用于生产硅氧材料的连续式设备制造技术

一种用于生产硅氧材料的连续式设备，包括一炉体、一沉积模块、一进料器及一推料组件。该炉体包括一加热腔室、一进料腔室及一残料腔室。该沉积模块相邻该加热腔室设置且包括一冷却夹套、一沉积装置及一真空抽气装置，该冷却夹套包括至少一开口，该沉积装置包括至少一沉积基板，该真空抽气装置与该冷却夹套的该开口连通。该进料器供一原料进入该进料腔室内。该推料组件被配置为将该原料从该进料腔室推抵至该加热腔室使得该原料被加热后升华在该沉积基板上形成一沉积物，且将该原料反应后的一残料从该加热腔室推抵至该残料腔室。残料从该加热腔室推抵至该残料腔室。残料从该加热腔室推抵至该残料腔室。

【技术实现步骤摘要】
用于生产硅氧材料的连续式设备


[0001]本技术涉及一种沉积设备，特别涉及一种用于生产硅氧材料的连续式设备。

技术介绍

[0002]硅氧材料是广泛运用于半导体产业的材料之一，其中一氧化硅是半导体元件的保护绝缘层以及陶瓷的重要原料，且一氧化硅也可应用于食品或药品的包装材料，而多孔硅材料因具有独特的光电特性而可运用于各个不同的领域，现有的沉积腔设备如中国台湾专利技术专利第TW I658002B号，提供沉积基板以沉积一氧化硅，也可见于中国台湾专利技术专利第TW I723730B号，揭示沉积镁蒸气并收集残留多孔硅材料。其他沉积腔设备亦可见于美国专利第US20070259113A1号揭示一氧化硅的制造方法。
[0003]然而，前述专利所揭示沉积腔设备无法连续地提供原料，也无法及时清除原料反应后的残料，因而造成沉积装置在完成单一批次的沉积后，需要中断作业，造成生产效率不佳的问题，因此如何改善沉积腔设备的沉积效率，且有效减少热场大小，降低设备成本，乃本领域所属技术人员欲解决的问题。

