本发明专利技术提出了一种坩埚组件以及具有其的蒸镀装置，所述坩埚组件包括坩埚本体，所述坩埚本体包括底板和侧壁，所述底板和所述侧壁的一端相连，所述底板和所述侧壁的内周壁限定出适于容纳待加热介质的容纳腔，所述容纳腔沿所述坩埚本体的长度方向延伸；加热层，所述加热层设置在所述坩埚本体的至少部分外表面，以适于对所述坩埚本体进行加热；隔热板，所述隔热板设置在所述坩埚本体与所述加热层之间，以降低热量由所述加热层传递到所述坩埚本体的速率。由此，坩埚本体上各处温度更加均匀，坩埚本体内不同位置处具有相同的蒸镀速率，无需额外增加热输入，耗能少，生产效率高。生产效率高。生产效率高。
【技术实现步骤摘要】
坩埚组件以及具有其的蒸镀装置
[0001]本申请涉及显示
，具体地，涉及一种坩埚组件以及具有其的蒸镀装置。
技术介绍
[0002]随着市场端对更大尺寸显示器的需求日益增加，更高世代线的面板生产线被建立起来。更高世代线(如10.5代线)、更大的尺寸，必然需要更大尺寸的蒸镀坩埚以满足量产需要。但更大的坩埚尺寸，往往导致温度不均现象在坩埚上更为明显，这对于显示器的量产极为不利，而通过增加温度补偿的传统方法又存在使材料变质的风险。
[0003]因此，目前的坩埚组件仍需进一步改进。
技术实现思路
[0004]本专利技术旨在至少在一定程度上解决相关技术中的技术问题之一。为此，本专利技术的一个目的在于提出一种坩埚组件，包括坩埚本体，所述坩埚本体包括底板和侧壁，所述底板和所述侧壁的一端相连，所述底板和所述侧壁的内周壁限定出适于容纳待加热介质的容纳腔，所述容纳腔沿所述坩埚本体的长度方向延伸；加热层，所述加热层设置在所述坩埚本体的至少部分外表面，以适于对所述坩埚本体进行加热；隔热板，所述隔热板设置在所述坩埚本体与所述加热层之间，以降低热量由所述加热层传递到所述坩埚本体的速率。由此，坩埚本体上各处温度更加均匀，坩埚本体内不同位置处具有相同的蒸镀速率，无需额外增加热输入，耗能少，生产效率高。
[0005]根据本专利技术的一些实施例，所述坩埚本体为长方体结构，所述坩埚本体沿宽度方向的两侧具有第一表面和第二表面，所述底板在所述坩埚本体高度方向上背离所述容纳腔的一侧具有第三表面，所述加热层设置在至少部分所述第一表面；和/或所述加热层设置在至少部分所述第二表面；和/或所述加热层设置在至少部分所述第三表面。
[0006]根据本专利技术的一些实施例，所述隔热板设置在至少部分所述第一表面和/或至少部分所述第二表面，所述隔热板构造为多个且沿所述坩埚本体的高度方向延伸，多个所述隔热板在所述坩埚本体的长度方向上间隔设置。
[0007]根据本专利技术的一些实施例，多个所述隔热板沿所述坩埚本体在所述长度方向上的中线呈对称分布。
[0008]根据本专利技术的一些实施例，在所述坩埚本体的所述中线位置指向所述坩埚本体的两端的方向上，多个所述隔热板在所述坩埚本体同一高度上的宽度减小。
[0009]根据本专利技术的一些实施例，所述坩埚组件还包括：坩埚套壳，所述坩埚套壳套设在所述坩埚本体的至少部分外表面；盖板，所述盖板与所述底板正对且与所述侧壁的另一端相连，所述盖板上设置有多个喷嘴，所述盖板的至少一侧设置有第一防辐射层。
[0010]根据本专利技术的一些实施例，所述喷嘴沿所述坩埚本体的长度方向排布，任意相邻两个所述喷嘴之间的距离相同；所述隔热板在相邻两个所述喷嘴在所述坩埚本体的所述长度方向上的中线的两侧呈对称分布。
[0011]根据本专利技术的一些实施例，所述坩埚组件还包括：第二防辐射层，所述第二防辐射层设置在所述坩埚套壳的至少部分内周壁。
[0012]根据本专利技术的一些实施例，所述坩埚组件还包括：加热控制系统，所述加热控制系统与所述加热层相连以控制所述加热层的启动或关闭。
[0013]根据本专利技术的一些实施例，所述隔热板构造为矩形、椭圆形、锥形中的至少一种。
[0014]根据本专利技术的一些实施例，所述隔热板的至少部分区域设置有开口，所述开口构造为矩形、圆形、三角形、椭圆形或锥形中的至少一种。
[0015]根据本专利技术的一些实施例，所述第一表面和/或所述第二表面在所述坩埚本体高度方向上的至少一端设置有滑槽，所述隔热板与所述滑槽插接配合。
[0016]在本专利技术的另一个方面，提出了一种蒸镀装置，包括前述的坩埚组件。由此，该蒸镀装置具有前述的坩埚组件所具有的全部特征以及优点，在此不再赘述。总的来说，至少具有蒸镀速率均匀、稳定，蒸镀获得的产品良率高的优点。
附图说明
[0017]本专利技术的上述和/或附加的方面和优点从结合下面附图对实施例的描述中将变得明显和容易理解，其中：
[0018]图1显示了本专利技术一个实施例的坩埚组件的一个视角结构示意图；
