【技术实现步骤摘要】
本专利技术属于半导体制造领域，具体涉及一种晶圆槽式湿法处理设备用花篮传输单元、晶圆槽式湿法处理设备及花篮传输方法。
技术介绍
1、槽式清洗是常用的将多个晶圆同时放入一个清洗槽中进行清洗的方式。在槽式清洗中，晶圆通常被放置在花篮内，然后将花篮放入清洗槽中。清洗槽中会注入适当的清洗液进行清洗，如酸、碱或溶剂等。槽式清洗通常适用于大批量的晶圆清洗，可以高效地处理多个晶圆。
2、在某些半导体制程中由于花篮材质问题，在晶圆清洗的过程中需要使用两种类型花篮替换承载晶圆，以完成晶圆的清洗。然而，现有技术中，暂未有一种较好的两种类型花篮的替换方法使得整个清洗流程简单、便捷且效率高。
技术实现思路
1、针对上述技术问题，本专利技术的目的是提供一种改进的晶圆槽式湿法处理设备用花篮传输单元、晶圆槽式湿法处理设备及花篮传输方法。
2、为达到上述目的，本专利技术的第一个方面提供了一种晶圆槽式湿法处理设备用花篮传输单元，所述花篮传输单元，用于第一类型花篮和第二类型花篮的传输，所述花篮传输单元包
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【技术保护点】
1.一种晶圆槽式湿法处理设备用花篮传输单元，其特征在于，所述花篮传输单元，用于第一类型花篮和第二类型花篮的传输，所述花篮传输单元包括：
2.根据权利要求1所述的晶圆槽式湿法处理设备用花篮传输单元，其特征在于，所述滑动机构包括：
3.根据权利要求2所述的晶圆槽式湿法处理设备用花篮传输单元，其特征在于，所述花篮移动机构，包括：
4.根据权利要求2所述的晶圆槽式湿法处理设备用花篮传输单元，其特征在于，所述滑动机构还包括：
5.根据权利要求2所述的晶圆槽式湿法处理设备用花篮传输单元，其特征在于，所述花篮移动机构包括：
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