真空设备制造技术

本实用新型专利技术公开一种真空设备，包括设备本体，设备本体设有真空泵组，设备本体具有第一真空腔室和第二真空腔室，第一真空腔室和第二真空腔室通过第一连接管分别与两个真空泵组连接，用于抽出第一真空腔室和第二真空腔室内的气体，两个第一连接管之间设有第二连接管，两个第一连接管通过第二连接管连通，以使每个真空泵组均能对第一真空腔室和第二真空腔室进行抽真空。本实用新型专利技术真空设备的每个真空泵组通过第一连接管能与其中一个真空腔室连通，通过第一连接管和第二连接管与另一个真空腔室连通，当第一真空腔室或第二真空腔室进行抽真空时，两个真空泵组能够同时对第一真空腔室或第二真空腔室通过抽真空，从而提高每个真空腔室抽真空的效率。腔室抽真空的效率。腔室抽真空的效率。

【技术实现步骤摘要】
真空设备


[0001]本技术涉及显示装置制造
，尤其涉及一种真空设备。

技术介绍

[0002]在显示装置的制造过程中，其玻璃面板需要使用真空设备进行蒸镀，真空设备内具有真空腔室，玻璃面板能够从大气环境进入到真空腔室内进行镀膜。如图1所示，为了提高生产效率，真空设备通常设置有第一真空腔室1
′
和第二真空腔室2
′
，第一真空腔室1
′
和第二真空腔室2
′
均设置有真空泵组3
′
，两个真空泵组3
′
通过两个独立的管道4
′
分别与第一真空腔室1
′
和第二真空腔室2
′
连接，以分别对第一真空腔室1
′
和第二真空腔室2
′
进行抽真空。但真空设备具有以下缺陷：两个真空泵组3
′
之间独立工作，每个真空泵组3
′
只能对其中一个真空腔室进行抽真空，抽真空的时间长，而且其中一个真空泵组3
′
的真空泵出现故障时，需要进行停机维护，花费大量时间。

