单晶炉及单晶生长系统技术方案

本实用新型专利技术涉及单晶硅生产技术领域，提供一种单晶炉及单晶生长系统。其中，单晶炉，包括：炉体，侧壁设有加料口；坩埚，设置在炉体的内部；保温组件，设置在坩埚的上方，保温组件为环状结构，保温组件包括固定部和转动部，固定部与加料口相对的位置设有贯通孔，转动部绕环状结构的中心可转动地与固定部连接，用于启闭贯通孔；驱动机构，设置在炉体上并与转动部连接，用于驱动转动部转动。如此设置，可通过驱动机构驱动转动部转动的方式，启闭保温组件上的贯通孔，在加料过程中，驱动机构驱动转动部开启贯通孔，在加料完毕后，驱动机构驱动转动关闭贯通孔，使保温组件形成完整的保温结构，不会产生漏热的问题。会产生漏热的问题。会产生漏热的问题。

【技术实现步骤摘要】
单晶炉及单晶生长系统


[0001]本技术涉及单晶硅生产
，尤其涉及一种单晶炉及单晶生长系统。

技术介绍

[0002]直拉法生长单晶硅是目前单晶硅生产最广泛的应用技术。在生产单晶硅的过程中，需定期向单晶炉内的坩埚内加入硅料，以满足拉晶过程中的需要。
[0003]单晶炉通常包括炉体、坩埚和保温层，坩埚和保温层设置在炉体内部。炉体的侧壁上设有加料口，以供加料装置伸入并向炉体内的坩埚加料。保温层的数量为多个，多个保温层沿单晶炉的高度方向依次排布。其中设置在坩埚上方的保温层与加料口相对的位置设有贯通孔，以供加料装置穿过。在拉晶过程中，保温层上的贯通孔会产生漏热的问题，导致单晶炉的功耗增加。

