一种真空调压装置及曝光机制造方法及图纸

本实用新型专利技术公开了一种真空调压装置及曝光机，包括：真空压力传感器；数模转换器，电性连接于所述真空压力传感器；电压放大器，一输入端电性连接于所述数模转换器，另一输入端输入期望真空电压；调压模块，输入端电性连接于所述电压放大器的输出端；单相调压器，电性连接于所述调压模块的输出端；以及电磁调压阀，电性连接于所述单相调压器。通过本实用新型专利技术提供的一种真空调压装置及曝光机，可精确调整真空管路的吸附能力。空管路的吸附能力。空管路的吸附能力。

【技术实现步骤摘要】
一种真空调压装置及曝光机


[0001]本技术属于半导体设备领域，特别涉及一种真空调压装置及曝光机。

技术介绍

[0002]在晶圆的制成过程中，晶圆受到高温的影响会产生轻微变形。当晶圆的形变量较大时，在吸附晶圆的过程中，易造成真空吸附异常。此时，需要人为增大机台的真空吸附能力才能到达需要的真空下限。但人为调整时，无法将机台内的真空压力准确调整为所需压力。当真空吸附过小时，无法吸附晶圆，或在晶圆转移过程中易发生片破片。而真空吸附压力过大时，易造成机台中的真空管路曝管，以及晶圆重叠位移的风险。

