本申请提供一种石英舟散热装置以及硅片扩散装置，属于太阳能电池制造领域。石英舟散热装置包括壳体、支撑架、导风件以及排风口。壳体包括沿第一预设方向相对分布的第一侧壁和第二侧壁，且第一侧壁设有多个通风口；支撑架连接于壳体内壁，支撑架用于支撑石英舟；导风件连接于壳体内壁，导风件位于支撑架下方，通风口位于支撑架和导风件之间，支撑架和导风件被配置为二者之间的气流能够吹到支撑架上方；导风件的一端靠近第一侧壁，导风件的另一端朝壳体的顶部方向倾斜延伸，用于将从通风口进入的冷风导向支撑架；排风口开设于壳体，并位于支撑架的上方，该装置能够有效避免在降温过程中对硅片造成污染，从而保证硅片良率。从而保证硅片良率。从而保证硅片良率。
【技术实现步骤摘要】
一种石英舟散热装置以及硅片扩散装置
[0001]本申请涉及太阳能电池制造领域，具体而言，涉及一种石英舟散热装置以及硅片扩散装置。
技术介绍
[0002]现有技术中，硅片扩散工艺完成以后，由于硅片和石英舟的温度较高，需要降温以后才能进行卸片，当前，主要通过冷却风扇结合冷却支架的方式来对硅片以及石英舟进行降温，但是，该降温方式容易对硅片造成污染，导致硅片良率较低。
技术实现思路
[0003]本申请的目的在于提供一种石英舟散热装置以及硅片扩散装置，能够有效避免在降温过程中对硅片造成污染，从而保证硅片良率。
[0004]本申请的实施例是这样实现的：
[0005]第一方面，本申请实施例提供一种石英舟散热装置，包括壳体、支撑架、导风件以及排风口。壳体包括沿第一预设方向相对分布的第一侧壁和第二侧壁，且第一侧壁设有多个通风口；支撑架连接于壳体内壁，支撑架用于支撑石英舟；导风件连接于壳体内壁，导风件位于支撑架下方，通风口位于支撑架和导风件之间，支撑架和导风件被配置为二者之间的气流能够吹到支撑架上方；导风件的一端靠近第一侧壁，导风件的另一端朝壳体的顶部方向倾斜延伸，用于将从通风口进入的冷风导向支撑架；排风口开设于壳体，并位于支撑架的上方。
[0006]上述技术方案中，散热装置内的高温硅片以及石英舟通过对壳体内的空气加热，使得壳体内的空气膨胀然后从排风口排出，导致壳体内压强低于壳体外，从而形成压力差；通风口用于在压力差下将室外冷空气通入散热装置的壳体内，支撑架用于支撑石英舟，导风件用于将通风口进入的冷风吹向支撑架，以使位于支撑架上方的石英舟能够通过和冷空气进行热交换来降低温度，排风口用于将高温热风排出壳体外，该散热装置能够在不借助外来驱动力的情况下，依靠硅片和石英舟的高热量形成循环气流来实现硅片和石英舟的降温目的，从而能够在降温过程中保证硅片的洁净度，进而保证硅片良率。
[0007]在一些可选的实施方案中，支撑架开设有多个孔洞，多个孔洞沿石英舟散热装置的高度方向贯穿支撑架。
[0008]上述技术方案中，支撑架开设有多个沿石英舟散热装置的高度方向贯穿支撑架的孔洞，使得冷风可以在导风件的作用下直接穿过孔洞吹向石英舟，从而提高降温效率。
[0009]在一些可选的实施方案中，在石英舟散热装置的高度方向上，支撑架用于支撑石英舟的部位的正投影位于导风件的正投影内。
[0010]上述技术方案中，支撑架用于支撑石英舟的部位的正投影位于导风件的正投影内，该设置使得冷风经过导风件导向以后可以跟支撑架用于支撑石英舟的整个部位进行热交换，从而增加换热面积，进而提高降温效率。
[0011]在一些可选的实施方案中，在石英舟散热装置的高度方向上，支撑架的正投影位于导风件的正投影内。
[0012]上述技术方案中，支撑架的正投影位于导风件的正投影内，该设置使得冷风经过导风件导向以后可以跟整个支撑架进行热交换，从而进一步增加换热面积，进而更大程度地提高降温效率。
[0013]在一些可选的实施方案中，在第一预设方向上，支撑架远离第一侧壁的一端与导风件远离第一侧壁的一端连接。
[0014]上述技术方案中，支撑架远离第一侧壁的一端与导风件远离第一侧壁的一端连接，该设置使得支撑架与导风件之间形成一个相对封闭的空间，从而让通风口进来的冷风基本都通过孔洞直接吹向石英舟，使得降温效率得到进一步提高。
[0015]在一些可选的实施方案中，在石英舟散热装置的高度方向上，支撑架设置有多个，每个支撑架的下方均设置有一个导风件，以使任意两个相邻的支撑架被隔开；在第一预设方向上，多个导风件与第二侧壁之间设有气流通道；气流通道与排风口连通。
[0016]上述技术方案中，设置多个支撑架，能够实现多个石英舟的同步降温，相较于仅设置一个支撑架的形式，能够在处理批量石英舟时，大幅缩短降温时间；此外，多个导风件的设置，能够使得相邻两个支撑架被隔开，从而能够有效避免高温石英舟在冷却降温过程中相互影响，进而保证降温效果；再者，多个导风件与第二侧壁之间设有气流通道，并且将气流通道与排风口连通，便于换热后产生的热风通过排风口及时排出壳体，从而保证降温效率。
