一种晶圆夹持装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术提供一种晶圆夹持装置，包括安装托盘、承载台和传动装置，承载台上放置有晶圆，传动装置能够带动承载台旋转，从而实现晶圆的旋转；且安装托盘上设置有限位传感器，承载台上设置有感应板，限位传感器与感应板配合作用，从而能够将晶圆准确旋转到目标位置。本实用新型专利技术提供的晶圆夹持装置不仅具有夹持功能，还具有旋转功能，且无需另外加装晶圆矫正机构即可实现将晶圆旋转至目标位置，提高了操作的精确度，降低了生产成本，显著提高了生产效率。效率。效率。

【技术实现步骤摘要】
一种晶圆夹持装置


[0001]本技术涉及晶圆制造
，具体的，涉及一种晶圆夹持装置。

技术介绍

[0002]在晶圆制造过程中，常常用到晶圆夹持装置，现有技术中的晶圆夹持装置功能单一，仅有夹持功能。若要调整晶圆方向，需要人工手动调整或者另外加装晶圆矫正机构进行调整，但手动调整的准确度较低，加装晶圆矫正机构一方面增加了生产成本，另一方面也增加了晶圆的拾取时间，导致效率降低。

技术实现思路

[0003]鉴于以上所述现有技术的缺点，本技术提供一种晶圆夹持装置，包括安装托盘、承载台和传动装置，承载台上放置有晶圆，传动装置能够带动承载台旋转，从而实现晶圆的旋转；且安装托盘上设置有限位传感器，承载台上设置有感应板，限位传感器与感应板配合作用，从而能够将晶圆准确旋转到目标位置。本技术提供的晶圆夹持装置不仅具有夹持功能，还具有旋转功能，且无需另外加装晶圆矫正机构即可实现将晶圆旋转至目标位置，提高了操作的精确度，降低了生产成本，显著提高了生产效率。
[0004]为实现上述目的及其他相关目的，本技术提供一种晶圆夹持装置，包括：
[0005]安装托盘，所述安装托盘具有一安装面，所述安装面的一中间区域设置有凹槽；
[0006]承载台，位于所述安装托盘上方与所述凹槽对应设置，并且所述承载台以相对所述安装托盘绕一轴线可转动的方式固定在所述安装托盘上；
[0007]传动装置，固定于所述安装托盘的所述安装面，位于远离所述凹槽的所述安装面的伸出端，所述传动装置用于带动所述承载台相对所述安装盘转动。
>[0008]可选的，所述承载台还包括：
[0009]承载盘，所述承载盘用于承载晶圆蓝膜盘；
[0010]导向盘，位于所述安装托盘与所述承载盘之间，并且与所述承载盘固定连接，以在所述承载台旋转过程中对所述承载台进行限位。
[0011]可选的，还包括多个导轮，所述导轮固定于所述安装托盘的安装面，且沿所述凹槽的外边缘均匀分布，多个所述导轮与所述导向盘相互配合以在所述承载台旋转过程中对所述导向盘进行限位。
[0012]可选的，所述导轮的数量至少为三个。
[0013]可选的，所述传动装置包括马达、皮带轮以及正时皮带，其中，所述马达用于驱动所述正时皮带运动，所述皮带轮用于定位所述正时皮带使所述正时皮带与所述承载台的至少部分侧壁接触，以带动所述承载台转动。
[0014]可选的，还包括限位传感器，所述限位传感器固定在所述安装盘的安装面上，并且靠近所述承载台的边缘设置，所述限位传感器用于限定所述晶圆蓝膜盘的转动范围。
[0015]可选的，所述限位传感器包括第一限位传感器和第二限位传感器，所述第一限位
传感器与所述承载台圆心的连线形成第一边，所述第二限位传感器与所述承载台圆心的连线形成第二边，所述第一边与所述第二边形成的夹角为第一夹角α1。
[0016]可选的，还包括感应板，所述感应板安装在所述承载盘的边缘，并且与所述限位传感器对应设置，所述感应板用于感应所述晶圆蓝膜盘的转动。
[0017]可选的，所述感应板包括第一感应板和第二感应板，其中，所述第一感应板与所述第一限位传感器对应设置，所述第二感应板与所述第二限位传感器对应设置；所述第一感应板与所述承载台圆心的连线形成第三边，所述第二感应板与所述承载台圆心的连线形成第四边，所述第三边与所述第四边形成的夹角为第二夹角α2。
[0018]可选的，所述第一夹角α1大于所述第二夹角α2，且所述第一边与所述第三边形成的夹角等于所述第二边与所述第四边形成的夹角，均介于10
°
至20
°
。
[0019]本技术提供的晶圆夹持装置，至少具有以下有益效果：
[0020]本技术提供的晶圆夹持装置包括安装托盘、承载台和传动装置，承载台上放置有晶圆，传动装置能够带动承载台旋转，从而实现晶圆的旋转；且安装托盘上设置有限位传感器，承载台上设置有感应板，限位传感器与感应板配合作用，从而能够将晶圆准确旋转到目标位置。本技术提供的晶圆夹持装置不仅具有夹持功能，还具有旋转功能，且无需另外加装晶圆矫正机构即可实现将晶圆旋转至目标位置，提高了操作的精确度，降低了生产成本，显著提高了生产效率。
附图说明
[0021]图1显示为实施例提供的晶圆夹持装置的结构示意图。
[0022]图2显示为实施例提供的晶圆夹持装置的正视图。
[0023]图3显示为晶圆夹持装置中安装托盘的结构示意图。
[0024]图4显示为晶圆夹持装置中承载台的结构示意图。
[0025]图5显示为实施例提供的晶圆夹持装置的俯视图。
[0026]元件标号说明
[0027]10
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安装托盘
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31
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马达
