产数据的处理方法及装置，用以实现生成并输出半导体测试项目的测试结果对应的影响因素的推荐报告，从而缩小半导体生产数据的浏览范围，提高对影响半导体测试项目的测试结果的数据的查阅速度，进而提高工作效率。本申请提供的所述方法，包括：生成半导体测试项目的测试结果对应的第一推荐报告和/或第二推荐报告；其中，所述第一推荐报告是基于相关系数生成的推荐报告，所述相关系数是指半导体测试项目的测试结果和产生该测试结果的原因之间的相关系数，所述原因包括半导体生产数据；所述第二推荐报告是基于用户查询半导体生产数据的频率生成的推荐报告；输出所述第一推荐报告和/或所述第二推荐报告。报告。报告。

【技术实现步骤摘要】
一种关于半导体生产数据的处理方法及装置


[0001]本申请涉及数据处理
，尤其涉及一种关于半导体生产数据的处理方法及装置。

技术介绍

[0002]半导体行业高度自动化，因此高度数据化，在不同生产和测试站点都记录了大量数据。
[0003]然而在现有技术中，并没有针对良率进行自动的寻找良率形成的影响因素的全自动报告系统，需要人工进行查询分析数据。

技术实现思路

[0004]本申请实施例提供了一种关于半导体生产数据的处理方法及装置，用以实现生成并输出半导体测试项目的测试结果对应的影响因素的推荐报告，从而缩小半导体生产数据的浏览范围，提高对影响半导体测试项目的测试结果的数据的查阅速度，进而提高工作效率。
[0005]本申请实施例提供的一种关于半导体生产数据的处理方法，包括：
[0006]生成半导体测试项目的测试结果对应的第一推荐报告和/或第二推荐报告；其中，所述第一推荐报告是基于相关系数生成的推荐报告，所述相关系数是指半导体测试项目的测试结果和产生该测试结果的原因之间的相关系数，所述原因包括半导体生产数据；所述第二推荐报告是基于用户查询半导体生产数据的频率生成的推荐报告；
[0007]输出所述第一推荐报告和/或所述第二推荐报告。
[0008]所述方法实现了生成并输出半导体测试项目的测试结果对应的影响因素的推荐报告，该推荐报告包括第一推荐报告和/或第二推荐报告；其中，所述第一推荐报告是基于相关系数生成的推荐报告，所述相关系数是指半导体测试项目的测试结果和产生该测试结果的原因之间的相关系数，所述原因包括半导体生产数据；所述第二推荐报告是基于用户查询半导体生产数据的频率生成的推荐报告。因此，通过自动生成并输出推荐报告给用户，从而缩小了用户对半导体生产数据的浏览范围，提高了用户对影响半导体测试项目的测试结果的数据的查阅速度，进而提高工作效率。
[0009]在一些实施方式中，所述方法还包括：
[0010]当满足如下条件之一或组合时，发出告警信息：
[0011]所述测试结果超出预设规格；
[0012]所述测试结果相比之前的测试结果的变化率大于预设值；
[0013]所述测试结果未超过预设规格。
[0014]在一些实施方式中，当满足所述条件之一或组合时，输出所述第一推荐报告和/或所述第二推荐报告。
[0015]在一些实施方式中，所述输出所述第一推荐报告和/或所述第二推荐报告，包括：
输出所述第一推荐报告和/或所述第二推荐报告给预设知识库。
[0016]在一些实施方式中，所述方法还包括：
[0017]统计用户对所述第一推荐报告的查询频率，以及对所述第二推荐报告的查询频率；
[0018]根据用户对所述第一推荐报告的查询频率，以及对所述第二推荐报告的查询频率，变更所述第一推荐报告和所述第二推荐报告在所述知识库中的推荐占比。
[0019]在一些实施方式中，所述方法还包括：
[0020]根据变更后的所述第一推荐报告和所述第二推荐报告在所述知识库中的推荐占比，向用户输出推荐结果，其中所述推荐结果包括对测试项目的监控结果和产生所述监控结果的至少一个推荐原因，以及每一所述推荐原因与所述监控结果之间相关性信息。
[0021]在一些实施方式中，所述监控结果、所述推荐原因、所述相关性信息，分别通过曲线图展示。
[0022]在一些实施方式中，所述方法还包括：
[0023]对用户进行分组，不同组的用户对应不同的加权系数，所述加权系数是用于生成用户查询半导体生产数据的频率的加权系数。
[0024]在一些实施方式中，预先将用户分为三组，分别为专家用户组、普通用户组、新用户组，其中，专家用户组对应的加权系数大于普通用户组对应的加权系数，普通用户组对应的加权系数大于新用户组对应的加权系数。
[0025]在一些实施方式中，生成所述第一推荐报告包括：
[0026]确定所述测试结果与多类原因之间的相关系数，并按照相关系数对所述多类原因进行排序；
[0027]从排序结果中取多类原因用于生成所述第一推荐报告，其中选取的原因对应的相关系数超过预设阈值。
[0028]在一些实施方式中，生成所述第二推荐报告包括：
[0029]根据用户查询半导体生产数据的日志记录，将用户查询半导体生产数据的用户行为分为监控类和探索类；
[0030]分别针对所述监控类和所述探索类的用户行为进行频率统计；
[0031]根据针对所述监控类和所述探索类的用户行为进行频率统计的统计结果，针对同一标识所表示的半导体生产数据的用户查询频率进行统计，生成半导体测试项目的测试结果对应的用户行为频率统计结果；
