一种扩散进气管路制造技术

本实用新型专利技术提供一种扩散进气管路，应用于扩散炉管内，其特征在于：包括进气管和通气环，通气环为圆环形，以通气环水平直径为界通气环分为上供气部和下供气部，上供气部与下供气部上开设有散气孔，且所述上供气部中相邻散气孔的间距小于下供气部中相邻散气孔的间距，即形成上供气部中散气孔密，下供气部中散气孔疏的特殊分散结构；进气管为直管，一端与通气环的下供气部垂直连通，另一端通向炉管外。使用该改进后的进气管路，可以在炉管内对硅片进行均匀有效的扩散，从而提高方阻均匀性，提高电池片的转换效率。片的转换效率。片的转换效率。

【技术实现步骤摘要】
一种扩散进气管路


[0001]本技术属于太阳能电池制造领域，具体涉及一种扩散进气管路。

技术介绍

[0002]太阳能电池的制造需要经过制绒、扩散、刻蚀等工序，扩散是半导体器件制造的重要工序，主要用途是在高温条件下对半导体晶圆进行掺杂，从而改变和控制半导体内杂质的类型，浓度和分布，以便建立不同的电特性区域，在太阳能晶硅电池制造中，常采用热扩散工艺制备PN结，在现有晶硅太阳电池生产的扩散工序中，扩散炉管内的通气管使用的是单管进气，如图1，扩散工艺中通过放置在炉管底部的直管对炉管内通气，通入的气体由炉管前端向炉管后端的出口方向分散，但是该方式通入的气体在炉管底部和炉管的前端易堆积，形成炉管底部、中间和顶部浓度分布不均匀的状况，因此会导致最终在扩散后硅片表面方阻均匀性差的问题，进而影响电池片的转换效率。

