本实用新型专利技术公开了一种用于外点火形式扩散炉的DCE进气结构，其包括：O2源、N2源、DCE源、三通管接头、点火枪和炉管，所述三通管接头含有相互连通的第一端口、第二端口和第三端口，所述O2源与第一端口之间设置有第一气路，所述第二端口与点火枪的一个进气口之间设置有第二气路，所述DCE源的出气口与第三端口之间设置有第三气路，所述N2源与点火枪的另一进气口之间设置有第四气路，所述点火枪的输出端与炉管相连接，所述N2源与DCE源的进气口之间设置有第五气路，所述第一气路上设置有第一气动阀，所述第四气路上设置有第二气动阀，所述第五气路上设置有第三气动阀，让小流量的N2先进入DCE源，置换出DCE，进行DCE和O2的提前混合，减少碳化现象。减少碳化现象。减少碳化现象。
【技术实现步骤摘要】
一种用于外点火形式扩散炉的DCE进气结构
[0001]本技术涉及扩散炉设备领域，尤其涉及一种用于外点火形式扩散炉的DCE进气结构。
技术介绍
[0002]在半导体生产线中，扩散炉是重要工艺设备之一。扩散炉可以在高温条件下将掺杂材料扩散入硅片，从而改变和控制半导体内杂质的类型、浓度和分布，建立不同的电特性区域。
[0003]扩散炉需要O2与DCE（二氯乙烯）的混合进行燃烧，但是由于DCE往往直接进入高温的炉管，在炉管内来不及和O2充分混合，容易发生碳化现象，造成炉管的沾污，降低半导体的品质，而且炉管沾污后难以清理维护，增加了生产的成本，需要进行改进。
技术实现思路
[0004]本技术的目的在于提供一种用于外点火形式扩散炉的DCE进气结构，实现DCE与O2提前混合，减少碳化现象。
[0005]为达此目的，本技术采用以下技术方案：
[0006]一种用于外点火形式扩散炉的DCE进气结构，包括：O2源、N2源、DCE源、三通管接头、点火枪和炉管，所述三通管接头含有相互连通的第一端口、第二端口和第三端口，所述O2源与第一端口之间设置有第一气路，所述第二端口与点火枪的一个进气口之间设置有第二气路，所述DCE源的出气口与第三端口之间设置有第三气路，所述N2源与点火枪的另一进气口之间设置有第四气路，所述点火枪的输出端与炉管相连接，所述N2源与DCE源的进气口之间设置有第五气路，所述第一气路上设置有第一气动阀，所述第四气路上设置有第二气动阀，所述第五气路上设置有第三气动阀。
[0007]其中，还包括DCE源温度控制箱，所述DCE源设置在DCE源温度控制箱中。
[0008]其中，所述DCE源温度控制箱中设置有与第五气路相连接的DCE鼓泡装置。
[0009]其中，所述第一气路上设置有第一流量计，所述第四气路上设置有第二流量计，所述第五气路上设置有第三流量计。
[0010]其中，所述第一气路上设置有第一单向阀。
[0011]其中，所述第五气路上设置有第二单向阀。
[0012]本技术的有益效果：一种用于外点火形式扩散炉的DCE进气结构，特别设计了第五气路和三通管接头，让小流量的N2先进入DCE源，置换出DCE，并通过三通管接头进行DCE和O2的提前混合，提升混合均匀性，进入高温的炉管后减少碳化现象。
附图说明
[0013]图1是本技术的结构示意图。
具体实施方式
[0014]下面结合图1并通过具体实施例来进一步说明本技术的技术方案。
[0015]一种用于外点火形式扩散炉的DCE进气结构，包括：O2源2、N2源1、DCE源16、三通管接头8、点火枪9、炉管10和DCE源温度控制箱17，所述DCE源设置在DCE源温度控制箱17中，进行温度控制。
[0016]所述三通管接头8含有相互连通的第一端口、第二端口和第三端口，所述O2源2与第一端口之间设置有第一气路3，将O2送入三通管接头8。在本实施例中，所述第一气路3上设置有第一流量计4，进行O2流量检测。所述第一气路3上设置有第一气动阀6，调节O2的流量，比如5SLM，并在所述第一气路3上设置有第一单向阀7，避免倒流问题。
[0017]所述N2源1与DCE源16的进气口之间设置有第五气路12，让小流量的N2先进入DCE源，置换出DCE。所述DCE源温度控制箱17中设置有与第五气路12相连接的DCE鼓泡装置，通过鼓泡方式进行DCE源置换。
[0018]在本实施例中，所述第五气路12上设置有第三流量计20，进行小流量N2的流量检测。所述第五气路12上设置有第三气动阀14，进行N2的流量调节，比如控制在3SLM。所述第五气路12上设置有第二单向阀15，避免小流量N2倒流的问题。
[0019]所述DCE源16的出气口与第三端口之间设置有第三气路19，将置换出的DCE送入三通管接头8，提前与O2混合，提升DCE和O2的混合均匀性，进入高温的炉管10后减少碳化现象。所述第二端口与点火枪9的一个进气口之间设置有第二气路18，将混合后的DCE和O2送入点火枪9。
[0020]所述N2源1与点火枪9的另一进气口之间设置有第四气路11，将大流量的N2送入点火枪9。在本实施例中，所述第四气路11上设置有第二流量计5，进行大流量N2的流量检测。所述第四气路11上设置有第二气动阀13，进行N2的流量调节，比如控制在20SLM，流量较大。
[0021]所述点火枪9的输出端与炉管10相连接，DCE和O2提前混合后进入高温的炉管，燃烧更加充分，减少了碳化现象，延缓炉管10的沾污，有利于延长炉管10的使用。
[0022]以上内容仅为本技术的较佳实施例，对于本领域的普通技术人员，依据本技术的思想，在具体实施方式及应用范围上均会有改变之处，本说明书内容不应理解为对本技术的限制。
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【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种用于外点火形式扩散炉的DCE进气结构，其特征在于，包括：O2源、N2源、DCE源、三通管接头、点火枪和炉管，所述三通管接头含有相互连通的第一端口、第二端口和第三端口，所述O2源与第一端口之间设置有第一气路，所述第二端口与点火枪的一个进气口之间设置有第二气路，所述DCE源的出气口与第三端口之间设置有第三气路，所述N2源与点火枪的另一进气口之间设置有第四气路，所述点火枪的输出端与炉管相连接，所述N2源与DCE源的进气口之间设置有第五气路，所述第一气路上设置有第一气动阀，所述第四气路上设置有第二气动阀，所述第五气路上设置有第三气动阀。2.根据权利要求1所述的用于外点火形式扩散炉的DCE进气结构，其特...
【专利技术属性】
技术研发人员：周炳，
申请(专利权)人：张家港意发功率半导体有限公司，
类型：新型
国别省市：
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