一种排气装置及其应用和气体的分离方法制造方法及图纸

本发明专利技术提供一种排气装置。该排气装置包括具有排气组件和排气切换机构的气体切换模块，其中，排气组件包括第一通道和第二通道；排气切换机构包括转动地设置在第一通道的开口上的第一叶片、转动地设置在第二通道的开口上的第二叶片，及具有第一配合件、第二配合件和用于驱动第一配合件和第二配合件同步运动的第一驱动件的第一控制组件。本发明专利技术的排气装置通过第一驱动件驱动第一配合件和第二配合件同步运动，使第一叶片和第二叶片同时转动，从而使第一叶片和第二叶片中的一者盖设到相应通道的开口上以使相应通道的开口关闭，另一者对应的通道的开口打开，从而实现仅需要一个驱动件即可实现两种气体的排气切换，以及两种气体的分别排放。的分别排放。的分别排放。

【技术实现步骤摘要】
一种排气装置及其应用和气体的分离方法


[0001]本专利技术涉及一种排气装置及其应用和气体的分离方法。

技术介绍

[0002]半导体生产过程，例如在工艺腔体内对半导体晶圆进行刻蚀、清洗等各种处理过程。在处理过程中从工艺腔体所排出两种不同性质气体，例如酸性气体（简称酸气）及碱性气体（简称碱气）等。由于酸气及碱气混合在一起会发生化学反应，也不利于厂务端回收处理，因此需要分开排气。传统的半导体制造设备需要酸气、碱气各一种排气装置，来连接厂务酸气排气系统、厂务碱性排气系统。但其缺点是多个排气装置占据大量空间，导致半导体设备占据较大空间。
[0003]另有技术设计一种气体分离装置，通过驱动内管在外管内旋转，使内管通孔每次对上外管相应排气口来实现多种气体分离排出。但该装置因内管需要在外管内运动旋转而存在小的间隙。酸气和碱气进入排气管前都需要经过内管，在该间隙相遇会发生化学反应产生结晶，进而使得内外管严重时堵塞而不能旋转，使得装置失去效用。当前做法是一定的周期内需要拆卸内管和外管，手动清洗后再重新装配，操作繁琐及耽误工时。