技术实现思路

[0003]鉴于以上，本技术提供一种扩散进气管路，使用该改进后的进气管路，可以在炉管内对硅片进行均匀有效的扩散，从而提高方阻均匀性，提高电池片的转换效率。具体技术方案如下。
[0004]一种扩散进气管路，应用于扩散炉管内，其特征在于：包括进气管和通气环，通气环为圆环形，通气环上开设有散气孔，以通气环水平中轴线为界通气环分为上供气部和下供气部，所述上供气部中相邻散气孔的间距小于下供气部中相邻散气孔的间距，即形成上供气部中散气孔密，下供气部中散气孔疏的特殊分散结构；进气管为直管，一端与通气环的下供气部垂直连通，另一端通向炉管外。
[0005]进一步，所述进气管分为连接区段和主体区段，连接区段设置成分段式结构，分为连接段和封堵段，连接段为锥形结构插入通气环内，封堵段的管道口径大于主体区段管道口径。当连接段插入通气环时管道口径更大的封堵段会封堵住进气管和通气环之间的连接口，防止漏气。
[0006]进一步，上供气部中相邻散气孔之间弧形角度为11.25度；下供气部中相邻散气孔之间弧形角度为25度。此处弧形角度为相邻散气孔之间这段圆弧对应通气环中的圆心角度数。
[0007]进一步，所述通气环通过支撑架稳固在扩散炉管内，支撑架连接在通气环的上供气部，将其固定在扩散炉管内壁上。
[0008]进一步，所述散气孔直径为2毫米。
[0009]进一步，所述通气环采用石英材质。
[0010]本技术的扩散进气管路，优化进气管路结构设计，在通气直管的基础上改进增加通气环，并且对通气环上的散气孔进行“上环疏，下环密”的一个分散结构，通过通气环的设计可以将气体更分散的通入炉管内，从而更均匀的遍布每一片电池片，在电池片表面
形成方阻均匀性更好的PN结，提高电池片的转换效率，将对电池片的生产具有很大的积极意义。
[0011]本技术附加的方面和优点将在下面的描述中进一步给出，部分将从下面的描述中变得明显，或通过本技术的实践了解到。
附图说明
[0012]本技术的上述和/或附加的方面和优点从下面结合附图对实施例的描述中将变得明显和容易理解，其中：
[0013]图1所述为现有技术炉管内直管通气的示意图；
[0014]图2所示为进气管和通气环连接示意图：
[0015]图3所示为通气环结构示意图；
[0016]图4所示为进气管结构示意图；
[0017]其中，1
‑
进气管，10
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连接段，11
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封堵段，12
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主体区段，2
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通气环，20
‑
上供气部，21
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下供气部，3
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散气孔，4
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支撑架，5
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炉管，6
‑
直管。
具体实施方式
[0018]下面通过参考附图描述的实施例是示例性的，仅用于解释本技术，而不能解释为对本技术的限制。
[0019]在本技术的描述中，需要理解的是，指示的方位或位置关系的术语为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本专利技术和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本专利技术的限制。
[0020]在本技术的描述中，需要理解的是，术语
ꢀ“
上”、“下”、
ꢀ“
顶”、“底”、“内”、“外”、“水平”、“竖直”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本专利和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本专利的限制。
[0021]术语“连接”、“设置”等应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通，对于本领域的技术人员而言，是可以通过具体情况理解上述术语在本技术中的具体含义的。
[0022]参照图2
‑
图4，本实施例的扩散进气管路，应用于扩散炉管内，包括进气管1和通气环2，通气环2为圆环形，通气环2上开设有散气孔3，以通气环2水平中轴线为界通气环2分为上供气部20和下供气部21，上供气部20中相邻散气孔3的间距小于下供气部21中相邻散气孔3的间距，即形成上供气部20中散气孔3密，下供气部21中散气孔3疏的特殊分散结构。进气管1为直管，一端与通气环2的下供气部21垂直连通，另一端通向炉管外。外部气体通过进气管1通入由通气环2在炉管内散布开，由于通气环2圆形的设计而且散气孔3在通气环2上的特殊分布，可以使散发出的气体在炉管内更加均匀，从而有利于扩散工艺获得PN结质量更好的电池片。
[0023]如图3，进气管1与通气环2连接于通气环2的竖直中心轴线上，散气孔3均匀分布在
竖直中心轴线两侧，上供气部20中相邻散气孔3之间弧形角度为11.25度；下供气部21中相邻散气孔3之间弧形角度为25度。此处弧形角度为相邻散气孔3之间这段圆弧对应通气环中的圆心角度数。散气孔3直径为2毫米。通气环2采用石英材质，通过支撑架4稳固在扩散炉管内，支撑架连接在通气环2的上供气部20外围，将其固定在扩散炉管内壁上。
[0024]进一步如图4，进气管1分为连接区段和主体区段12，连接区段设置成分段式结构，分为连接段10和封堵段11，连接段10为锥形结构方便插入通气环2内，封堵段11的管道口径大于主体区段12的管道口径。进气管1通过分段结构设置，可以与通气环2的连接更便捷且严密，当连接段10插入通气环2时管道口径更大的封堵段11会封堵住进气管1和通气环2之间的连接口，防止漏气。
[0025]尽管参照本技术的示意性实施例对本技术的具体实施方式进行了详细的描述，但是必须理解，本领域技术人员可以设计出多种其他的改进和实施例，这些改进和实施例将落在本技术原理的精神和范围之内。具体而言，在前述公开、附图以及权利要求的范围之内，可以在零部件和/或者从属组合布本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种扩散进气管路，应用于扩散炉管内，其特征在于：包括进气管和通气环，通气环为圆环形，通气环上开设有散气孔，以通气环水平直径为界通气环分为上供气部和下供气部，所述上供气部中相邻散气孔的间距小于下供气部中相邻散气孔的间距；进气管为直管，一端与通气环的下供气部垂直连通，另一端通向炉管外。2.根据权利要求1所述的扩散进气管路，其特征在于，所述进气管分为连接区段和主体散气区段，连接区段设置成分段式结构，分为连接段和过渡段，连接段为锥形结构插入通气环内，过渡段的管道口径大...

【专利技术属性】
技术研发人员：何海涛，
申请(专利权)人：江苏润阳世纪光伏科技有限公司，
类型：新型
国别省市：