一种石英舟散热装置以及硅片扩散装置制造方法及图纸

本申请提供一种石英舟散热装置以及硅片扩散装置，属于太阳能电池制造领域。石英舟散热装置包括壳体、支撑架、导风件以及排风口。壳体包括沿第一预设方向相对分布的第一侧壁和第二侧壁，且第一侧壁设有多个通风口；支撑架连接于壳体内壁，支撑架用于支撑石英舟；导风件连接于壳体内壁，导风件位于支撑架下方，通风口位于支撑架和导风件之间，支撑架和导风件被配置为二者之间的气流能够吹到支撑架上方；导风件的一端靠近第一侧壁，导风件的另一端朝壳体的顶部方向倾斜延伸，用于将从通风口进入的冷风导向支撑架；排风口开设于壳体，并位于支撑架的上方，该装置能够有效避免在降温过程中对硅片造成污染，从而保证硅片良率。从而保证硅片良率。从而保证硅片良率。

【技术实现步骤摘要】
一种石英舟散热装置以及硅片扩散装置


[0001]本申请涉及太阳能电池制造领域，具体而言，涉及一种石英舟散热装置以及硅片扩散装置。

技术介绍

[0002]现有技术中，硅片扩散工艺完成以后，由于硅片和石英舟的温度较高，需要降温以后才能进行卸片，当前，主要通过冷却风扇结合冷却支架的方式来对硅片以及石英舟进行降温，但是，该降温方式容易对硅片造成污染，导致硅片良率较低。

技术实现思路

[0003]本申请的目的在于提供一种石英舟散热装置以及硅片扩散装置，能够有效避免在降温过程中对硅片造成污染，从而保证硅片良率。
[0004]本申请的实施例是这样实现的：
[0005]第一方面，本申请实施例提供一种石英舟散热装置，包括壳体、支撑架、导风件以及排风口。壳体包括沿第一预设方向相对分布的第一侧壁和第二侧壁，且第一侧壁设有多个通风口；支撑架连接于壳体内壁，支撑架用于支撑石英舟；导风件连接于壳体内壁，导风件位于支撑架下方，通风口位于支撑架和导风件之间，支撑架和导风件被配置为二者之间的气流能够吹到支撑架上方；导风件的一端靠近第一侧壁，导风件的另本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种石英舟散热装置，其特征在于，包括：壳体，所述壳体包括沿第一预设方向相对分布的第一侧壁和第二侧壁，且所述第一侧壁设有多个通风口；支撑架，所述支撑架连接于所述壳体内壁，所述支撑架用于支撑石英舟；导风件，所述导风件连接于所述壳体内壁，所述导风件位于所述支撑架下方，所述通风口位于所述支撑架和所述导风件之间，所述支撑架和所述导风件被配置为二者之间的气流能够吹到所述支撑架上方；所述导风件的一端靠近所述第一侧壁，所述导风件的另一端朝所述壳体的顶部方向倾斜延伸，用于将从所述通风口进入的冷风导向所述支撑架；以及排风口，所述排风口开设于所述壳体，并位于所述支撑架的上方。2.根据权利要求1所述的石英舟散热装置，其特征在于，所述支撑架开设有多个孔洞，多个所述孔洞沿所述石英舟散热装置的高度方向贯穿所述支撑架。3.根据权利要求2所述的石英舟散热装置，其特征在于，在所述石英舟散热装置的高度方向上，所述支撑架用于支撑所述石英舟的部位的正投影位于所述导风件的正投影内。4.根据权利要求3所述的石英舟散热装置，其特征在于，在所述石英舟散热装置的高度方向上，所述支撑架的正投影位于所述导风件的正投影内...

【专利技术属性】
技术研发人员：周公庆，
申请(专利权)人：通威太阳能眉山有限公司，
类型：新型
国别省市：