一种扩散炉制造技术

本实用新型专利技术提供了一种扩散炉，包括：炉体、炉门、进气管和排气管，所述炉体上设有进料口，所述炉门用于密封所述进料口，所述排气管相对所述进料口穿设在所述炉体上；其中，所述进气管包括直管部和弯管部，所述弯管部设于所述炉体内，且靠近所述进料口设置，所述直管部包括第一进气口和第一排气口，所述弯管部包括第二进气口和第二排气口；所述第一进气口设于所述炉体外，所述第一排气口与所述第二进气口连通，所述第二排气口的中心线垂直于所述进料口的中心线。可以避免工艺气体直接冲刷所述炉门，减少所述炉门内侧附着的杂质，提高扩散过程的稳定性和均匀性，减少停机更换炉门的操作，提高生产效率和产能。提高生产效率和产能。提高生产效率和产能。

【技术实现步骤摘要】
一种扩散炉


[0001]本技术涉及扩散炉
，特别是涉及一种扩散炉。

技术介绍

[0002]目前，扩散炉可以在低压、高温的条件下对半导体晶圆进行掺杂，从而改变和控制半导体内杂质的类型和内部及表面的浓度分布，从而建立特性不同的电特性区域。例如：在晶体硅太阳能电池行业中，通常使用扩散炉制备太阳能电池的PN结。
[0003]现有的扩散炉通常包括：炉门、炉管、进气管和排气管，进气管通常为直管结构，从炉管尾部直接伸入至炉门位置，使得工艺气体可以从炉门位置处输入炉管内，排气管设置在炉管尾部，可以将炉体内的废气排出炉管外。以制备太阳能电池的PN结为例，可以先打开炉门，然后将硅片从炉门送入到炉管内的恒温区，关闭炉门，再进行加热处理，从进气管向炉管内通入工艺气体开始扩散，使用排气管将产生的废气排出炉管外部。
[0004]然而，在使用进气管通入工艺气体的过程中，工艺气体容易冲刷炉门，导致炉门处形成较大的旋流区，炉门内侧容易附着工艺气体中的杂质，降低了扩散过程的稳定性和均匀性。而且停机更换炉门，又容易降低生产效率和产能。

