【技术实现步骤摘要】
一种扩散炉
[0001]本技术涉及光伏设备制造
，更具体地说，涉及一种扩散炉。
技术介绍
[0002]扩散炉是晶体硅太阳能电池生产的主要设备，尤其是从2011年开始逐步成熟的低压扩散炉，当前低压扩散炉设备占晶体硅光伏扩散设备的95％以上，这其中60％
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70％以上的设备进气方式如图1所示，图1为现有的扩散炉的示意图，该扩散炉包括位于炉尾的进气管101、通过四氟球碗102连接至石英管103，石英管103的另一侧为炉门104，而从炉门104的附近向左延伸有一个尾气管105，该尾气管105又通过一个四氟球碗连接至真空泵106，可见，该方案中是从左侧的炉尾进气，再从右侧的炉口(位于炉门位置)出气，这种进气方式有以下缺陷：气体经反应后易产生酸液，而且气体必须从炉口的位置进入尾气管105的头部，才能排到腔体之外，但是，气体会出现流动不顺畅的问题，在这种情况下，炉口的位置就容易累积偏磷酸等酸液，导致炉口位置容易被腐蚀，从而对石英管造成损坏，这就导致保养周期的缩短，还有一个问题，就是较多的积液从尾气管105进入真空泵...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种扩散炉，其特征在于，包括扩散炉本体，所述扩散炉本体的两侧分别为炉门和炉尾，所述扩散炉本体的位于所述炉尾一侧底部的内侧面位置开设有容纳延伸管的孔，所述延伸管的一端连接至进气管道，另一端位于所述扩散炉本体内部的靠近所述炉门的位置，且所述扩散炉本体炉尾的出口依次连接至出气管道和抽真空装置。2.根据权利要求1所述的扩散炉，其特征在于，所述出气管道和所述炉尾的出口之间以及所述进气管道和所述延伸管之间均通过转接装置进行连接。3.根据权...
【专利技术属性】
技术研发人员：张树德，魏青竹，倪志春，时宝，钱洪强，连维飞，
申请(专利权)人：苏州腾晖光伏技术有限公司，
类型：新型
国别省市：
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