一种扩散用进气管制造技术

本实用新型专利技术提供一种扩散用进气管，应用于扩散炉管内，其特征在于：所述进气管为长直双层套管结构，包括第一外管和第二内管，第二内管内置于第一外管之中，且与第一外管等长，第一外管左右侧壁上对称的开设有散气孔单元，散气孔单元从第一外管的进气口一端依次向出气口一端“一”字延伸分布。使用该改进后的进气管，可以在炉管内对硅片进行均匀快速有效的扩散，从而提高方阻均匀性，提高电池片的转换效率。率。率。

【技术实现步骤摘要】
一种扩散用进气管


[0001]本技术属于太阳能电池制造领域，具体涉及一种扩散用进气管。

技术介绍

[0002]在现有晶硅太阳电池生产的扩散工序中，扩散炉管内的通气管普遍使用的是单管进气，如图1，扩散工艺中通过放置在炉管底部的直管对炉管内通气，气体由炉尾通入向炉口方向输送，再由炉尾的抽气装置将通入炉管的混合气体从炉口向炉尾抽出，以此使气体经过炉管内石墨舟上的硅片反应沉积，但是该方式过程长，进气管配套炉管长度较长，用时多，而且通入的气体在炉口端易堆积，形成炉口与炉尾浓度差距，造成管内硅片两端均匀性差异，又因为硅片尺寸越做越大，炉管的管径也就随之变大，那么抽气时就造成炉管内中间掺杂浓度高于四周的情况，总的来说就是现在使用的进气单管不仅使扩散过程长，所用气体量多且均匀性效果差。尽管现有专利中也有对进气管结构进行改造，如CN211947290U，但是该改造存在结构复杂成本较高的缺点。

技术实现思路

[0003]鉴于以上，本技术提供一种扩散用进气管，使用该改进后的进气管，可以在炉管内对硅片进行均匀快速有效的扩散，从而提高方阻均匀性，提高电池本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种扩散用进气管，应用于扩散炉管内，其特征在于：所述进气管为长直双层套管结构，包括第一外管和第二内管，第二内管内置于第一外管之中，且与第一外管等长，第二内管直径小于第一外管直径，一外管左右侧壁上对称的开设有散气孔单元，散气孔单元从第一外管的进气口一端依次向出气口一端“一”字延伸分布。2.根据权利要求1所述的扩散用进气管，其特征在于，所述散气孔单元为至少3组，每组所述散气孔单元包括若干均匀排列的散气孔。3.根据权利要求2所述的扩散用进气管...

【专利技术属性】
技术研发人员：郭金城，孟鑫，朱彦斌，杨灼坚，
申请(专利权)人：江苏润阳世纪光伏科技有限公司，
类型：新型
国别省市：