[0019]图2显示了本专利技术另一个实施例的坩埚组件的一个视角结构示意图；
[0020]图3显示了图2中坩埚组件的另一个视角的结构示意图；
[0021]图4显示了本专利技术另一个实施例的坩埚组件的结构示意图；
[0022]图5显示了本专利技术另一个实施例的坩埚组件的结构示意图；
[0023]图6显示了本专利技术另一个实施例的坩埚组件的结构示意图；
[0024]图7显示了本专利技术一个实施例的加热丝的设置方式的示意图；
[0025]图8显示了本专利技术一个实施例的隔热板的结构示意图；
[0026]图9显示了本专利技术另一个实施例的隔热板的结构示意图。
[0027]附图标记：
[0028]100：坩埚组件；1：坩埚本体；11：侧壁；2：盖板；3：第一防辐射层；4：喷嘴；5：隔热板；51：第一隔热板；52：第二隔热板；53：第三隔热板；6：滑槽；7：坩埚套壳；8：加热层。
具体实施方式
[0029]下面详细描述本专利技术的实施例。下面描述的实施例是示例性的，仅用于解释本专利技术，而不能理解为对本专利技术的限制。实施例中未注明具体技术或条件的，按照本领域内的文献所描述的技术或条件或者按照产品说明书进行。所用试剂或仪器未注明生产厂商者，均为可以通过市购获得的常规产品。
[0030]在本专利技术的一个方面，提出了一种坩埚组件100，参考图1和图2，该坩埚组件100包括坩埚本体1、加热层8和隔热板5。其中，坩埚本体1包括底板(图中未示出)和侧壁11，底板和侧壁11的一端相连，底板和侧壁11的内周壁限定出适于容纳待加热介质的容纳腔，容纳腔沿坩埚本体1的长度方向延伸；加热层8设置在坩埚本体1的至少部分外表面，以适于对坩埚本体1进行加热；隔热板5设置在坩埚本体1与加热层8之间，以降低热量由加热层8传递到
坩埚本体1的速率。由此，坩埚本体1上各处温度更加均匀，坩埚本体1内不同位置处具有相同的蒸镀速率，无需额外增加热输入，耗能少，生产效率高。
[0031]下面对申请能够实现上述有益效果的原理进行详细说明：
[0032]OLED(Organic Light Emitting Diode，有机电致发光二极管)作为崛起的新一代显示技术，具备传统LCD不具备的诸多优点，被广泛应用到手机、VR、手表和其他可穿戴终端设备上。真空蒸镀是生产OLED器件过程中必不可少的工艺环节，蒸镀工艺的优劣在很大程度上决定了产品显示效果的优劣以及产品的良率。同时，真空蒸镀作为一个系统工程，诸多因素对其具有明显的影响。比如，蒸镀坩埚在受热蒸镀过程中，坩埚上温度的均匀性往往决定了坩埚各处喷嘴4处材料的蒸发速率，进而对膜厚均一性产生巨大影响。为了使坩埚本体1各处的温度更加均匀，可采取以下方式：在坩埚上温度较低处额外增加热输入，同样可实现较好的温度均匀性，但是此方法需要增加能耗，而且材料存在变质分解的风险；减小坩埚本体1的尺寸以减小温差，此方法同样可本文档来自技高网...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种坩埚组件，其特征在于，包括：坩埚本体，所述坩埚本体包括底板和侧壁，所述底板和所述侧壁的一端相连，所述底板和所述侧壁的内周壁限定出适于容纳待加热介质的容纳腔，所述容纳腔沿所述坩埚本体的长度方向延伸；加热层，所述加热层设置在所述坩埚本体的至少部分外表面，以适于对所述坩埚本体进行加热；隔热板，所述隔热板设置在所述坩埚本体与所述加热层之间，以降低热量由所述加热层传递到所述坩埚本体的速率。2.根据权利要求1所述的坩埚组件，其特征在于，所述坩埚本体为长方体结构，所述坩埚本体沿宽度方向的两侧具有第一表面和第二表面，所述底板在所述坩埚本体高度方向上背离所述容纳腔的一侧具有第三表面，所述加热层设置在至少部分所述第一表面；和/或所述加热层设置在至少部分所述第二表面；和/或所述加热层设置在至少部分所述第三表面。3.根据权利要求2所述的坩埚组件，其特征在于，所述隔热板设置在至少部分所述第一表面和/或至少部分所述第二表面，所述隔热板构造为多个且沿所述坩埚本体的高度方向延伸，多个所述隔热板在所述坩埚本体的长度方向上间隔设置。4.根据权利要求3所述的坩埚组件，其特征在于，多个所述隔热板沿所述坩埚本体在所述长度方向上的中线呈对称分布。5.根据权利要求4所述的坩埚组件，其特征在于，在所述坩埚本体的所述中线位置指向所述坩埚本体的两端的方向上，多个所述隔热板在所述坩埚本体同一高度上的宽...
【专利技术属性】
技术研发人员：曾琪皓，李彦松，白珊珊，关新兴，刘佳宁，刘华猛，刘浩，
申请(专利权)人：成都京东方光电科技有限公司，
类型：发明
国别省市：
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