一种磷扩散系统及其气路装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术实施例公开了一种磷扩散系统的气路装置，包括输气装置、第一磷源、第二磷源和扩散装置；所述第一磷源通过第一管道与所述输气输入装置连接，且所述第一管道伸入磷源液面下方；所述第一磷源通过第二管道与所述第二磷源连接；所述第二管道上设有第一开关；所述第一磷源通过第三管道与所述扩散装置连接，且所述第三管道于磷源液面的上方。本实用新型专利技术通过增设副磷源，为主磷源在工作过程中补充磷源溶液，消除磷源余量对扩散方阻的影响，且换源过程中扩散装置可正常运行。过程中扩散装置可正常运行。过程中扩散装置可正常运行。

【技术实现步骤摘要】
一种磷扩散系统及其气路装置


[0001]本技术涉及太阳能电池制造
，尤其涉及一种磷扩散系统及其气路装置。

技术介绍

[0002]P
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N结是太阳能电池的心脏，磷扩散是形成PERC电池P
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N结的主要方法。现有技术是通过输气将液态磷源带入扩散台机内，从而在P型硅上扩散磷，形成P
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N结。液态磷源是储存于磷源装置内，需要实时监控内部液面的位置并进行定期更换磷源。但现有技术存在缺陷，当磷源量减少时，气体携带的磷源量变少，会造成扩散方阻不均，并且在更换过程中机台是不能运行的。

