本发明专利技术提供一种用于加热管和热电偶的接线装置，包括可开合的定位管(1)、热电偶组件、柔性加热器(2)、用于夹紧柔性加热器的夹紧装置(3)、固定件(4)，热电偶组件(5)包括热电偶(501)、接线帽(502)和导线(503)，导线(503)固定穿设在固定件(4)上，固定件(4)固定嵌设在定位管(1)的头端，固定件(4)上设有贯穿的排气孔(402)，定位管(1)包括2个半圆管(101)，固定件(4)包括2个半圆板(401)。本发明专利技术还提供一种接线工艺。本发明专利技术不用拆除不耐高温的保护和配件、且无需进入烘箱，在组装现场能实现固定、烘干，缩短了晶圆加热器的加热管和热电偶接线工艺的时间，提升了晶圆加热器的良品率。提升了晶圆加热器的良品率。提升了晶圆加热器的良品率。
【技术实现步骤摘要】
一种用于加热管和热电偶的接线装置及接线工艺
[0001]本专利技术涉及晶圆加热器
，尤其是涉及一种用于加热管和热电偶的接线装置及接线工艺。
技术介绍
[0002]在制造晶圆加热器的过程中，晶圆加热器包括加热管和热电偶，由于加热管和热电偶的导线长度范围是1到4米，先接线会导致后续加工不变，通常都是在晶圆加热器机械加工、打磨完毕后，将重要外观面保护好后，对内部镶嵌的加热管和热电偶进行接线，进行耐高温环氧胶灌封，为了获得良好的封接性能，需要进烘箱烘干。烘干前，需要去除不耐高温的保护和配件；搬运时需要注意不得磕伤划伤晶圆加热器主体；在大批量生产时，出现零件长时间等待烘箱、零件进出烘烤容易划伤的情况，且固化过程中存在导线容易位移的情况，需要返工，严重影响生产效率。因此迫切需要一种新型装置，无需拆除保护，可以让晶圆加热器无需进入烘箱，灌封的环氧胶就可以实现良好的烘干固化效果，并且可以保证导线在固化过程中处于中心位置，保证良好外观，大幅提升良率和生产效率。因此，亟需一种新的技术方案解决以上至少一个技术问题。
技术实现思路
[0003]本专利技术的一个目的是提供一种用于加热管和热电偶的接线装置，不用拆除不耐高温的保护和配件，防止导线移位，且无需进入烘箱，在组装现场能够实现固定、烘干。本专利技术的另一个目的是提供一种接线工艺，无需将热电偶组件放入烘箱，不会因为进出烘箱而划伤晶圆加热器的表面，无需拆除热电偶组件上的其他配件，接线效果好，极大地提升了良品率。
[0004]为了实现上述技术目的，达到上述的技术要求，本专利技术所采用的技术方案是：一种用于加热管和热电偶的接线装置，包括可开合的定位管、穿设在定位管上的热电偶组件、贴设在定位管外周面的柔性加热器、用于夹紧柔性加热器的夹紧装置、固定件，所述热电偶组件包括热电偶、接线帽和导线，所述导线固定穿设在固定件上，所述固定件固定嵌设在定位管的头端，所述固定件上设有贯穿的排气孔，所述定位管包括2个半圆管，所述固定件包括2个半圆板。
[0005]作为优选的技术方案，所述定位管上设有轴向贯穿的安装孔，所述安装孔为阶梯孔结构。
[0006]作为优选的技术方案，所述安装孔包括依序相连的第一段、第二段和第三段，所述第一段和第三段的直径小于第二段的直径，所述第一段轴向贯穿定位管的头端，所述第三段轴向贯穿定位管的尾端。
[0007]作为优选的技术方案，所述柔性加热器包括外绝缘膜、内绝缘膜、多组设置在外绝缘膜和内绝缘膜之间的加热丝、设置在外绝缘膜外周面的温控开关、分别与加热丝和温控开关电连的电线。
[0008]作为优选的技术方案，所述定位管内壁设置有分区隔热槽。
[0009]作为优选的技术方案，所述定位管包括2个半圆管，所述固定件包括2个半圆板。
[0010]作为优选的技术方案，所述夹紧装置的数量为2个，其中1个夹紧装置设置在定位管的头端，另1个夹紧装置设置在定位管的尾端。
[0011]作为优选的技术方案，所述夹紧装置包括2个半圆形的夹紧块、螺栓，2个所述半圆形的夹紧块通过螺栓连接。
[0012]作为优选的技术方案，所述定位管的尾端设置有限位台阶。
[0013]本专利技术还提供一种接线工艺，采用所述的接线装置进行接线，包括以下步骤：
[0014]步骤一、将所述导线与所述热电偶上的接线柱进行钎焊，钎焊后套上绝缘套管；
[0015]步骤二、在步骤一完成后将所述导线和所述热电偶穿过所述接线帽，然后在所述接线帽中灌入环氧树脂进行环氧灌封，对所述导线和所述热电偶进行固定，得到热电偶组件；
[0016]步骤三、将所述热电偶组件放入其中1个所述半圆管内，将所述固定件夹住所述导线，然后盖上另1个所述半圆管得到所述定位管，并将所述固定件嵌装在所述定位管的前端；
[0017]步骤四、将所述柔性加热器热压至所述定位管的外周面，然后拧紧所述夹紧装置将2个所述半圆管固定住；
[0018]步骤五、开启所述柔性加热器进行烘干加热，加热温度为80℃～100℃，操作时间为2～4小时；
[0019]步骤六、关闭所述柔性加热器，拧松所述夹紧装置，取下柔性加热器，然后打开所述定位管和固定件，取出所述热电偶组件。
