一种扩散炉管抽气管路制造技术

本实用新型专利技术提供一种扩散炉管抽气管路，包括中间连接部件和若干吸气部件，连接部件为四通结构，吸气部件对应固定在连接部件上下左右的四个端口上，所述吸气部件为L型气管，四个吸气部件的短边弯折方向顺时针排布，上下相对端口上的吸气部件的弯折方向相反，左右相对端口上的吸气部件的弯折方向相反。该抽气管路可直接插在炉尾门上的抽气口上，朝向炉内安装，抽气装置启动后，抽气管路特殊的结构设计可以改变路管内气体的流动情况，克服了原本单口抽气造成的缺陷，使炉管内扩散更均匀，从而改善硅片的方阻均匀性，进一步提高电池整体的光电转换效率。换效率。换效率。

【技术实现步骤摘要】
一种扩散炉管抽气管路


[0001]本技术属于太阳能电池制造领域，具体涉及一种扩散炉管抽气管路。

技术介绍

[0002]在现有晶硅太阳电池生产的扩散工序中，如图1，通过放置在炉管底部的进气管5对炉管4内通气，气体由炉尾通入向炉口方向输送，再由炉尾的抽气装置将通入炉管的混合气体从炉口向炉尾抽出，以此使气体经过炉管内石墨舟上的硅片反应沉积，此处抽气装置直接连接在炉尾门上的抽气口6上，抽气口6位于炉尾门的中间，抽气时气流从炉管中心水平经过，这就造成炉管四周和炉管中间的气体浓度不均匀，炉管内中间掺杂浓度高于四周的情况，以至于导致硅片方阻均匀性差。

技术实现思路

[0003]鉴于以上，本技术提供一种扩散炉管抽气管路，该抽气管路可直接插在炉尾门上的抽气口上，朝向炉内安装，抽气装置启动后，抽气管路特殊的结构设计可以改变路管内气体的流动情况，克服了原本单口抽气造成的缺陷，使炉管内扩散更均匀，从而改善硅片的方阻均匀性，进一步提高电池整体的光电转换效率。具体技术方案如下。
[0004]一种扩散炉管抽气管路，其特征在于：包括中间连接部件和若干吸气部件，连接部件为四通结构，吸气部件对应固定在连接部件上下左右的四个端口上，所述吸气部件为L型气管，四个吸气部件的短边弯折方向顺时针排布，上下相对端口上的吸气部件的弯折方向相反，左右相对端口上的吸气部件的弯折方向相反。
[0005]进一步，所述连接部件的中部设置有抽气嘴，抽气嘴与连接部件的内部气路连通。
[0006]进一步，所述抽气管路为石英材质。
[0007]进一步，所述吸气部件的内壁管径为1cm。
[0008]进一步，所述四个吸气部件的结构、尺寸相同。
[0009]本技术的扩散炉管抽气管路，为一个四通的气路结构，可以通过抽气嘴直接安装在炉尾门上的抽气口内，方便安装和更换，再通过连接部外端的四个L型吸气部件对炉管内进行抽气，吸气部件的弯折短边呈顺时针方向分布在同一个外接圆上，这样的结构可以在抽气时充分的将炉管内气流搅动，使炉口处的气流呈螺旋状态向炉尾流经，从而改善炉管四周和炉管中间的气体浓度差，使炉管内扩散更均匀，提高硅片的方阻均匀性。
[0010]本技术附加的方面和优点将在下面的描述中进一步给出，部分将从下面的描述中变得明显，或通过本技术的实践了解到。
附图说明
[0011]本技术的上述和/或附加的方面和优点从下面结合附图对实施例的描述中将变得明显和容易理解，其中：
[0012]图1所述为现有技术炉管内气体路径示意图；
[0013]图2所示为本技术扩散炉管抽气管路的整体结构示意图：
[0014]图3所示为本技术扩散炉管抽气管路的正面结构示意图：
[0015]图4所示为使用本申请抽气管路的炉管内气体路径示意图；
[0016]图5所示为改善前后方阻均匀性效果对比箱型图；
[0017]其中，1
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抽气管路，10
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连接部件，11
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吸气部件，2
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抽气嘴，3
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石墨舟，4
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炉管，5
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进气管,6
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抽气口。
具体实施方式
[0018]下面通过参考附图描述的实施例是示例性的，仅用于解释本技术，而不能解释为对本技术的限制。
[0019]术语“连接”等应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通，对于本领域的技术人员而言，是可以通过具体情况理解上述术语在本技术中的具体含义的。
[0020]参照图2
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图3，本实施例的一种扩散炉管抽气管路，包括中间连接部件10和若干吸气部件11，连接部件10为四通结构，吸气部件11对应固定在连接部件10上下左右的四个端口上，四个吸气部件11的结构、尺寸相同，吸气部件11为L型气管，四个吸气部件11的短边弯折方向顺时针排布，上下相对端口上的吸气部件11的弯折方向相反，左右相对端口上的吸气部件11的弯折方向相反，整体形成环形吸气路径，即弯折短边气管的开口分布在同一个外接圆上，外接圆直径可达15cm，这样的结构可以在抽气时充分的将炉管内气流搅动，使炉口处的气流呈螺旋状态向炉尾流经，从而改善炉管四周和炉管中间的气体浓度差，使炉管内扩散更均匀。
[0021]另外抽气管路为石英材质，耐高温，且不会引起炉管内杂质污染。吸气部件的内壁管径为1cm，壁厚1mm。
[0022]优选的，连接部件10的中部设置有抽气嘴2，抽气嘴2与连接部件10的内部气路连通。抽气嘴2为柱状气管，长度为5cm，一端连接四通抽气管路，一端直接插入扩散炉尾上的抽气口，抽气嘴2的外径略小于抽气口6的内径，具体外径以抽气嘴2能插入抽气口中且不会漏气为主张，可根据实际需要进行调整。
[0023]使用本实施例的扩散炉管抽气管路的方阻均匀性效果对比如图5，改善前即现有技术不变时方阻均匀性情况，改善后即使用本申请的抽气管路时，选择扩散阶段的前期、中期、后期的数据看方阻均匀性，明显使用了本申请抽气管路的方阻均匀性更好。
[0024]尽管参照本技术的示意性实施例对本技术的具体实施方式进行了详细的描述，但是必须理解，本领域技术人员可以设计出多种其他的改进和实施例，这些改进和实施例将落在本技术原理的精神和范围之内。具体而言，在前述公开、附图以及权利要求的范围之内，可以在零部件和/或者从属组合布局的布置方面作出合理的变型和改进，而不会脱离本技术的精神。除了零部件和/或布局方面的变型和改进，其范围由所附权利要求及其等同物限定。
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【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种扩散炉管抽气管路，其特征在于：包括中间连接部件和若干吸气部件，连接部件为四通结构，吸气部件对应固定在连接部件上下左右的四个端口上，所述吸气部件为L型气管，四个吸气部件的短边弯折方向顺时针排布。2.根据权利要求1所述的扩散炉管抽气管路，其特征在于，所述连接部件的中部设置有抽气嘴，抽气嘴与...

【专利技术属性】
技术研发人员：付洪涛，
申请(专利权)人：江苏润阳世纪光伏科技有限公司，
类型：新型
国别省市：