[0032]取用户行为频率大于预设阈值的用户行为频率统计结果，生成所述第二推荐报告。
[0033]本申请实施例提供的一种关于半导体生产数据的处理装置，包括：
[0034]存储器，用于存储程序指令；
[0035]处理器，用于调用所述存储器中存储的程序指令，按照获得的程序执行上述任一种方法。
[0036]本申请实施例提供的一种关于半导体生产数据的处理装置，包括：
[0037]第一单元，用于生成半导体测试项目的测试结果对应的第一推荐报告和/或第二推荐报告；其中，所述第一推荐报告是基于相关系数生成的推荐报告，所述相关系数是指半
导体测试项目的测试结果和产生该测试结果的原因之间的相关系数，所述原因包括半导体生产数据；所述第二推荐报告是基于用户查询半导体生产数据的频率生成的推荐报告；
[0038]第二单元，用于输出所述第一推荐报告和/或所述第二推荐报告。
[0039]本申请另一实施例提供了一种计算设备，其包括存储器和处理器，其中，所述存储器用于存储程序指令，所述处理器用于调用所述存储器中存储的程序指令，按照获得的程序执行上述任一种方法。
[0040]此外，根据实施例，例如提供了一种用于计算机的计算机程序产品，其包括软件代码部分，当所述产品在计算机上运行时，这些软件代码部分用于执行上述所定义的方法的步骤。该计算机程序产品可以包括在其上存储有软件代码部分的计算机可读介质。此外，该计算机程序产品可以通过上传过程、下载过程和推送过程中的至少一个经由网络直接加载到计算机的内部存储器中和/或发送。
[0041]本申请另一实施例提供了一种计算机可读存储介质，所述计算机可读存储介质存储有计算机可执行指令，所述计算机可执行指令用于使所述计算机执行上述任一种方法。
附图说明
[0042]为了更清楚地说明本申请实施例中的技术方案，下面将对实施例描述中所需要使用的附图作简要介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅是本申请的一些实施例，对于本领域的普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
[0043]图1为本申请实施例提供的技术方案的总体架构示意图；
[0044]图2为本申请实施例提供的本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种关于半导体生产数据的处理方法，其特征在于，所述方法包括：生成半导体测试项目的测试结果对应的第一推荐报告和/或第二推荐报告；其中，所述第一推荐报告是基于相关系数生成的推荐报告，所述相关系数是指半导体测试项目的测试结果和产生该测试结果的原因之间的相关系数，所述原因包括半导体生产数据；所述第二推荐报告是基于用户查询半导体生产数据的频率生成的推荐报告；输出所述第一推荐报告和/或所述第二推荐报告。2.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述方法还包括：当满足如下条件之一或组合时，发出告警信息：所述测试结果超出预设规格；所述测试结果相比之前的测试结果的变化率大于预设值；所述测试结果未超过预设规格；其中，通过如下公式确定所述测试结果未超过预设规格：其中，通过如下公式确定所述测试结果未超过预设规格：其中：Cpk表示过程能力指数；USL表示预设的控制上限；LSL表示预设的控制下限；μ表示所述半导体生产数据的平均值；σ表示预设的标准差；T表示预设的控制上限与控制下限的差；当Cpmk的值在预设的控制上限和控制下限之间时，发出告警信息。3.根据权利要求2所述的方法，其特征在于，当满足所述条件之一或组合时，输出所述第一推荐报告和/或所述第二推荐报告。4.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述输出所述第一推荐报告和/或所述第二推荐报告，包括：输出所述第一推荐报告和/或所述第二推荐报告给预设知识库。5.根据权利要求4所述的方法，其特征在于，所述方法还包括：统计用户对所述第一推荐报告的查询频率，以及对所述第二推荐报告的查询频率；根据用户对所述第一推荐报告的查询频率，以及对所述第二推荐报告的查询频率，变更所述第一推荐报告和所述第二推荐报告在所述知识库中的推荐占比。6.根据权利要求5所述的方法，其特征在于，所述方法还包括：根据变更后的所述第一推荐报告和所述第二推荐报告在所述知识库中的推荐占比，向用户输出推荐结果，其中所述推荐结果包括对测试项目的监控结果和产生所述监控结果的至少一个推荐原因，以及每一所述推荐原因与所述监控结果之间相关性信息。7.根据权利要求6所述的方法，其特征在于，所述监控结果、所述推荐原因、所述相关性信息，分别通过曲线图展示。
8.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述方法还包括：对用户进行分组，不同组...

【专利技术属性】
技术研发人员：王晓，
申请(专利权)人：长鑫存储技术有限公司，
类型：发明
国别省市：