一种用于单晶硅拉晶高效生产设备制造技术

本实用新型专利技术公开了一种用于单晶硅拉晶高效生产设备，包括石墨坩埚炉体和氩气进口，所述石墨坩埚炉体内部两侧表面底端位置对称安装有保温层，所述保温层之间位于石墨坩埚炉体内部表面位置对称安装有加热器。本实用新型专利技术通过，采用了晶种夹，在实际使用过程中，装置采用多组晶种夹来对需要使用到的晶种进行夹持固定，使得装置一次性可以生产处多组单晶硅棒，相较于传统的生产形式来说，能够有效的提高整体的生产作业效率，降低了整体生产所需的时间，非常的人性化，能够从单工位作业根据需求选择是否进行多工位作业，提高了装置使用的灵活性，具有多工作加工、生产效率高的优点。生产效率高的优点。生产效率高的优点。

【技术实现步骤摘要】
一种用于单晶硅拉晶高效生产设备


[0001]本技术涉及半导体生产
，具体来说，涉及一种用于单晶硅拉晶高效生产设备。

技术介绍

[0002]单晶硅是大多数半导体元器件的基底材料，其中绝大多数的单晶硅都是利用拉晶炉通过直拉法制成的。在该方法中，通过将固态的多晶硅硅料放置在坩埚内并对坩埚进行加热使其中的多晶硅硅料融化，在直拉单晶硅棒过程中，首先让籽晶和熔融硅接触，使固液界面处的熔硅沿着籽晶冷却结晶，并通过缓慢拉出籽晶而生长单晶，缩颈完成之后通过降低拉速和/或熔体温度来放大晶体生长直径直至达到目标直径；转肩之后，通过控制拉速和熔体温度使晶体生长进入“等径生长”阶段；最后，通过增大拉速和提高熔体温度使晶体生长面的直径逐步减小形成尾锥，直至最后晶体离开熔体表面，即完成了单晶硅棒的生长。
[0003]现有公开技术中公开号为：CN213835621U一种用于拉制单晶硅棒的拉晶炉，所述拉晶炉可以包括：限定出炉腔的炉壁；位于所述炉腔内并用于容纳熔融硅的坩埚，其中，所述坩埚在拉晶过程中升起以使所述熔融硅的液面处于固定的水平高度处；设置在所述坩埚的径向外本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种用于单晶硅拉晶高效生产设备，包括石墨坩埚炉体(1)和氩气进口(9)，其特征在于，所述石墨坩埚炉体(1)内部两侧表面底端位置对称安装有保温层(2)，所述保温层(2)之间位于石墨坩埚炉体(1)内部表面位置对称安装有加热器(3)，所述加热器(3)之间位于石墨坩埚炉体(1)内部底端表面位置滑动连接有石英坩埚(22)，所述石英坩埚(22)内部位置装载有熔融硅，所述石英坩埚(22)上方位于石墨坩埚炉体(1)内部一侧表面中间位置对称安装有导流筒(14)，所述导流筒(14)顶部表面位置对称倾斜安装有引流板(13)，所述引流板(13)以及导流筒(14)表面位置均匀设有若干组喷气环(11)，所述喷气环(11)内部表面位置均匀环绕安装有若干组氩气喷头(12)，所述引流板(13)以及导流筒(14)之间位于石墨坩埚炉体(1)内部中间位置对称安装有限制杆(10)，所述限制杆(10)外周滑动连接有承载座(15)，所述承载座(15)内部均匀顶端表面位置均匀设有若干组防护隔板(4)，所述防护隔板(4)之间位于承载座(15)内部位置设有拉晶腔(20)，所述拉晶腔(20)内部顶端表面位置对称安装有微型液压杆(6)，所述微型液压杆(6)一端连接有移动板(17)，所述移动板(17)底部表面位置均匀设有若干组晶种夹(21)，所述晶种夹(21)之间夹持有晶种(19)。2.根据权利要求1所述的一种用于单晶硅拉晶高效生产设备...

【专利技术属性】
技术研发人员：门长友，吕国强，马文会，赵亮，
申请(专利权)人：曲靖阳光新能源股份有限公司，
类型：新型
国别省市：