[0020]作为优选的技术方案，所述绝缘套管的中间段为弧形。
[0021]本专利技术的有益效果是：
[0022]1)利用柔性加热器贴合在定位管的外周面，然后通过夹紧装置对定位管和柔性加热器进行固定，柔性加热器对定位管进行加热，定位管对接线帽内的环氧树脂进行烘干，这样就不用拆除不耐高温的配件，且无需整体进入烘箱，安装便捷，并用固定件对热电偶上的导线进行固定，这样在组装现场能够实现固定、烘干，减少了进出烘箱步骤，大幅缩短接线工艺的时间，大幅提升了工作效率和良品率；
[0023]2)优选的，阶梯孔结构形成多个阶梯孔，便于在安装孔内安装固定件、热电偶和热电偶接线帽，进一步优选的，第一段用于安装固定件，第二段用于安装热电偶接线帽，第三段用于安装热电偶，第二段的直径大，能够对接线帽进行限位，防止过度位移；
[0024]3)优选的，通过多组加热丝将定位管分成多个加热区域；
[0025]4)优选的，分区隔热槽与多组加热丝对应设置，对相邻2个加热区域起到隔热的作用；
[0026]5)优选的，定位管包括2个半圆管，便于定位管内安装各个部件，固定件包括2个半圆板，便于对导线进行固定；
[0027]6)优选的，通过2个夹紧装置提升夹紧效果，进一步优选的，通过拧紧螺栓即可实现夹紧，操作简单，安装和拆卸方便；
[0028]7)优选的，定位管的尾端设置有限位台阶，对夹紧装置限位，防止夹紧装置在安装
过程中掉落；
[0029]8)本专利技术的接线工艺能够使环氧树脂更好地固化，无需搬运至烘箱中，避免加热管表面划伤，极大地提升了加热管的良品率；
[0030]9)优选的，绝缘套管的中间段为弧形具有缓冲作用。
附图说明
[0031]图1为本专利技术提供一个实施例的三维图；
[0032]图2为本专利技术提供一个实施例的定位管的剖视图；
[0033]图3为本专利技术提供一个实施例的剖视图；
[0034]图4为本专利技术提供一个实施例的柔性加热器的结构图；
[0035]图5为本专利技术提供一个实施例的夹紧装置的结构图；
[0036]图6为本专利技术提供一个实施例的绝缘套管的结构图；
[0037]在图1
‑
图6中，1、定位管；101、半圆管；102、安装孔；1021、第一段；1022、第二段；1023、第三段；103、分区隔热槽；104、嵌槽；105、限位台阶；2、柔性加热器；201、外绝缘膜；202、内绝缘膜；203、加热丝；204、温控开关；205、电线；3、夹紧装置；301、夹紧块；3011、避空槽；302、螺栓；4、固定件；401、半圆板；402、排气孔；5、热电偶组件；501、热电偶；502、接线帽；503、导线；6、连接器；7、绝缘套管；8本文档来自技高网...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种用于加热管和热电偶的接线装置，其特征在于，包括可开合的定位管(1)、穿设在定位管(1)上的热电偶组件(5)、贴设在定位管(1)外周面的柔性加热器(2)、用于夹紧柔性加热器(2)的夹紧装置(3)、固定件(4)，所述热电偶组件(5)包括热电偶(501)、接线帽(502)和导线(503)，所述导线(503)固定穿设在固定件(4)上，所述固定件(4)固定嵌设在定位管(1)的头端，所述固定件(4)上设有贯穿的排气孔(402)，所述定位管(1)包括2个半圆管(101)，所述固定件(4)包括2个半圆板(401)。2.根据权利要求1所述的一种用于加热管和热电偶的接线装置，其特征在于，所述定位管(1)上设有轴向贯穿的安装孔(102)，所述安装孔(102)为阶梯孔结构。3.根据权利要求2所述的一种用于加热管和热电偶的接线装置，其特征在于，所述安装孔(102)包括依序相连的第一段(1021)、第二段(1022)和第三段(1023)，所述第一段(1021)和第三段(1023)的直径小于第二段(1022)的直径，所述第一段(1021)轴向贯穿定位管(1)的头端，所述第三段(1023)轴向贯穿定位管(1)的尾端。4.根据权利要求1所述的一种用于加热管和热电偶的接线装置，其特征在于，所述柔性加热器(2)包括外绝缘膜(201)、内绝缘膜(202)、多组设置在外绝缘膜(201)和内绝缘膜(202)之间的加热丝(203)、设置在外绝缘膜(201)外周面的温控开关(204)、分别与加热丝(203)和温控开关(204)电连的电线(205)。5.根据权利要求4所述的一种用于加热管和热电偶的接线装置，其特征在于，所述定位管(1)内壁设置有分区隔热槽(103)。6.根据权利要求1所述的一种用于加热管和热电偶的接线装置，其特征在于，所述夹紧装置(3)的数量为2个，其中1...
【专利技术属性】
技术研发人员：贾坤良，游利，陆浩，周红旗，孙屹，
申请(专利权)人：无锡先研新材科技有限公司，
类型：发明
国别省市：
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