技术实现思路

[0003]本技术的目的在于提供一种真空调压装置及曝光机，通过本技术提供的所述真空调压装置，可准确调节机台内的真空状态，避免晶圆破片或晶圆重叠位移等风险。
[0004]为解决上述技术问题，本技术是通过以下技术方案实现的：
[0005]本技术提供一种真空调压装置，至少包括：
[0006]真空压力传感器；
[0007]数模转换器，电性连接于所述真空压力传感器；
[0008]电压放大器，一输入端电性连接于所述数模转换器，另一输入端输入期望真空电压；
[0009]调压模块，输入端电性连接于所述电压放大器的输出端；
[0010]单相调压器，电性连接于所述调压模块的输出端；以及
[0011]电磁调压阀，电性连接于所述单相调压器。
[0012]在本技术一实施例中，所述真空调压装置还包括期望真空电压提供模块，且所述期望真空电压提供模块输出所述期望真空电压。
[0013]在本技术一实施例中，所述期望真空电压提供模块包括：
[0014]第一电压源；以及
[0015]滑动变阻器，连接在第一电压源的两端，且所述滑动变阻器的输出端为所述期望真空电压提供模块的输出端。
[0016]在本技术一实施例中，所述电压放大器为分压式偏置的单管交流电压放大器。
[0017]在本技术一实施例中，所述调压模块包括电机，所述电机电性连接于所述电压放大器的输出端。
[0018]在本技术一实施例中，所述调压模块包括调压电阻，所述调压电阻电性连接在所述电机和所述单相调压器之间。
[0019]在本技术一实施例中，所述电磁调压阀的正极电性连接于所述调压电阻和所述单相调压器的公共连接端。
[0020]在本技术一实施例中，所述真空调压装置还包括真空阀门，所述真空阀门电性连接于所述电磁调压阀的输出端。
[0021]在本技术一实施例中，所述电磁调压阀为分步直动式电磁阀或先导式电磁阀。
[0022]本专利技术还提供一种曝光机，包括如上所述的真空调压装置。
[0023]如上所述本技术提供的一种真空调压装置及曝光机，可预防晶圆形变而造成的真空吸附异常宕机，提升机台使用寿命。同时实现真空即时自动补偿装置，节省人力与产能提升。在真空异常时，可降低晶圆传送速度，提高生产安全性，避免传送发生破片风险。
[0024]当然，实施本技术的任一产品并不一定需要同时达到以上所述的所有优点。
附图说明
[0025]为了更清楚地说明本技术实施例的技术方案，下面将对实施例描述所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本技术的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
[0026]图1为一种曝光机的结构示意图。
[0027]图2为一种机械臂的结构示意图。
[0028]图3为一种真空调压装置的结构框图。
[0029]图4为一种真空调压装置的电性连接图。
[0030]标号说明：
[0031]100机壳；110曝光系统；111曝光光源；112曝光透镜；121基座；122升降装置；123承载台；124晶圆；130机械手臂；131真空管路；132吸盘；133动力装置；201真空压力传感器；2010显示装置；202数模转换器；203真空电压提供模块；2031真空期望压力输入端；204电压放大器；205调压模块；2051电机；2052减速器；206单相调压器；207电磁调压阀；208真空阀门；C1第一电容；C2第二电容；C3第三电容；R1第一电阻；R2第二电阻；R3第三电阻；R4第四电阻；Ra调压电阻；Rb1滑动变阻器；Rb2电位器；T1三极管；V1第一电压源；VCC第二电压源。
具体实施方式
[0032]下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其它实施例，都属于本技术保护的范围。
[0033]光刻技术是指在光照作用下，借助光致抗蚀剂(又名光刻胶)将掩膜版上的图形转移到晶圆上的技术，包括光复印工艺和刻蚀工艺两个主要方面。其中，光复印工艺是指经曝光系统将预制在掩模版上的器件或电路图形按所要求的位置，精确传递到预涂在晶圆表面或介质层上的光致抗蚀剂薄层上。光复印工艺使用的主要设备为曝光机，所以曝光机是集成电路加工过程中的关键设备。
[0034]请参阅图1所示，在本技术一实施例中，曝光机包括机壳100，以及设置在机壳100内的曝光系统110和晶圆承载装置。其中，曝光系统110包括曝光光源111及曝光透镜
112，曝光透镜112用于对曝光光源111聚焦，以决定曝光系统110的焦距平面。其中，曝光光源111包括单一光源，可以是由二极管光源、卤素灯光源、汞灯光源及短弧灯光源组成群组中的一种。本实施例中，曝光光源111例如为汞灯光源。
[0035]请参阅图1所示，在本技术一实施例中，晶圆承载装置包括基座121、升降装置122和承载台123。升降装置122的一端固定在基座121上，另一端向曝光系统110所在的方向延伸。在升降装置122的另一端，固定连接有承载台123，进而使得升降装置122可驱动承载台123的升降，以调节承载台123上晶圆124的位置。
[0036]请参阅图1所示，在本技术一实施例中，曝光机还包括晶圆传送系统，用以承载晶圆124并将晶圆124传送至承载台123上，或将晶圆124从承载台123搬移走。其中，晶圆传送系统包括多个机械手臂130，可通过多个机械手臂130吸附晶圆124，将其他腔室中的晶圆124传送至曝光机的承载台123上，或将晶圆124从承载台123上转移走。
[0037]请参阅图1和图2所示，在本技术一实施例中，机械手臂130包括吸盘132，以及与吸盘132连接的真空管路131，通过调整真空管路131中的真空压力，以调节吸盘132吸力的大小，实现晶圆124的转移。进一步的，结合图1所示，与真空管路131连通的还有动力装置133。动力装置133与进机械手臂130中的真空管路131连本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种真空调压装置，其特征在于，至少包括：真空压力传感器；数模转换器，电性连接于所述真空压力传感器；电压放大器，一输入端电性连接于所述数模转换器，另一输入端输入期望真空电压；调压模块，输入端电性连接于所述电压放大器的输出端；单相调压器，电性连接于所述调压模块的输出端；以及电磁调压阀，电性连接于所述单相调压器。2.根据权利要求1所述一种真空调压装置，其特征在于，所述真空调压装置还包括期望真空电压提供模块，且所述期望真空电压提供模块输出所述期望真空电压。3.根据权利要求2所述一种真空调压装置，其特征在于，所述期望真空电压提供模块包括：第一电压源；以及滑动变阻器，连接在第一电压源的两端，且所述滑动变阻器的输出端为所述期望真空电压提供模块的输出端。4.根据权利要求1所述一种真空调压装置，其特征在于，所述电压放大器为分压式...

【专利技术属性】
技术研发人员：严佩兵，许时斌，李昶材，
申请(专利权)人：合肥晶合集成电路股份有限公司，
类型：新型
国别省市：