技术实现思路

[0004]本专利技术的目的是提供一种排气装置。
[0005]本专利技术的另一目的是提供一种排气装置的应用，该排气装置可用于分离半导体的工艺腔体中的两种性质不同的气体。
[0006]本专利技术的再一目的是提供一种气体的分离方法。
[0007]为达到上述目的，本专利技术采用的技术方案如下：一种排气装置，其包括气体切换模块，所述气体切换模块包括：排气组件，其包括壳体、第一通道和第二通道，所述第一通道和所述第二通道位于所述壳体内，所述第一通道和所述第二通道分别具有用于进气的开口，所述壳体的侧壁上开设有与所述第一通道和所述第二通道的开口相连通的进气口；排气切换机构，其包括第一开闭组件、第二开闭组件和第一控制组件，所述第一开闭组件包括转动地设置在所述第一通道的开口上的第一叶片，所述第一叶片可盖设在所述第一通道的开口上，使所述第一通道的开口关闭以阻碍气体的进入；所述第二开闭组件包括转动地设置在所述第二通道的开口上的第二叶片，所述第二叶片可盖设在所述第二通道的开口上，使所述第二通道的开口关闭以阻碍气体的进入；所述第一控制组件包括与所述第一开闭组件相配合的第一配合件、与所述第二开闭组件相配合的第二配合件以及用于驱动所述第一配合件和所述第二配合件同步运动的第一驱动件，当所述第一驱动件驱动所述第一配合件和所述第二配合件同步运动时，所述第一叶片和所述第二叶片分别转动，使得所述第一通道的开口打开，所述第二通道的开口关闭，气体仅能进入所述第一通道；或，使得所述第一通道的开口关闭，所述第二通道的开口打开，气体仅能进入所述第二通道。
[0008]优选地，所述第一配合件和所述第二配合件相并列设置且沿着所述壳体的轴向延伸，所述第一配合件和所述第二配合件分别为齿条且响应于所述第一驱动件并可沿着所述壳体的轴向滑动；所述第一叶片和所述第二叶片的转轴同轴连接有与齿条相啮合的齿轮，当所述第一配合件和所述第二配合件运动时，与其相对应的齿轮转动以使所述第一叶片、所述第二叶片转动。
[0009]优选地，所述第一叶片和所述第二叶片相垂直设置，使得所述第一通道、所述第二通道中的一个的开口打开时，另一个的开口关闭。
[0010]优选地，所述第一配合件和所述第二配合件的齿相向设置。
[0011]优选地，所述第一叶片和所述第二叶片分别设置在所述壳体内，所述第一叶片和所述第二叶片的转动轴心线分别与所述壳体的轴向相垂直。
[0012]优选地，所述第一叶片具有多个，多个所述第一叶片沿着所述第一配合件的长度方向依次排列，当所述第一通道的开口关闭时，多个所述第一叶片依次相连形成能够遮盖所述第一通道的开口的面；所述第二叶片具有多个，多个所述第二叶片沿着所述第二配合件的长度方向依次排列，当所述第二通道的开口关闭时，多个所述第二叶片依次相连形成能够遮盖所述第二通道的开口的面。
[0013]优选地，所述第一驱动件包括安装在所述排气组件上的第一气缸以及沿着所述壳体的径向延伸的第一连接件，所述第一气缸包括第一气缸本体以及与所述第一气缸本体相连接且能够沿着所述壳体的轴向伸缩的伸缩杆，所述伸缩杆的一端与所述第一连接件相固定连接，所述第一连接件的两端分别与所述第一配合件和所述第二配合件相固定连接，所述伸缩杆在所述第一气缸本体的推动下伸缩并推动所述第一连接件以使所述第一配合件和所述第二配合件同步运动。
[0014]优选地，所述壳体的前侧壁上开设有所述进气口，所述壳体的后侧壁上安装有所述第一控制组件。
[0015]优选地，所述第一通道和所述第二通道相并列设置，所述第一通道、所述第二通道及所述壳体的轴心线相平行。
[0016]优选地，所述排气装置还包括压力调节模块，所述压力调节模块包括具有进气口和出气口的调压室、绕着第一方向转动地设于所述调压室的第三叶片，以及用于控制所述第三叶片的开合角度的第二控制组件，所述调压室与所述壳体的进气口相连通。
[0017]进一步优选地，所述第三叶片具有多个，多个所述第三叶片沿着第二方向依次排列。
[0018]更进一步优选地，所述第三叶片具有两个。
[0019]根据一些优选的实施方式，所述第二控制组件包括与所述第三叶片相配合的第三配合件以及用于驱动所述第三配合件运动的第二驱动件，所述第三配合件为齿条且响应于所述第二驱动件并可沿着第二方向滑动，所述第二方向与所述第一方向相垂直，所述第三叶片的转轴同轴连接有与齿条相啮合的转动轮，当所述第三配合件滑动时，所述转动轮转动以调节所述第三叶片的开合角度。
[0020]进一步优选地，所述第二驱动件包括安装在所述调压室上的第二气缸，所述第二气缸包括第二气缸本体以及与所述第二气缸本体相连接且能够沿着第二方向伸缩的伸缩杆，所述第三配合件相传动地连接于所述伸缩杆并在所述伸缩杆的带动下相对于所述调压
室滑动。
[0021]优选地，所述排气装置还包括与所述壳体的进气口相连通的气液分离机构，其包括具有进口、出气口和出液口的气液分离室、及设于所述气液分离室内且位于所述进口和所述出气口之间的气液分流板，所述气液分离室的出气口、出液口分别位于所述气液分流板的相对两侧，所述气液分流板具有多个供气体通出的通孔，所述气液分离室的出液口与废液收集器相连通，用于接收废液。
[0022]优选地，所述排气装置具有一个或多个，当具有多个时，多个所述排气装置沿着所述壳体的轴向依次排列，相邻两个所述排气装置中的一个排气装置的第一通道的末端、第二通道的末端分别与另一个排气装置中的第一通道的首端、第二通道的首端相连，首个排气装置的第一通道的首端、第二通道的首端盖设有盖板。