技术实现思路

[0005]鉴于上述问题，提出了本技术以便提供一种克服上述问题或者至少部分地解决上述问题的一种扩散炉。
[0006]为了解决上述问题，本技术公开了一种扩散炉，包括：炉体、炉门、进气管和排气管，所述炉体上设有进料口，所述炉门用于密封所述进料口，所述排气管相对所述进料口穿设在所述炉体上；其中，
[0007]所述进气管包括直管部和弯管部，所述弯管部设于所述炉体内，且靠近所述进料口设置，所述直管部包括第一进气口和第一排气口，所述弯管部包括第二进气口和第二排气口；
[0008]所述第一进气口设于所述炉体外，所述第一排气口与所述第二进气口连通，所述第二排气口的中心线垂直于所述进料口的中心线。
[0009]可选地，所述弯管部的下表面外壁为沿所述直管部的下表面外壁向上弯曲的弧形结构；
[0010]所述第二排气口的边缘高度低于所述直管部的上表面外壁。
[0011]可选地，所述弯管部的口径等于所述直管部的口径。
[0012]可选地，所述直管部设于所述炉体的底部，所述第二排气口朝向所述炉体的顶部设置。
[0013]可选地，所述炉体远离所述进料口的一端设有第一穿设孔，所述直管部穿设于所述第一穿设孔。
[0014]可选地，所述炉体靠近所述进料口的一端设有第二穿设孔，所述直管部穿设于所
述第二穿设孔。
[0015]可选地，所述直管部的中心线垂直于所述第二排气口的中心线。
[0016]可选地，所述炉体远离所述进料口的一端还设有第三穿设孔，所述排气管穿设于所述第三穿设孔；
[0017]所述排气管包括第三进气口和第三排气口，所述第三进气口设于所述炉体内，所述第三排气口设于所述炉体外。
[0018]可选地，所述第三进气口的数量为多个，所述多个第三进气口设置在所述排气管的侧壁上。
[0019]可选地，所述多个第三进气口分别沿所述排气管的周向和轴向均匀设置。
[0020]本技术包括以下优点：
[0021]在本技术实施例中，在进行扩散工艺的过程中，可以使用所述炉门密封所述进料口之后，通过所述进气管向所述炉体内输入工艺气体，工艺气体可以依次经过所述第一进气口、所述第一排气口、所述第二进气口和所述第二排气口之后进入所述炉体内，由于所述第二排气口的中心线垂直于所述进料口的中心线，可以避免工艺气体直接冲刷所述炉门，减小在所述炉门处形成的旋流区，减少所述炉门内侧附着的杂质，提高扩散过程的稳定性和均匀性，进而可以减少停机更换炉门的操作，提高生产效率和产能。
附图说明
[0022]图1是本技术的一种扩散炉的结构示意图；
[0023]图2是本技术的一种进气管的结构示意图；
[0024]图3是本技术的一种进气管的局部放大示意图；
[0025]图4是本技术的另一种进气管的局部放大示意图；
[0026]图5是本技术的一种排气管的结构示意图。
[0027]附图标记：
[0028]1‑
炉体，11
‑
进料口，2
‑
炉门，3
‑
进气管，31
‑
直管部，311
‑
第一进气口，312
‑
第一排气口，32
‑
弯管部，321
‑
第二进气口，322
‑
第二排气口，4
‑
排气管，41
‑
第三进气口，42
‑
第三排气口，5
‑
硅片，6
‑
石英舟。
具体实施方式
[0029]为使本技术的上述目的、特征和优点能够更加明显易懂，下面结合附图和具体实施方式对本技术作进一步详细的说明。
[0030]本申请的说明书和权利要求书中的术语“第一”、“第二”的特征可以明示或者隐含地包括一个或者更多个该特征。在本专利技术的描述中，除非另有说明，“多个”的含义是两个或两个以上。此外，说明书以及权利要求中“和/或”表示所连接对象的至少其中之一，字符“/”，一般表示前后关联对象是一种“或”的关系。
[0031]在本专利技术的描述中，需要理解的是，术语“长度”、“宽度”、“厚度”、“上”、“下”、“顶”、“底”“内”、“外”、“轴向”、“周向”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本专利技术和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本专利技术的限制。
[0032]在本专利技术的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本专利技术中的具体含义。
[0033]本技术的核心构思之一在于提供一种扩散炉。
[0034]参照图1，示出了本技术的一种扩散炉的结构示意图，参照图2，示出了本技术的一种进气管的结构示意图，参照图3，示出了本技术的一种进气管的局部放大图。如图1所示，所述扩散炉具体可以包括：炉体1、炉门2、进气管3和排气管4，炉体1上设有进料口11，炉门2用于密封进料口11，排气管4相对进料口11穿设在炉体1上；其中，如图2所示，进气管3包括直管部31和弯管部32，弯管部32设于炉体1内，且靠近进料口11设置，如图3和4所示，直管部31包括第一进气口311和第一排气口312，弯管部32包括第二进气口321和第二排气口322；第一进气口311设于炉体1外，第一排气口312与第二进气口321连通，第二排气口322的中心线本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种扩散炉，其特征在于，包括：炉体、炉门、进气管和排气管，所述炉体上设有进料口，所述炉门用于密封所述进料口，所述排气管相对所述进料口穿设在所述炉体上；其中，所述进气管包括直管部和弯管部，所述弯管部设于所述炉体内，且靠近所述进料口设置，所述直管部包括第一进气口和第一排气口，所述弯管部包括第二进气口和第二排气口；所述第一进气口设于所述炉体外，所述第一排气口与所述第二进气口连通，所述第二排气口的中心线垂直于所述进料口的中心线。2.根据权利要求1所述的扩散炉，其特征在于，所述弯管部的下表面外壁为沿所述直管部的下表面外壁向上弯曲的弧形结构；所述第二排气口的边缘高度低于所述直管部的上表面外壁。3.根据权利要求1所述的扩散炉，其特征在于，所述弯管部的口径等于所述直管部的口径。4.根据权利要求1所述的扩散炉，其特征在于，所述直管部设于所述炉体的底部，所述第二排气口朝向所述炉体的顶部设置...

【专利技术属性】
技术研发人员：赵赞良，樊建江，韩晓辉，王武林，陈宇晖，
申请(专利权)人：宁夏隆基乐叶科技有限公司，
类型：新型
国别省市：