[0017]在一些可选的实施方案中，在石英舟散热装置的高度方向上，导风件靠近第一侧壁的一端到其下方相邻的支撑架的距离大于石英舟的高度尺寸。
[0018]上述技术方案中，多个导风件靠近第一侧壁的一端到支撑架的距离均大于石英舟的高度尺寸，该设置使得相邻两个支撑架之间存在适宜的间距，从而能够更有效地避免高温的石英舟相互影响，进而使得每个石英舟均能够在尽可能短的时间内完成降温。
[0019]在一些可选的实施方案中，在第一预设方向上，导风件靠近第一侧壁的一端与第一侧壁抵接。
[0020]上述技术方案中，导风件靠近第一侧壁的一端与第一侧壁抵接，该设置能够使得从上方石英舟掉落下来的硅粉以及其他颗粒均被导风件拦截下来，从而更好地保证位于下方的石英舟以及石英舟内的硅片的洁净度；此外，导风件由于自身存在一定倾斜角度，还能够将拦截下来的硅粉、颗粒等集中收集到靠近第一侧壁的角落，也便于后期集中进行清理。
[0021]在一些可选的实施方案中，排风口开设在壳体的顶部。
[0022]上述技术方案中，将排风口开设在壳体的顶部，使得通风口和排风口间隔较远，从而能够有效避免二者相互影响，保证循环气流的通畅性；并且该设置还能够使得换热后产生的热风更容易地排出壳体，从而保证降温速率。
[0023]第二方面，本申请实施例提供一种硅片扩散装置，包括扩散炉以及第一方面实施例提供的石英舟散热装置，扩散炉位于石英舟扩散装置的上游。
[0024]上述技术方案中，硅片扩散装置包括第一方面实施例提供的石英舟散热装置，能够在不借助外来驱动力的情况下，依靠硅片和石英舟的高热量形成循环气流来实现硅片和石英舟的降温目的，从而能够降在温过程中保证硅片的洁净度，进而保证硅片良率。
附图说明
[0025]为了更清楚地说明本申请实施例的技术方案，下面将对实施例中所需要使用的附图作简单地介绍，应当理解，以下附图仅示出了本申请的某些实施例，因此不应被看作是对范围的限定，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他相关的附图。
[0026]图1为本申请实施例提供的一种石英舟散热装置的结构示意图；
[0027]图2为图1中I处在侧视图视角下的局部示意图；
[0028]图3为本申请实施例提供的另一种石英舟散热装置的结构示意图；
[0029]图4为本申请实施例提供的又一种石英舟散热装置的结构示意图；
[0030]图5为本申请实施例提供的一种硅片扩散装置的结构示意图。
[0031]图标：10
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石英舟散热装置；100
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壳体；110
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第一侧壁；111
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通风口；120
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第二侧壁；200
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【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种石英舟散热装置，其特征在于，包括：壳体，所述壳体包括沿第一预设方向相对分布的第一侧壁和第二侧壁，且所述第一侧壁设有多个通风口；支撑架，所述支撑架连接于所述壳体内壁，所述支撑架用于支撑石英舟；导风件，所述导风件连接于所述壳体内壁，所述导风件位于所述支撑架下方，所述通风口位于所述支撑架和所述导风件之间，所述支撑架和所述导风件被配置为二者之间的气流能够吹到所述支撑架上方；所述导风件的一端靠近所述第一侧壁，所述导风件的另一端朝所述壳体的顶部方向倾斜延伸，用于将从所述通风口进入的冷风导向所述支撑架；以及排风口，所述排风口开设于所述壳体，并位于所述支撑架的上方。2.根据权利要求1所述的石英舟散热装置，其特征在于，所述支撑架开设有多个孔洞，多个所述孔洞沿所述石英舟散热装置的高度方向贯穿所述支撑架。3.根据权利要求2所述的石英舟散热装置，其特征在于，在所述石英舟散热装置的高度方向上，所述支撑架用于支撑所述石英舟的部位的正投影位于所述导风件的正投影内。4.根据权利要求3所述的石英舟散热装置，其特征在于，在所述石英舟散热装置的高度方向上，所述支撑架的正投影位于所述导风件的正投影内...
【专利技术属性】
技术研发人员：周公庆，
申请(专利权)人：通威太阳能眉山有限公司，
类型：新型
国别省市：
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