一种笼式加热元件及真空电阻炉制造技术

本实用新型专利技术属于半导体技术领域，具体公开了一种笼式加热元件，该笼式加热元件包括依次排列的若干加热带组，若干加热带组围成加热腔，待处理元件位于加热腔内，加热带组所产生的热量沿待处理元件的周向方向均匀传递给待处理元件，保证了待处理元件周向方向温度的均匀性。另外，若干加热带组均独立设置，能够分别进行独立控温和调功，减小了待处理元件沿炉体轴向方向上的温度差，且该结构简单，操作维护容易。本实用新型专利技术还提供一种真空电阻炉，包括上述的笼式加热元件，改善了炉体内部工作区温度的均匀性，保证待处理元件的各处温度差较小。小。小。

【技术实现步骤摘要】
一种笼式加热元件及真空电阻炉


[0001]本技术涉及半导体
，尤其涉及一种笼式加热元件及真空电阻炉。

技术介绍

[0002]在半导体的热处理工艺中，为了获得高品质的元件，通常采用真空电阻炉完成其热处理工艺。一般来说，工作温度高于1500℃的真空电阻炉通常采用石墨棒作为加热元件，若干数量的石墨棒串联为一组，三组石墨棒呈星形或三角形联结布置在炉内。然而在此种技术方案中，由于石墨棒与石墨棒之间存在间距，导致石墨棒在对元件加热时，元件在圆周方向的受热不均匀，另外，热量会在元件内部传导，导致在元件的上部温度高于其下部温度，沿元件的高度方向，热场温度的均匀性较差。
[0003]因此，亟需一种笼式加热元件及真空电阻炉，来解决上述问题。

