坩埚托杆和单晶炉制造技术

本实用新型专利技术涉及一种坩埚托杆和单晶炉。坩埚托杆包括托盘，托杆轴和第一固定件；托杆轴包括第一连接段，托盘套设在第一连接段上，托杆轴的轴向与托盘垂直设置；第一连接段上面向托盘的侧面设有第一凹槽，托盘上面向第一连接段的侧面设有第二凹槽，第一凹槽与第二凹槽相对设置，第一凹槽与第二凹槽组成第一安装孔，第一凹槽的宽度方向沿第一连接段的周向设置，第一凹槽上面向第二凹槽的一侧设有第一开口，第一开口的宽度小于第一凹槽的最大宽度，第一固定件的形状与第一安装孔的形状相适应，第一固定件能够沿托杆轴的轴向插入第一安装孔中。因此能够避免拆卸过程中第一固定件脱落丢失，导致需要更换整个坩埚托杆，有效节约运行维护成本。成本。成本。

【技术实现步骤摘要】
坩埚托杆和单晶炉


[0001]本技术涉及单晶硅制造设备
，特别是涉及坩埚托杆和单晶炉。

技术介绍

[0002]随着太阳能光伏行业的飞速发展，对太阳能电池的质量及成本提出了新的要求。单晶硅是一种制备太阳能电池的主要材料，具有较高的光电转换效率。
[0003]单晶硅主要采用直拉单晶制造法生成，单晶炉是这种生产工艺的主要设备。单晶炉包括用于容纳硅块的坩埚和用于支撑、旋转坩埚的坩埚托杆。在生产单晶硅的过程中，首先将硅块放置在坩埚中，在单晶炉内加温融化，然后将棒状籽晶浸入液体中。在合适的温度下，液体中的硅原子会在固液交界面上形成规则的结晶，成为单晶体。然后通过坩埚托杆带动坩埚升降、旋转，使得棒状籽晶旋转向上提升，液体中的硅原子就会在前面形成的单晶体上继续结晶，形成单晶硅锭。
[0004]坩埚托杆包括相互连接的托盘和托杆轴，托盘用于与坩埚连接，托杆轴用于与驱动装置连接，驱动装置通过坩埚托杆驱动坩埚旋转、升降运动。对于可拆卸连接的托盘和托杆轴，在连接、拆卸托盘和托杆轴时，容易发生配件丢失的情况。

