【技术实现步骤摘要】
一种负压扩散炉用石英管
[0001]本技术涉及石英管的
，特别是涉及一种负压扩散炉用石英管。
技术介绍
[0002]在光伏行业，高温扩散炉与其内的石英管配合使用主要用于对单晶硅片和多晶硅片进行掺杂，形成PN结，目前常规石英管设置在扩散炉的腔体内，通过加热扩散炉来加温，在扩散工艺过程中，待扩散的硅片置于石英管中央，扩散炉开始升温，对硅片进行掺杂，从而改变和控制半导体内杂质的类型、浓度和分布，以便建立起不同的电特性区域。在热扩散的过程中需要进行进气、排气以及温度的测量等，在管体的尾部设置有多个空心的管道用于气体的进入或者排出等，但管道在使用时需要进行密封和定位，由于管道较细，且需要插置进气装置，所以仅靠管道自身难以定位，于是在气管的外围设置有空心玻璃管结构的密闭封口，帮助其定位和密闭，密闭封口需要焊接在气管上，由于二者易碎且直径较小，所以需要在气管上增加一定的结构，帮助其焊接牢固。
技术实现思路
[0003]本技术目的是要提供一种负压扩散炉用石英管，解决了负压扩散炉用石英管上气管难以定位和密闭困难的问题。
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种负压扩散炉用石英管，其特征在于，包括带有空腔的管体、开口设置的端部和密闭设置的尾部，所述尾部连接有气管，所述气管和所述管体的空腔相连通，所述气管上还设置有密闭封口，所述密闭封口为空心石英管结构，所述气管上设置有凸起，所述密闭封口设置在气管的外围，所述密...
【专利技术属性】
技术研发人员：陈文，
申请(专利权)人：苏州安融石英有限公司，
类型：新型
国别省市：
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