蒸发源制造技术

本实用新型专利技术公开一种蒸发源。根据一实施例的蒸发源包括：坩埚，容纳沉积材料；以及加热部，围绕所述坩埚的至少一部分。所述加热部包括：加热器，包括发热体以及位于所述发热体的两端的电极；盖体，围绕所述发热体；以及框架，固定有所述盖体。固定有所述盖体。固定有所述盖体。

【技术实现步骤摘要】
蒸发源


[0001]本技术涉及一种蒸发源及包括其的沉积装置。

技术介绍

[0002]作为显示图像的装置，使用发光显示装置。发光显示装置可以通过像素的组合表现图像，像素可以通过发光二极管实现。
[0003]发光二极管可以包括阳极(anode)、阴极(cathode)以及它们之间的发光层。发光二极管的发光层以及阴极可以通过使用沉积装置的沉积法形成。例如，可以是，在形成有预定的图案的掩模之上，整齐排列将形成发光层或阴极的基板，将发光层或阴极的材料通过掩模的图案，从而将符合掩模图案的发光层或阴极沉积于基板。

技术实现思路

[0004]沉积装置可以包括提供沉积材料的蒸发源，蒸发源可以包括用于加热沉积材料的加热器。加热器可以以高温，例如用于阴极的沉积的1300℃以上发热，由此在加热器等中产生烟气(fume)，烟气引起的导电膜可能形成于加热器或加热器周边。导电膜可能形成短路路径，可能发生由此引起的加热器的性能下降或在加热器中断线等。
[0005]实施例用于提供一种可以防止在加热器等中产生的烟气引起的短路的蒸发源及包括其的沉积装置。
[0006]根据一实施例的蒸发源包括：坩埚，容纳沉积材料；以及加热部，围绕所述坩埚的至少一部分。所述加热部包括：加热器，包括发热体以及位于所述发热体的两端的电极；盖体，围绕所述发热体；以及框架，固定有所述盖体。
[0007]可以是，所述盖体包括彼此结合的第一部分以及第二部分，可以是，所述发热体位于所述第一部分与所述第二部分之间。
[0008]可以是，所述第一部分以及所述第二部分分别在对应的位置包括孔，可以是，所述第一部分与所述第二部分通过贯通所述孔的紧固部件结合。
[0009]可以是，所述第一部分、所述第二部分以及所述紧固部件为绝缘体。
[0010]可以是，所述第一部分包括向所述第二部分侧凸出的第一凸出部，可以是，所述第二部分包括向所述第一部分侧凸出的第二凸出部。可以是，所述第二凸出部位于所述第一凸出部之上，可以是，所述第一凸出部以及所述第二凸出部形成彼此啮合的台阶结构。
[0011]可以是，所述第一部分位于所述框架与所述第二部分之间，可以是，所述框架以及所述第一部分分别在对应的位置包括孔。可以是，所述框架与所述盖体通过贯通所述孔的紧固部件结合。
[0012]可以是，所述第一部分的孔形成为不贯通所述第一部分。
[0013]可以是，所述框架以及所述紧固部件包含金属。
[0014]可以是，所述第一部分包括向所述框架侧凸出的凸出部，可以是，所述框架包括向所述第一部分侧凸出的凸出部。可以是，所述第一部分的凸出部位于所述框架的凸出部之
上，可以是，所述第一部分的凸出部以及所述框架的凸出部形成彼此啮合的台阶结构。
[0015]可以是，所述盖体包括主体以及与所述主体结合的盖子，可以是，所述主体包括从所述主体的上端向纵向方向延伸的凹槽。可以是，所述发热体容纳于所述凹槽。
[0016]可以是，所述盖子包括：横向部，沿着所述主体的横向方向延伸；以及纵向部，从所述横向部朝下延伸并插入于所述凹槽。
[0017]可以是，所述发热体包括向纵向方向延伸的部分，可以是，在所述凹槽内所述纵向部位于向所述纵向方向延伸的部分之间。
[0018]可以是，所述框架以及所述盖体分别在对应的位置包括孔，可以是，所述框架与所述盖体通过贯通所述孔的紧固部件结合。
[0019]可以是，所述紧固部件包括：插入件，插入于在所述盖体形成的孔；以及螺栓，通过形成于所述框架的孔而紧固于所述插入件。
[0020]根据一实施例的沉积装置，包括腔室以及位于所述腔室内的蒸发源。所述蒸发源包括：坩埚，容纳沉积材料；喷嘴部，覆盖所述坩埚的上方；以及加热部，围绕所述坩埚的至少一部分。所述加热部包括：加热器，包括发热体；盖体，围绕所述发热体；框架，固定有所述盖体；以及紧固部件，将所述盖体固定于所述框架。
[0021]可以是，所述盖体为板形。
[0022]可以是，所述盖体包括彼此结合的第一部分以及第二部分，可以是，所述发热体气密地位于所述第一部分与所述第二部分之间。
[0023]可以是，所述第一部分以及所述第二部分分别在对应的位置形成孔，可以是，所述第一部分与所述第二部分通过贯通所述孔的紧固部件结合。可以是，所述第一部分、所述第二部分以及所述紧固部件包含氮化硼。