技术实现思路

[0004]本技术提供一种单晶炉及单晶生长系统，用以解决现有技术中的单晶炉在拉晶过程中，保温层上的贯通孔会产生漏热，导致单晶炉的功耗增加的缺陷，实现避免拉晶过程中保温层的贯通孔漏热的效果。
[0005]本技术提供一种单晶炉，包括：
[0006]炉体，侧壁设有加料口；
[0007]坩埚，设置在所述炉体的内部；
[0008]保温组件，设置在所述坩埚的上方，所述保温组件为环状结构，所述保温组件包括固定部和转动部，所述固定部与所述加料口相对的位置设有贯通孔，所述转动部绕所述环状结构的中心可转动地与所述固定部连接，用于启闭所述贯通孔；
[0009]驱动机构，设置在所述炉体上并与所述转动部连接，用于驱动所述转动部转动。
[0010]根据本技术提供的一种单晶炉，所述固定部和所述转动部均为半环形结构，所述固定部的两端分别与所述转动部的两端连接，所述固定部和所述转动部围成所述环状结构，在连接位置处，所述固定部和所述转动部中的一者设有插接块，另一者设有供所述插接块置入的插接槽，所述贯通孔设置在所述固定部与所述转动部连接的位置处。
[0011]根据本技术提供的一种单晶炉，保温组件还包括筒体结构，所述固定部和所述转动部均套装于所述筒体结构的外部，所述筒体结构与所述贯通孔相对的位置设有避让孔。
[0012]根据本技术提供的一种单晶炉，所述固定部和所述转动部均为环状结构，所述转动部套装于所述固定部的外侧，所述转动部上设有连接孔，用于与所述贯通孔相互连通或相互错开。
[0013]根据本技术提供的一种单晶炉，所述驱动机构包括动力组件、主动齿轮和弧形齿条，所述弧形齿条安装于所述转动部上，所述动力组件安装于所述炉体上并与所述主动齿轮连接，用于驱动所述主动齿轮转动，所述主动齿轮与所述弧形齿条相啮合。
[0014]根据本技术提供的一种单晶炉，所述驱动机构还包括传动轴，所述传动轴的一端伸入所述炉体内，用于安装所述主动齿轮，所述传动轴的另一端伸出所述炉体外，所述动力组件设置在所述炉体外并与所述传动轴连接，用于驱动所述传动轴转动。
[0015]根据本技术提供的一种单晶炉，所述传动轴与所述炉体之间设有密封结构。
[0016]根据本技术提供的一种单晶炉，所述驱动机构包括动力组件、蜗杆和蜗轮轮缘，所述蜗轮轮缘安装在所述转动部上，所述蜗杆与蜗轮轮缘相啮合，所述动力组件安装于炉体上并与所述蜗杆连接，用于驱动所述蜗杆转动。
[0017]根据本技术提供的一种单晶炉，所述动力组件设置在所述炉体的外部，所述蜗杆的伸出所述炉体外与所述动力组件连接。
[0018]本技术还提供一种单晶生长系统，包括加料装置和如上所述的单晶炉，所述加料装置包括可伸缩的导料管，所述导料管用于伸入所述加料口。
[0019]本技术提供的单晶炉，在拉晶结束后，将加料装置与炉体上的加料口连接，加料口的阀门开启。通过驱动机构驱动转动部转动，使转动部打开贯通孔。加料装置的导料管依次经过加料口和贯通孔伸入到坩埚的上方，执行加料动作。加料结束后，导料管回退至加料装置内，驱动机构驱动转动部反向转动，使转动部关闭贯通孔，以使保温组件形成密闭保温结构，避免拉晶过程中，热量从贯通孔散失。最后，加料口的阀门关闭，继续执行拉晶动作。
[0020]如此设置，可通过驱动机构驱动转动部转动的方式，启闭保温组件上的贯通孔，在加料过程中，驱动机构驱动转动部开启贯通孔，在加料完毕后，驱动机构驱动转动关闭贯通孔，使保温组件形成完整的保温结构，不会产生漏热的问题。
[0021]同时，在加料结束后，驱动机构可以立即驱动转动部将贯通孔关闭，能够有效保证热场温度均匀性，降低功率损耗。
[0022]本技术提供的单晶生长系统，由于包含了本技术中的单晶炉，因此同时包含了单晶炉的上述所有优点。
附图说明
[0023]为了更清楚地说明本技术或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图是本技术的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
[0024]图1是本技术实施例中提供的单晶炉的结构示意图；
[0025]图2是本技术实施例中提供的第一种保温组件的结构示意图；
[0026]图3是图2所示保温组件的爆炸图；
[0027]图4是本技术实施例中提供的第二种保温组件的结构示意图；
[0028]图5是本技术实施例中提供的单晶生长系统的结构示意图；
[0029]图6是本技术实施例中提供的加料装置的结构示意图。
[0030]附图标记：
[0031]1、炉体；2、坩埚；3、固定部；4、转动部；5、贯通孔；6、插接块；7、插接槽；8、筒体结构；9、避让孔；10、连接孔；11、动力组件；12、主动齿轮；13、弧形齿条；14、传动轴；15、加料装
置；16、导料管；17、机壳；18、料仓；19、振动器；20、保温组件；21、平移驱动机构。
具体实施方式
[0032]为使本技术的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合本技术中的附图，对本技术中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。
[0033]现有技术中的单晶炉，通常包括炉体、坩埚和保温层，坩埚和保温层设置在炉体内部。炉体的侧壁上设有加料口，以供加料装置伸入并向炉体内的坩埚加料。保温层的数量为多个，多个保温层沿单晶炉的高度方向依次排布。其中设置在坩埚上方的保温层与加料口相对的位置设有贯通孔，以供加料装置穿过。在拉晶过程中，保温层上的贯通孔会产生漏热的问题，导致单晶炉的功耗增加。为了解决拉晶过程中，保温层的贯通孔会漏热的问题，本技术实施例中提供一种单晶炉和单晶生长系统。
[0034]下面结合图1至图6描述本技术的实施例中提供的单晶炉。
[0035]具体来说，单晶炉包括炉本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种单晶炉，其特征在于，包括：炉体(1)，侧壁设有加料口；坩埚(2)，设置在所述炉体(1)的内部；保温组件(20)，设置在所述坩埚(2)的上方，所述保温组件(20)为环状结构，所述保温组件(20)包括固定部(3)和转动部(4)，所述固定部(3)与所述加料口相对的位置设有贯通孔(5)，所述转动部(4)绕所述环状结构的中心可转动地与所述固定部(3)连接，用于启闭所述贯通孔(5)；驱动机构，设置在所述炉体(1)上并与所述转动部(4)连接，用于驱动所述转动部(4)转动。2.根据权利要求1所述的单晶炉，其特征在于，所述固定部(3)和所述转动部(4)均为半环形结构，所述固定部(3)的两端分别与所述转动部(4)的两端连接，所述固定部(3)和所述转动部(4)围成所述环状结构，在连接位置处，所述固定部(3)和所述转动部(4)中的一者设有插接块(6)，另一者设有供所述插接块(6)置入的插接槽(7)，所述贯通孔(5)设置在所述固定部(3)与所述转动部(4)连接的位置处。3.根据权利要求2所述的单晶炉，其特征在于，保温组件(20)还包括筒体结构(8)，所述固定部(3)和所述转动部(4)均套装于所述筒体结构(8)的外部，所述筒体结构(8)与所述贯通孔(5)相对的位置设有避让孔(9)。4.根据权利要求1所述的单晶炉，其特征在于，所述固定部(3)和所述转动部(4)均为环状结构，所述转动部(4)套装于所述固定部(3)的外侧，所述转动部(4)上设有连接孔(10)，用于与所述贯通孔(5)相互连通或相互错开。5.根据权利要求1
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4任...

【专利技术属性】
技术研发人员：石鹏飞，
申请(专利权)人：三一集团有限公司，
类型：新型
国别省市：