技术实现思路

[0004]本技术的目的在于提供一种笼式加热元件及真空电阻炉，其能够对待处理元件的四周均匀加热，且结构简单，操作维护容易。
[0005]为达此目的，本技术采用以下技术方案：
[0006]一方面，本技术提供一种笼式加热元件，用于对待处理元件进行加热，该笼式加热元件包括：若干加热带组,若干所述加热带组沿轴向方向依次排列，所述加热带组呈圆弧形，若干所述加热带组之间共同围成加热腔，所述待处理元件位于所述加热腔内，每个所述加热带组均独立设置控温系统。
[0007]可选地，每个所述加热带组包括若干石墨带，若干所述石墨带沿所述轴向方向依次排列，若干所述石墨带均包括第一端和第二端，若干所述石墨带的所述第一端设置在同一侧，若干所述石墨带的所述第二端设置在同一侧。
[0008]可选地，所述加热带组设置有三个，每个所述加热带组的一端与三相电源的A/B/C相中的其中一相电连接，每个所述加热带组的另一端与三相电源的零线电连接。
[0009]可选地，所述笼式加热元件包括第一联结组件，所述第一联结组件包括三个第一联结板和一个第二联结板，每个所述第一联结板分别与一个所述加热带组内的所述石墨带的所述第一端连接，所述第二联结板与三个所述加热带组内的所述石墨带的所述第二端连接。
[0010]可选地，每个所述加热带组的一端与直流电源的正极连接，每个所述加热带组的另一端与所述直流电源的负极连接。
[0011]可选地，所述笼式加热元件包括第二联结组件，所述第二联结组件包括若干第三联结板和若干第四联结板，每个所述第三联结板分别与一个所述加热带组内的所述石墨带的所述第一端连接，每个所述第四联结板分别与一个所述加热带组内的所述石墨带的所述第二端连接。
[0012]可选地，每条所述石墨带上设有若干增强板，若干所述增强板之间等间隔设置，所
述增强板上设有第一通孔，所述石墨带上设有第二通孔，所述第一通孔与所述第二通孔同轴设置。
[0013]另一方面，本技术提供一种真空电阻炉，包括炉体，以及上述笼式加热元件，所述笼式加热元件设置在所述炉体内。
[0014]可选地，所述真空电阻炉包括隔热屏，所述隔热屏设置在所述炉体与所述笼式加热元件之间，所述隔热屏呈圆筒状。
[0015]可选地，所述真空电阻炉包括拉杆，所述拉杆将所述笼式加热元件固定在所述隔热屏上。
[0016]本技术的有益效果为：
[0017]本技术提供一种笼式加热元件，该笼式加热元件包括沿轴向方向依次排列的若干加热带组，若干加热带组围成加热腔，待处理元件位于加热腔内，加热带组呈圆弧形，加热带组所产生的热量沿待处理元件的周向方向均匀传递给待处理元件，保证了待处理元件周向方向温度的均匀性。另外，每个加热带组均独立设置，能够进行独立控温和调功，减小了待处理元件沿炉体轴向方向上的温度差，结构简单，操作维护容易。
[0018]本技术还提供一种真空电阻炉，包括炉体，以及上述笼式加热元件，笼式加热元件设置在炉体内，通过该笼式加热元件能够对待处理元件进行均匀加热，改善了炉体内部工作区温度的均匀性，保证待处理元件的各处温度差较小，且结构简单，易于安装维护。
附图说明
[0019]图1是本技术实施例一中提供的笼式加热元件的结构示意图；
[0020]图2是图1中A处的局部放大图；
[0021]图3是图1中B处的局部放大图；
[0022]图4是本技术实施例二中提供的笼式加热元件的结构示意图。
[0023]图中：
[0024]100、加热带组；110、石墨带；1101、第一端；1102、第二端；111、第二通孔；210、第一联结板；220、第二联结板；300、第一固定件；400、增强板；410、第一通孔；500、第二固定件；610、第三联结板；620、第四联结板。
具体实施方式
[0025]下面结合附图和实施例对本技术作进一步的详细说明。可以理解的是，此处所描述的具体实施例仅仅用于解释本技术，而非对本技术的限定。另外还需要说明的是，为了便于描述，附图中仅示出了与本技术相关的部分而非全部结构。
[0026]在本技术的描述中，除非另有明确的规定和限定，术语“相连”、“连接”、“固定”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或成一体；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通或两个元件的相互作用关系。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本技术中的具体含义。
[0027]在本技术中，除非另有明确的规定和限定，第一特征在第二特征之“上”或之“下”可以包括第一和第二特征直接接触，也可以包括第一和第二特征不是直接接触而是通
过它们之间的另外的特征接触。而且，第一特征在第二特征“之上”、“上方”和“上面”包括第一特征在第二特征正上方和斜上方，或仅仅表示第一特征水平高度高于第二特征。第一特征在第二特征“之下”、“下方”和“下面”包括第一特征在第二特征正下方和斜下方，或仅仅表示第一特征水平高度小于第二特征。
[0028]在本实施例的描述中，术语“上”、“下”、“左”、“右”等方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述和简化操作，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本技术的限制。此外，术语“第一”、“第二”仅仅用于在描述上加以区分，并没有特殊的含义。
[0029]实施例一：
[0030]如图1
‑
图3所示，本实施例提供一种笼式加热元件，用于对待处理元件进行加热，该笼式加热元件包括若干加热带组100,若干加热带组100沿轴向方向依次排列，加热带组100呈圆弧形，若干加热带组100之间共同围成加热腔，待处理元件位于加热腔内，加热腔呈圆筒状，因此，加热带组100所产生的热量能够沿待处理元件的周向方向均匀地传递给待处理元件，从而保证了待处理元件周向方向的受热均匀，并且每个加热带组100均独立设置控温系统，控温系统能够分别对每个加热带组100进行独立控温和本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种笼式加热元件，用于对待处理元件进行加热，其特征在于，包括：若干加热带组(100),若干所述加热带组(100)沿轴向方向依次排列，所述加热带组(100)呈圆弧形，若干所述加热带组(100)之间共同围成加热腔，所述待处理元件位于所述加热腔内，每个所述加热带组(100)均独立设置控温系统。2.根据权利要求1所述的笼式加热元件，其特征在于，每个所述加热带组(100)包括若干石墨带(110)，若干所述石墨带(110)沿所述轴向方向依次排列，若干所述石墨带(110)均包括第一端(1101)和第二端(1102)，若干所述石墨带(110)的所述第一端(1101)设置在同一侧，若干所述石墨带(110)的所述第二端(1102)设置在同一侧。3.根据权利要求2所述的笼式加热元件，其特征在于，所述加热带组(100)设置有三个，每个所述加热带组(100)的一端与三相电源的A/B/C相中的其中一相电连接，每个所述加热带组(100)的另一端与三相电源的零线电连接。4.根据权利要求3所述的笼式加热元件，其特征在于，所述笼式加热元件包括第一联结组件，所述第一联结组件包括三个第一联结板(210)和一个第二联结板(220)，每个所述第一联结板(210)分别与一个所述加热带组(100)内的所述石墨带(110)的所述第一端(1101)连接，所述第二联结板(220)与三个所述加热带组(100)内的所述石墨带(110)的所述第二端(1102)连接。5.根据权利要求2所述的笼式加热元件，...

【专利技术属性】
技术研发人员：林佳继，龙占勇，罗迎春，李洪，
申请(专利权)人：深圳市拉普拉斯能源技术有限公司，
类型：新型
国别省市：