技术实现思路

[0003]本技术的目的在于克服现有技术的不足，本技术提供了一种磷扩散系统的气路装置，其能避免因磷源不足对扩散方阻的影响。
[0004]本技术还提供一种磷扩散系统，其能在更换磷源的过程正常运行。为了解决上述问题，本技术提出了一种稳定磷源的气路装置，包括输气装置、第一磷源、第二磷源和扩散装置；
[0005]所述第一磷源通过第一管道与所述输气输入装置连接，且所述第一管道伸入磷源液面下方；
[0006]所述第一磷源通过第二管道与所述第二磷源连接；所述第二管道上设有第一开关；
[0007]所述第一磷源通过第三管道与所述扩散装置连接，且所述第三管道于磷源液面的上方；
[0008]作为上述技术方案的改进，所述第二管道上设有第二开关；
[0009]所述第一开关设于所述第二磷源与所述第二管道的交接处；所述第二开关设于所述第一开关与所述第一磷源之间。
[0010]作为上述技术方案的改进，所述第一磷源内设有第一液位装置。
[0011]作为上述技术方案的改进，所述第一磷源内设有最高液位和最低液位；所述最低液位比所述第一管道的端面高2
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3cm，所述最高液位比所述第三管道的端面低2
‑
3cm。
[0012]作为上述技术方案的改进，所述第二磷源内设有第二液位装置。
[0013]作为上述技术方案的改进，所述第二管道上还设有液体流量计。
[0014]作为上述技术方案的改进，所述第一管道上还设有气体流量计。
[0015]作为上述技术方案的改进，所述第一磷源、第二磷源和第二管道外设有保温层。
[0016]作为上述技术方案的改进，所述保温层为保温棉。
[0017]相应的，本技术还提供一种磷扩散系统，包括上述任一项所述的气路装置。
[0018]实施本技术具有以下有益效果：
[0019]本技术提供了一种稳定磷源的气路装置，包括输气装置、第一磷源、第二磷源和扩散装置；
[0020]首先，第二磷源作为第一磷源的副磷源，为工作过程中的第一磷源提供后备磷源，从而消除磷源余量对扩散方阻的影响；
[0021]此外，在第二磷源与第一磷源之间设有第一开关，当需要对第二磷源的磷源进行更换补充时，只需将第一开关关闭，即可将第一磷源密封，无需关闭系统直接进行磷源更换。
附图说明
[0022]图1是本技术的气路装置的结构示意图。
具体实施方式
[0023]为使本技术的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合附图对本技术作进一步地详细描述。
[0024]现有的磷源扩散装置，其磷源是储存于磷源装置内，随着磷源的消耗，氮气携带的磷源量减少，会造成扩散方阻不均，因此要实时监控液面位置的变化，且磷源更换过程中扩散装置不能运行。
[0025]因此，参见图1，本技术提供一种稳定磷源的气路装置，包括输气装置1、第一磷源2、第二磷源3和扩散装置4。
[0026]本技术通过在气路装置内增设副磷源，为主磷源在工作过程中补充磷源，使主磷源始终保持在磷源充足的状态。
[0027]具体的，第一磷源2通过第一管道与输气输入装置1连接，且第一管道5伸入磷源液面下方；第一磷源2通过第二管道6与第二磷源3连接；第二管道6上设有第一开关61；第一磷源2通过第三管道7与所述扩散装置4连接，且第三管道7于磷源液面的上方。
[0028]首先，本技术在气路装置中增设副磷源——第二磷源3，其作为后备磷源，当第一磷源2的磷源液面降低至最低液位时，将第一开关61打开，第二磷源3向第一磷源2输送磷源溶液，以解决因磷源液面下降而造成氮气携带磷源量不足的问题；此外，第一磷源2与第二磷源3之间的第二管道6上设有第一开关61，当第二磷源3需要更换补充磷源溶液时只需将第一开关61关闭，即可避免第一磷源2的磷源泄露，进而更换磷源的过程中无需关闭整个磷源扩散系统。
[0029]由于磷源溶液——三氯氧磷是一种易挥发、有强烈刺激气味的气体，露于潮湿空气中，会水解程磷酸和氯化氢；因此，整个磷扩散系统的磷源要在密封状态储存，故第二磷源3在更换补充磷源时，需确保第二管道6和第二磷源3内的磷源完全排空。
[0030]具体的，第二管道6上设有第二开关62；第一开关61设于第二磷源3与第二管道6的交接处；第二开关62设于第一开关61与第一磷源2之间。当第二磷源3需要更换补充磷源时，首先要将第一开关61关闭，再相隔一段是时间后需将第二开关62关闭；此时第二管道6内的磷源溶液已经排空，并确保第一磷源2保持密闭状态，即可确保第二磷源3在更换时，第一磷源2内的磷源不会向外界泄露。
[0031]为了实时监控第一磷源2内的液面情况，本技术在第一磷源2内设有第一液位
装置21；第一液位装置21可实时检测第一磷源2内的磷源液面处于什么位置，可提醒磷源不足时及时补充。
[0032]进一步的，第一磷源2内设有最高液位和最低液位；最低液位比所述第一管道5的端面高2
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3cm，最高液位比第三管道7的端面低2
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3cm。
[0033]进一步的，第二磷源3内设有第二液位装置31，可实时连接第二磷源3内的磷源液面情况，及时对第二磷源3的磷源进行更换补充。
[0034]进一步的，第二管道6上还设有液体流量计63，以检测第二管道6输送磷源是的流量；第一管道5上还设有气体流量计51，便于计算输气装置1所输送气体的体积。
[0035]进一步的，第一磷源2、第二磷源3和第二管道6外设有保温层8；保温层8能够保持第一磷源2、第二磷源3和第二管道6内的温度的稳定，便于控制混合气中三氯氧磷的含量。优选的，保温层8为保温棉。
[0036]本实施例的工作原理如下：
[0037]本技术提供了一种稳定磷源的气路装置，包括输气装置1、第一磷源2、第二磷源3和扩散装置4；
[0038]第二磷源3作为第一磷源2的副磷源，为工作过程中的第一磷源2提供后备磷源，从而消除磷源余量对扩散方阻的影响；第二磷源3与第一磷源2之间依次设有第一开关，当需要对第二磷源3的磷源进行更换时，将第一开关关闭即可保证第一磷源内的磷源溶液保持在密闭状态，可直接将磷源补充于第二磷源，整个过程无本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种磷扩散系统的气路装置，其特征在于，包括输气装置、第一磷源、第二磷源和扩散装置；所述第一磷源通过第一管道与所述输气输入装置连接，且所述第一管道伸入磷源液面下方；所述第一磷源通过第二管道与所述第二磷源连接；所述第二管道上设有第一开关；所述第一磷源通过第三管道与所述扩散装置连接，且所述第三管道于磷源液面的上方。2.如权利要求1所述的气路装置，其特征在于，所述第二管道上设有第二开关；所述第一开关设于所述第二磷源与所述第二管道的交接处；所述第二开关设于所述第一开关与所述第一磷源之间。3.如权利要求1所述的气路装置，其特征在于，所述第一磷源内设有第一液位装置。4.如权利要求3所述的气路装置，其特征在于，所述第一磷源内设有最高液位和最低液位；所...

【专利技术属性】
技术研发人员：周建科，顾生刚，时宝，陈刚，
申请(专利权)人：天津爱旭太阳能科技有限公司，
类型：新型
国别省市：