[0028]100
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安装面
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32
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皮带轮
[0029]101
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凹槽
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33
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正时皮带
[0030]102
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伸出端
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40
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导轮
[0031]20
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承载台
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51
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第一限位传感器
[0032]21
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承载盘
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52
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第二限位传感器
[0033]22
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导向盘
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第一感应板
[0034]211
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凸台
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62
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第二感应板
[0035]212
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缺口
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71
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第一边
[0036]213
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夹紧装置
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第二边
[0037]2131
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固定件
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【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种晶圆夹持装置，其特征在于，包括：安装托盘，所述安装托盘具有一安装面，所述安装面的一中间区域设置有凹槽；承载台，位于所述安装托盘上方与所述凹槽对应设置，并且所述承载台以相对所述安装托盘绕一轴线可转动的方式固定在所述安装托盘上；传动装置，固定于所述安装托盘的所述安装面，位于远离所述凹槽的所述安装面的伸出端，所述传动装置用于带动所述承载台相对所述安装托盘转动。2.根据权利要求1所述的晶圆夹持装置，其特征在于，所述承载台还包括：承载盘，所述承载盘用于承载晶圆蓝膜盘；导向盘，位于所述安装托盘与所述承载盘之间，并且与所述承载盘固定连接，以在所述承载台旋转过程中对所述承载台进行限位。3.根据权利要求2所述的晶圆夹持装置，其特征在于，还包括多个导轮，所述导轮固定于所述安装托盘的安装面，且沿所述凹槽的外边缘均匀分布，多个所述导轮与所述导向盘相互配合以在所述承载台旋转过程中对所述导向盘进行限位。4.根据权利要求3所述的晶圆夹持装置，其特征在于，所述导轮的数量至少为三个。5.根据权利要求1所述的晶圆夹持装置，其特征在于，所述传动装置包括马达、皮带轮以及正时皮带，其中，所述马达用于驱动所述正时皮带运动，所述皮带轮用于定位所述正时皮带使所述正时皮带与所述承载台的至少部分侧壁接触，以带动所述承载台转动。6.根据权利要求2所述的晶圆夹持装置，其特征...

【专利技术属性】
技术研发人员：樊敬闽，
申请(专利权)人：斯微迪上海精密设备有限公司，
类型：新型
国别省市：