[0024]可以是，所述盖体包括主体以及与所述主体结合的盖子，可以是，所述主体包括从所述主体的上端向纵向方向延伸的凹槽，可以是，所述发热体容纳于所述凹槽。
[0025]可以是，所述盖子包括：横向部，沿着所述主体的横向方向延伸；以及纵向部，从所述横向部朝下延伸并插入于所述凹槽。可以是，所述发热体包括向纵向方向延伸的部分。可以是，在所述凹槽内所述纵向部位于向所述纵向方向延伸的部分之间。
[0026]根据实施例，可以防止在蒸发源的加热器等中产生的烟气引起的短路，由此可以提供可以在高温工艺中稳定地长时间使用的沉积装置。另外，根据实施例，具有贯穿说明书全文可以识别的有利效果。
附图说明
[0027]图1是简要示出根据一实施例的沉积装置的图。
[0028]图2是示出根据一实施例的加热部的一部分的立体图。
[0029]图3是图2所示的加热部的分解立体图。
[0030]图4是在图2中沿着A
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A'线截取的截面图。
[0031]图5是在图2中沿着B
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B'线截取的截面图。
[0032]图6是示出根据一实施例的加热部的一部分的立体图。
[0033]图7是图6所示的加热部的分解立体图。
[0034]图8是在图6中沿着C
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C'线截取的截面图。
[0035]图9是简要示出根据一实施例的显示面板的层叠结构的截面图。
[0036](附图标记说明)
[0037]1：沉积装置
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10：腔室
[0038]20：蒸发源
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210：加热部
[0039]211：框架
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2111：凸出部
[0040]2113：孔
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212：加热器
[0041]2121：发热体
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2122：电极
[0042]213：盖体
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2131a、2131b、2132a：凸出部
[0043]2132：凹槽
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2133、2133a、2134a、2234b：孔
[0044]213a：第一部分
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213b：第二部分
[0045]213c：主体
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213d：盖子<本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种蒸发源，其中，包括：坩埚，容纳沉积材料；以及加热部，围绕所述坩埚的至少一部分，所述加热部包括：加热器，包括发热体以及位于所述发热体的两端的电极；盖体，围绕所述发热体；以及框架，固定有所述盖体。2.根据权利要求1所述的蒸发源，其中，所述盖体包括彼此结合的第一部分以及第二部分，所述发热体位于所述第一部分与所述第二部分之间。3.根据权利要求2所述的蒸发源，其中，所述第一部分以及所述第二部分分别在对应的位置包括孔，所述第一部分与所述第二部分通过贯通所述孔的紧固部件结合。4.根据权利要求3所述的蒸发源，其中，所述第一部分、所述第二部分以及所述紧固部件为绝缘体。5.根据权利要求3所述的蒸发源，其中，所述第一部分包括向所述第二部分侧凸出的第一凸出部，所述第二部分包括向所述第一部分侧凸出的第二凸出部，所述第二凸出部位于所述第一凸出部之上，所述第一凸出部以及所述第...

【专利技术属性】
技术研发人员：徐敏逵，姜有珍，程相慜，郑和平，
申请(专利权)人：三星显示有限公司，
类型：新型
国别省市：