[0023]优选地，所述排气装置还包括总控系统，与所述总控系统相电连接的压力监控模块，以及受控于所述总控系统且位于前端的工艺腔体及所述气体切换模块之间的压力调节模块，所述压力调节模块分别与前端的工艺腔体及所述气体切换模块相连通，所述压力监控模块用于监测前端的工艺腔体的排本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种排气装置，其特征在于，所述排气装置包括气体切换模块，所述气体切换模块包括：排气组件，其包括壳体、第一通道和第二通道，所述第一通道和所述第二通道位于所述壳体内，所述第一通道和所述第二通道分别具有用于进气的开口，所述壳体的侧壁上开设有与所述第一通道和所述第二通道的开口相连通的进气口；排气切换机构，其包括第一开闭组件、第二开闭组件和第一控制组件，所述第一开闭组件包括转动地设置在所述第一通道的开口上的第一叶片，所述第一叶片可盖设在所述第一通道的开口上，使所述第一通道的开口关闭以阻碍气体的进入；所述第二开闭组件包括转动地设置在所述第二通道的开口上的第二叶片，所述第二叶片可盖设在所述第二通道的开口上，使所述第二通道的开口关闭以阻碍气体的进入；所述第一控制组件包括与所述第一开闭组件相配合的第一配合件、与所述第二开闭组件相配合的第二配合件以及用于驱动所述第一配合件和所述第二配合件同步运动的第一驱动件，当所述第一驱动件驱动所述第一配合件和所述第二配合件同步运动时，所述第一叶片和所述第二叶片分别转动，使得所述第一通道的开口打开，所述第二通道的开口关闭，气体仅能进入所述第一通道；或，使得所述第一通道的开口关闭，所述第二通道的开口打开，气体仅能进入所述第二通道。2.根据权利要求1所述的排气装置，其特征在于，所述第一配合件和所述第二配合件相并列设置且沿着所述壳体的轴向延伸，所述第一配合件和所述第二配合件分别为齿条且响应于所述第一驱动件并可沿着所述壳体的轴向滑动；所述第一叶片和所述第二叶片的转轴同轴连接有与齿条相啮合的齿轮，当所述第一配合件和所述第二配合件运动时，与其相对应的齿轮转动以使所述第一叶片、所述第二叶片转动。3.根据权利要求1所述的排气装置，其特征在于，所述第一叶片和所述第二叶片相垂直设置，使得所述第一通道、所述第二通道中的一个的开口打开时，另一个的开口关闭；和/或，所述第一配合件和所述第二配合件的齿相向设置。4.根据权利要求1所述的排气装置，其特征在于，所述第一叶片和所述第二叶片分别设置在所述壳体内，所述第一叶片和所述第二叶片的转动轴心线分别与所述壳体的轴向相垂直；和/或，所述第一叶片具有多个，多个所述第一叶片沿着所述第一配合件的长度方向依次排列，当所述第一通道的开口关闭时，多个所述第一叶片依次相连形成能够遮盖所述第一通道的开口的面；所述第二叶片具有多个，多个所述第二叶片沿着所述第二配合件的长度方向依次排列，当所述第二通道的开口关闭时，多个所述第二叶片依次相连形成能够遮盖所述第二通道的开口的面。5.根据权利要求1所述的排气装置，其特征在于，所述第一驱动件包括安装在所述排气组件上的第一气缸以及沿着所述壳体的径向延伸的第一连接件，所述第一气缸包括第一气缸本体以及与所述第一气缸本体相连接且能够沿着所述壳体的轴向伸缩的伸缩杆，所述伸缩杆的一端与所述第一连接件相固定连接，所述第一连接件的两端分别与所述第一配合件和所述第二配合件相固定连接，所述伸缩杆在所述第一气缸本体的推动下伸缩并推动所述
第一连接件以使所述第一配合件和所述第二配合件同步运动。6.根据权利要求1所述的排气装置，其特征在于，所述壳体的前侧壁上开设有所述进气口，所述壳体的后侧壁上安装有所述第一控制组件；和/或，所述第一通道和所述第二通道相并列设置，所述第一通道、所述第二通道及所述壳体的轴心线相平行。7.根据权利要求1所述的排气装置，其特征在于，所述排气装置还包括压力调节模块，所述压力调节模块包括具有进气口和出气口的调压室、绕着第一方向转动地设于所述调压室的第三叶片，以及用于控制所述第三叶片的开合角度的第二控制组件，所述调压室与所述壳体的进气口相连通。8.根据权利要求7所述的排气装置，其特征在于，所述第二控制组件包括与所述第三叶片相配合的第三配合件以及用于驱动所述第三配合件运动的第二驱动件，所述第三配合件为齿条且响应于所述第二驱动件并可沿着第二方向滑动，所述第二方向与所述第一方向相垂直，所述第三叶片的转轴同轴连接有与齿条相啮合的转动轮，当所述第三配合件滑动时，所述转动轮转动以调节所述第三叶片的开合角度；所述第二驱动件包括安装在所述调压室上的第二气缸，所述第二气缸包括第二气缸本体以及与所述第二气缸本体相连接且能够沿着第二方向伸缩的伸缩杆，所述第三配合件相传动地连接于所述伸缩杆并在所述伸缩杆的带动下相对于所述调压室滑动。9.根据权利要求1所述的排气装置，其特征在于，所述排气装置还包括与所述壳体的进气口相连通的气液分离机构，其包括具有进口、出气口和出液口的气液分离室、及设于所述气液分离室内且位于所述进口和...

【专利技术属性】
技术研发人员：邵树宝，蒋超伟，高彪，
申请(专利权)人：江苏芯梦半导体设备有限公司，
类型：发明
国别省市：