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本实用新型公开一种真空设备,包括设备本体,设备本体设有真空泵组,设备本体具有第一真空腔室和第二真空腔室,第一真空腔室和第二真空腔室通过第一连接管分别与两个真空泵组连接,用于抽出第一真空腔室和第二真空腔室内的气体,两个第一连接管之间设有第二连...该专利属于乐金显示光电科技(中国)有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过乐金显示光电科技(中国)有限公司授权不得商用。
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