技术实现思路

[0004]本技术的目的是为了解决现有硅氧材料沉积设备的生产效率有待改善的问题。
[0005]为达上述目的，本技术提供一种用于生产硅氧材料的连续式设备，其包括：
[0006]一炉体，包括一加热腔室、一连通于该加热腔室的一第一侧的进料腔室以及一连通于该加热腔室的一第二侧的残料腔室，其中，该进料腔室与该加热腔室彼此平行地设置，该残料腔室设置于该加热腔室下方；
[0007]一沉积模块，相邻该加热腔室设置，该沉积模块包括：
[0008]一冷却夹套，相邻该加热腔室设置且与该加热腔室相连通，该冷却夹套定义出一第一空间，且该冷却夹套包括与该第一空间连通的至少一开口；
[0009]一沉积装置，包括至少一沉积基板，该沉积基板设置于该冷却夹套的该第一空间；以及
[0010]一真空抽气装置，与该冷却夹套的该开口连通；
[0011]一进料器，与该进料腔室相连通且配置为供一原料进入该进料腔室内；以及
[0012]一推料组件，能够活动地设置于该进料腔室的一侧壁，其中，该推料组件被配置为将该原料从该进料腔室推抵至该加热腔室使得该原料被加热后在该沉积基板上形成一沉积物，且将该原料反应后的一残料从该加热腔室推抵至该残料腔室。
[0013]上述的设备，其中还包括至少一挡板，该挡板设置于该第一空间之中且位于该冷却夹套的该开口与该沉积装置之间。
[0014]上述的设备，其中该沉积基板具有相对于一中心轴向朝该加热腔室倾斜的一内壁面，且该内壁面上形成有一非平坦结构。
[0015]上述的设备，其中该非平坦结构为多个设置于该内壁面上的凸点。
[0016]上述的设备，其中该炉体还包括一气体供应装置。
[0017]为达上述目的，本技术还提供一种用于生产硅氧材料的连续式设备，其包括：
[0018]一炉体，包括一加热腔室、一连通于该加热腔室的一第一侧的进料腔室以及一连通于该加热腔室的一第二侧的残料腔室，其中，该进料腔室与该加热腔室彼此平行地设置，该残料腔室设置于该加热腔室下方；
[0019]多个沉积模块，择一且能够替换地相邻该加热腔室设置，该沉积模块包括：
[0020]一冷却夹套，相邻该加热腔室设置且与该加热腔室相连通，该冷却夹套定义出一第一空间，且该冷却夹套包括与该第一空间连通的至少一开口；
[0021]一沉积装置，包括至少一沉积基板，该沉积基板设置于该冷却夹套的该第一空间；以及
[0022]一真空抽气装置，与该冷却夹套的该开口连通；
[0023]一进料器，与该进料腔室相连通且配置为供一原料进入该进料腔室内；以及
[0024]一推料组件，能够活动地设置于该进料腔室的一侧壁，其中，该推料组件被配置为将该原料从该进料腔室推抵至该加热腔室使得该原料被加热后在该沉积基板上形成一沉积物，且将该原料反应后的一残料从该加热腔室推抵至该残料腔室。
[0025]上述的设备，其中还包括至少一挡板，该挡板设置于该第一空间之中且位于该冷却夹套的该开口与该沉积装置之间。
[0026]上述的设备，其中该沉积基板具有相对于一中心轴向朝该加热腔室倾斜的一内壁面，且该内壁面上形成有一非平坦结构。
[0027]上述的设备，其中该非平坦结构为多个设置于该内壁面上的凸点。
[0028]上述的设备，其中该炉体还包括一气体供应装置。
[0029]据此，本技术的用于生产硅氧材料的连续式设备是利用该进料器以及该推料组件的设置，以连续地提供该原料至该加热腔室反应形成该沉积物并沉积在该沉积模块，又该沉积模块为可替换地相邻该炉体设置，可持续接收该原料反应后形成的沉积物。因此，本技术的用于生产硅氧材料的连续式设备可大幅地增加沉积效率，对相同的产出，热场可以更小，设备成本可以更低。
[0030]以下结合附图和具体实施例对本技术进行详细描述，但不作为对本技术的限定。
附图说明
[0031]图1，为本技术一实施例的结构示意图；
[0032]图2A及图2B，为本技术另一实施例的沉积模块替换示意图。
[0033]其中，附图标记
[0034]10：炉体
[0035]11：加热腔室
[0036]111：第一侧
[0037]112：第二侧
[0038]12：进料腔室
[0039]121：侧壁
[0040]13：残料腔室
[0041]131：排气管
[0042]14：加热器
[0043]15：气体供应装置
[0044]20、20a、20b：沉积模块
[0045]21：冷却夹套
[0046]211：第一空间
[0047]212：开口
[0048]213：冷却通道
[0049]213a：入口端
[0050]214：冷却装置
[0051]215：斜壁
[0052]22：沉积装置
[0053]221：沉积基板
[0054]222：内壁面
[0055]223：非平坦结构
[0056]23：真空抽气装置
[0057]24：挡板
[0058]30：进料器
[0059]31：储料腔
[0060]32：进料通道
[0061]33：挡止件
[0062]40：推料组件
[0063]91：原料
[0064]92：残料
[0065]93：沉积物
具体实施方式
[0066]本文所使用的术语仅是基于阐述特定实施例的目的而并非限制本技术。除非上下文另外指明，否则本文所用单数形式“一”及“该”也可能包括多个多种形式。
[0067]本文所使用的方向性用语，例如上、下、左、右、前、后及其衍生词或同义词，乃涉及附图中的元件的方位，并非限制本技术，除非上下文另本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种用于生产硅氧材料的连续式设备，其特征在于，包括：一炉体，包括一加热腔室、一连通于该加热腔室的一第一侧的进料腔室以及一连通于该加热腔室的一第二侧的残料腔室，其中，该进料腔室与该加热腔室彼此平行地设置，该残料腔室设置于该加热腔室下方；一沉积模块，相邻该加热腔室设置，该沉积模块包括：一冷却夹套，相邻该加热腔室设置且与该加热腔室相连通，该冷却夹套定义出一第一空间，且该冷却夹套包括与该第一空间连通的至少一开口；一沉积装置，包括至少一沉积基板，该沉积基板设置于该冷却夹套的该第一空间；以及一真空抽气装置，与该冷却夹套的该开口连通；一进料器，与该进料腔室相连通且配置为供一原料进入该进料腔室内；以及一推料组件，能够活动地设置于该进料腔室的一侧壁，其中，该推料组件被配置为将该原料从该进料腔室推抵至该加热腔室使得该原料被加热后在该沉积基板上形成一沉积物，且将该原料反应后的一残料从该加热腔室推抵至该残料腔室。2.根据权利要求1所述的设备，其特征在于，还包括至少一挡板，该挡板设置于该第一空间之中且位于该冷却夹套的该开口与该沉积装置之间。3.根据权利要求1所述的设备，其特征在于，该沉积基板具有相对于一中心轴向朝该加热腔室倾斜的一内壁面，且该内壁面上形成有一非平坦结构。4.根据权利要求3所述的设备，其特征在于，该非平坦结构为多个设置于该内壁面上的凸点。5.根据权利要求1所述的设备，其特征在于，该炉体还包括一气体供应装置。6.一种用于生产硅氧材料...

【专利技术属性】
技术研发人员：蓝崇文，邱玟溢，谢兆坤，谢兆翔，
申请(专利权)人：丰毅精密科技有限公司，
类型：新型
国别省市：