技术实现思路

[0003]本技术的目的在于：提供一种真空设备，其结构简单，能够提高真空腔室的抽真空效率，且无需停机维护。
[0004]为达上述目的，本技术采用以下技术方案：
[0005]提供一种真空设备，包括设备本体，所述设备本体设置有真空泵组，真空泵组，所述设备本体具有第一真空腔室和第二真空腔室，所述第一真空腔室和所述第二真空腔室通过第一连接管分别与两个所述真空泵组连接，用于抽出所述第一真空腔室和所述第二真空腔室内的气体，两个所述第一连接管之间设置有第二连接管，两个所述第一连接管通过第二连接管连通，以使每个所述真空泵组均能对所述第一真空腔室和所述第二真空腔室进行抽真空。
[0006]作为真空设备的一种优选方案，所述第一连接管的内壁具有螺纹结构，且所述第一连接管的管径沿抽气方向逐渐减小。
[0007]作为真空设备的一种优选方案，所述第一连接管和所述第二连接管的外侧壁均设置有冷却组件，用于冷却进入所述第一连接管和所述第二连接管内的气体。
[0008]作为真空设备的一种优选方案，两个所述第一连接管上均设置有控制阀，其中一个所述控制阀位于所述第二连接管和所述第一真空腔室之间，另一个所述控制阀位于所述第二连接管和所述第二真空腔室之间。
[0009]作为真空设备的一种优选方案，所述真空泵组包括真空泵，所述真空泵设置有消音组件。
[0010]作为真空设备的一种优选方案，所述消音组件包括壳体，所述壳体设置有安装腔，所述真空泵设置在所述安装腔内，所述壳体的内壁设置有真空腔，所述真空腔内填充有第一隔音层。
[0011]作为真空设备的一种优选方案，所述壳体的侧壁上贯穿设置有通孔，所述第一连
接管能够穿过所述通孔与所述真空泵连接，所述通孔和所述第一连接管之间密封设置有套筒，所述套筒与所述第一连接管之间设置有第二隔音层。
[0012]作为真空设备的一种优选方案，所述消音组件还包括底座，所述真空泵设置在所述底座上，所述底座和所述安装腔的腔底之间设置有多个缓冲件。
[0013]作为真空设备的一种优选方案，所述底座朝向所述真空泵的一侧上设置有缓冲垫。
[0014]作为真空设备的一种优选方案，所述底座包括本体和伸缩杆，所述本体通过所述伸缩杆固定在所述安装腔的腔底上。
[0015]本技术的有益效果为：每个真空泵组通过第一连接管能够与其中一个真空腔室连通，还能够通过第一连接管和第二连接管与另一个真空腔室连通，当第一真空腔室或第二真空腔室需要进行抽真空时，两个真空泵组能够同时对第一真空腔室或第二真空腔室通过抽真空。通过设置第二连接管将两个独立工作的真空泵组连接形成一个整体，在不增加新的真空泵组下，能够增加每个真空腔室在抽真空时同时工作的真空泵组数量，以提高每个真空腔室抽真空的效率，缩短抽真空的等待时间。
附图说明
[0016]下面根据附图和实施例对本技术作进一步详细说明。
[0017]图1为现有技术中的第一真空腔室和第二真空腔室与真空泵组的连接示意图。
[0018]图2为本技术实施例的第一真空腔室和第二真空腔室与真空泵组的连接示意图。
[0019]图3为本技术实施例消音组件的剖视图。
[0020]图4为本技术实施例第一连接管的局部示意图。
[0021]图1中：
[0022]1′
、第一真空腔室；2
′
、第二真空腔室；3
′
、真空泵组；4
′
、管道；
[0023]图2至图4中：
[0024]100、设备本体；
[0025]1、真空泵组；11、真空泵；2、第一真空腔室；3、第二真空腔室；4、第一连接管；41、螺纹结构；5、第二连接管；6、控制阀；7、消音组件；71、壳体；711、安装腔；72、第一隔音层；73、套筒；74、第二隔音层；75、底座；751、本体；752、伸缩杆；76、缓冲件；77、缓冲垫。
具体实施方式
[0026]参考下面结合附图详细描述的实施例，本技术的优点和特征以及实现它们的方法将变得显而易见。然而，本技术不限于以下公开的实施例，而是可以以各种不同的形式来实现，提供本实施例仅仅是为了完成本技术的公开并且使本领域技术人员充分地了解本技术的范围，并且本技术仅由权利要求的范围限定。相同的附图标记在整个说明书中表示相同的构成要素。
[0027]以下，参照附图来详细描述本技术。
[0028]如图2所示，本技术提供的一种真空设备，包括设备本体100，设备本体100设置有真空泵组1，设备本体100具有第一真空腔室2和第二真空腔室3，第一真空腔室2和第二
真空腔室3通过两个第一连接管4分别与两个真空泵组1连接，用于抽出第一真空腔室2和第二真空腔室3内的气体，两个第一连接管4之间设置有第二连接管5，两个第一连接管4通过第二连接管5连通，以使每个真空泵组1均能对第一真空腔室2和第二真空腔室3进行抽真空。
[0029]可理解的，每个真空泵组1通过第一连接管4能够与其中一个真空腔室连通，还能够通过第一连接管4和第二连接管5与另一个真空腔室连通，当第一真空腔室2或第二真空腔室3需要进行抽真空时，两个真空泵组1能够同时对第一真空腔室2或第二真空腔室3通过抽真空。通过设置第二连接管5将两个独立工作的真空泵组1连接形成一个整体，在不增加新的真空泵组1下，能够增加每个真空腔室在抽真空时同时工作的真空泵组1的数量，以提高每个真空腔室抽真空的效率，缩短抽真空的等待时间。
[0030]具体地，每个真空泵组1均包括多个真空泵11。
[0031]在本实施例中，每个真空泵组1包括至少两个真空泵11，即每个真空腔室同时至少有四个真空泵11进行抽真空。经过实验本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种真空设备，包括设备本体，所述设备本体设置有真空泵组，所述设备本体具有第一真空腔室和第二真空腔室，所述第一真空腔室和所述第二真空腔室通过第一连接管分别与两个所述真空泵组连接，用于抽出所述第一真空腔室和所述第二真空腔室内的气体，其特征在于，两个所述第一连接管之间设置有第二连接管，两个所述第一连接管通过第二连接管连通，以使每个所述真空泵组均能对所述第一真空腔室和所述第二真空腔室进行抽真空。2.根据权利要求1所述的真空设备，其特征在于，所述第一连接管的内壁具有螺纹结构，且所述第一连接管的管径沿抽气方向逐渐减小。3.根据权利要求1所述的真空设备，其特征在于，所述第一连接管和所述第二连接管的外侧壁均设置有冷却组件，用于冷却进入所述第一连接管和所述第二连接管内的气体。4.根据权利要求1所述的真空设备，其特征在于，两个所述第一连接管上均设置有控制阀，其中一个所述控制阀位于所述第二连接管和所述第一真空腔室之间，另一个所述控制阀位于所述第二连接管和所述第二真空腔室之...

【专利技术属性】
技术研发人员：张建文，
申请(专利权)人：乐金显示光电科技中国有限公司，
类型：新型
国别省市：