技术实现思路

[0005]基于此，有必要针对托盘和托杆轴的安装拆卸问题，提供一种坩埚托杆和单晶炉。
[0006]一种坩埚托杆，包括：
[0007]托盘，所述托盘用于与坩埚连接；
[0008]托杆轴，所述托杆轴包括第一连接段，所述托盘套设在所述第一连接段上，所述托杆轴的轴向与所述托盘垂直设置，所述托杆轴用于与驱动装置连接，所述驱动装置能够带动所述托杆轴沿其轴向上下移动或旋转运动；r/>[0009]第一固定件，所述第一连接段上面向所述托盘的侧面设有第一凹槽，所述托盘上面向所述第一连接段的侧面设有第二凹槽，所述第一凹槽与所述第二凹槽相对设置，所述第一凹槽与所述第二凹槽组成第一安装孔，所述第一凹槽的宽度方向沿所述第一连接段的周向设置，所述第一凹槽上面向所述第二凹槽的一侧设有第一开口，所述第一开口的宽度小于所述第一凹槽的最大宽度，所述第一固定件的形状与所述第一安装孔的形状相适应，所述第一固定件能够沿所述托杆轴的轴向插入所述第一安装孔中。
[0010]上述的坩埚托杆，托盘和托杆轴通过第一固定件连接，使得托盘和托杆轴在径向上的相对位置保持不变，从而驱动装置可以通过坩埚托杆带动坩埚沿其轴向上下移动或旋转运动。在安装托杆轴与托盘时，可以先将托盘套设在托杆轴上，再将第一固定件插入第一安装孔中。在拆卸托杆轴和托盘时，先将托盘从托杆轴上取出，再将第一固定件沿托杆轴的轴向取出。由于第一开口的宽度小于第一凹槽的最大宽度，第一固定件的形状与所述第一安装孔的形状相适应，托盘取出后第一固定件的部分可以卡接在第一凹槽中，第一固定件不会沿托杆轴的径向脱离第一连接段，只能沿托杆轴的轴向取出。因此能够避免坩埚托杆
拆卸过程中第一固定件脱落丢失，导致需要更换整个坩埚托杆，有效节约运行维护成本。
[0011]在其中一个实施例中，所述第一凹槽为圆柱形凹槽，所述第一凹槽的轴向与所述托杆轴的轴向平行设置，所述第一凹槽垂直于所述托杆轴轴向的截面形状为缺口圆形，所述第一开口的宽度小于所述第一凹槽的直径。
[0012]在其中一个实施例中，所述第二凹槽的轴向与所述托杆轴的轴向平行设置，所述第二凹槽垂直于所述托杆轴轴向的截面形状为方形，所述第二凹槽的宽度方向沿所述托盘的周向设置，所述第二凹槽的宽度与所述第一开口的宽度相等。
[0013]在其中一个实施例中，所述托盘面向所述坩埚的端面上设有第三凹槽，所述第三凹槽用于与所述坩埚的底部配合连接，所述第一安装孔设于所述第三凹槽的底壁。
[0014]在其中一个实施例中，所述坩埚托杆还包括第二固定件，所述托杆轴上面向所述托盘的端面设有第一通孔，所述托杆轴内部设有第二安装孔，所述第一通孔与所述第二安装孔同轴连通，所述第二安装孔位于所述第一通孔远离所述托盘的一侧，所述第二固定件通过所述第一通孔进入所述第二安装孔中，且穿过所述第二安装孔与所述驱动装置连接。
[0015]在其中一个实施例中，所述托杆轴的侧壁上设有与外部连通的透气孔，所述透气孔与所述第一通孔连通，所述第一通孔内设有保温件。
[0016]在其中一个实施例中，所述托杆轴还包括第二连接段，所述第一连接段上远离所述托盘的一端与所述第二连接段连接，所述第二连接段的直径大于所述第一连接段的直径，所述第一通孔位于所述第一连接段和所述第二连接段内。
[0017]在其中一个实施例中，所述托杆轴还包括第三连接段，所述第二连接段上远离所述第一连接段的一端与所述第三连接段连接，所述第二安装孔设置在所述第三连接段内，所述第三连接段的外径沿远离所述第二连接段的方向逐渐变小，形成锥形连接段，所述第三连接段用于与所述驱动装置配合连接。
[0018]在其中一个实施例中，所述第一连接段与所述托盘螺纹连接。
[0019]一种单晶炉，包括坩埚、驱动装置和所述的坩埚托杆，所述坩埚托杆的托盘与所述坩埚连接，所述坩埚托杆的托杆轴与所述驱动装置连接。
[0020]上述的单晶炉，包括坩埚，驱动装置和坩埚托杆。其中托盘和托杆轴通过第一固定件连接，使得托盘和托杆轴在径向上的相对位置保持不变，从而驱动装置可以通过坩埚托杆带动坩埚沿其轴向上下移动或旋转运动。在安装托杆轴与托盘时，可以先将托盘套设在托杆轴上，再将第一固定件插入第一安装孔中。在拆卸托杆轴和托盘时，先将托盘从托杆轴上取出，再将第一固定件沿托杆轴的轴向取出。由于第一开口的宽度小于第一凹槽的最大宽度，第一固定件的形状与所述第一安装孔的形状相适应，托盘取出后第一固定件的部分可以卡接在第一凹槽中，第一固定件不会沿托杆轴的径向脱离第一连接段，只能沿托杆轴的轴向取出。因此能够避免坩埚托杆拆卸过程中第一固定件脱落丢失，导致需要更换整个坩埚托杆，有效节约运行维护成本。
附图说明
[0021]图1为一实施例中坩埚托杆的结构示意图；
[0022]图2为一实施例中坩埚托杆的剖视图；
[0023]图3为一实施例中托杆轴的剖视图；
[0024]图4为一实施例中托杆轴的俯视图；
[0025]图5为一实施例中托盘的俯视图；
[0026]图6为一实施例中托杆轴的局部放大图；
[0027]图7为一实施例中托盘的局部放大图；
[0028]图8为一实施例中第一固定件的结构示意图；
[0029]图9为一实施例中单晶炉的结构示意图。
[0030]附图标号：100、单晶炉；10、坩埚；20、坩埚托杆；21、托盘；22、托杆轴；221、第一连接段；222、第二连接段；223、第三连接段；224、第一通孔； 225、第二安装孔；226、透气孔；23、第一固定件；24、第一安装孔；241、第一凹槽；242、第二凹槽；25、第三凹槽；30、加热件；40、加热支撑件；50、保温筒；60、导流筒；70、压片。
具体实施方式
[0031]为使本技术的上述目的、特征和优点能够更加明显易懂，下面结合附图对本技术的具体本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种坩埚托杆，其特征在于，包括：托盘，所述托盘用于与坩埚连接；托杆轴，所述托杆轴包括第一连接段，所述托盘套设在所述第一连接段上，所述托杆轴的轴向与所述托盘垂直设置，所述托杆轴用于与驱动装置连接，所述驱动装置能够带动所述托杆轴沿其轴向上下移动或旋转运动；第一固定件，所述第一连接段上面向所述托盘的侧面设有第一凹槽，所述托盘上面向所述第一连接段的侧面设有第二凹槽，所述第一凹槽与所述第二凹槽相对设置，所述第一凹槽与所述第二凹槽组成第一安装孔，所述第一凹槽的宽度方向沿所述第一连接段的周向设置，所述第一凹槽上面向所述第二凹槽的一侧设有第一开口，所述第一开口的宽度小于所述第一凹槽的最大宽度，所述第一固定件的形状与所述第一安装孔的形状相适应，所述第一固定件能够沿所述托杆轴的轴向插入所述第一安装孔中。2.根据权利要求1所述的坩埚托杆，其特征在于，所述第一凹槽的轴向与所述托杆轴的轴向平行设置，所述第一凹槽垂直于所述托杆轴轴向的截面形状为缺口圆形，所述第一开口的宽度小于所述第一凹槽的直径。3.根据权利要求2所述的坩埚托杆，其特征在于，所述第二凹槽的轴向与所述托杆轴的轴向平行设置，所述第二凹槽垂直于所述托杆轴轴向的截面形状为方形，所述第二凹槽的宽度方向沿所述托盘的周向设置，所述第二凹槽的宽度与所述第一开口的宽度相等。4.根据权利要求1所述的坩埚托杆，其特征在于，所述托盘面向所述坩埚的端面上设有第三凹槽，所述第三凹槽用于与所述坩埚的底部配合连接，所述第一安装孔设于所述第三凹槽的底壁。5.根据权利要...

【专利技术属性】
技术研发人员：廖寄乔，李军，姜捷，石磊，刘学文，王跃军，龚玉良，
申请(专利权)人：湖南金博碳素股份有限公司，
类型：新型
国别省市：