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本发明公开了一种晶圆槽式湿法处理设备用花篮传输单元、晶圆槽式湿法处理设备及花篮传输方法。花篮传输单元用于第一类型花篮和第二类型花篮的传输，包括：缓存工位，用于缓存放置第一类型花篮和第二类型花篮；滑动机构，固定设置于缓存工位的一侧；至少一个花...
该专利属于江苏芯梦半导体设备有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过江苏芯梦半导体设备有限公司授权不得商用。

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