本实用新型专利技术涉及晶圆清洗设备领域，公开了一种便携式湿法腐蚀装置，包括用于固定晶圆的载台、用于驱动载台规则运动的升降旋转机构以及用于将升降旋转机构安装在玻璃缸上的安装架，升降旋转机构包括安装壳体、转动套筒、往复丝杆、螺纹套和驱动组件，安装架固定在安装壳体上，转动套筒转动安装在安装壳体内，驱动组件用于驱动转动套筒转动，往复丝杆的上端滑动安装在转动套筒内，往复丝杆的下端贯穿至安装壳体外并与载台固定，螺纹套固定在壳体内，往复丝杆穿过螺纹套并与螺纹套螺纹连接。本实用新型专利技术既使得晶圆能够充分与溶液接触，提高湿法腐蚀加工质量，同时也使得载台实现规则运动，降低溶液碰撞溅射的风险，以及降低晶圆破片的风险。风险。风险。
【技术实现步骤摘要】
一种便携式湿法腐蚀装置
[0001]本技术涉及晶圆清洗设备
，尤其涉及一种便携式湿法腐蚀装置。
技术介绍
[0002]目前，半导体行业正在飞速发展和进步，新的工艺、新的性能、新的器件不断被开发使用。而在工艺研发阶段，工程师们需要进行大量的实验和验证，需要不断尝试使用不同溶液或者溶液之间的不同配比进行实验，而每次新的实验开始都需要对盛装溶液的容器进行更换和清洗,确保实验的准确性，考虑到溶液更换和清洗的频率，所以量产用的全自动的腐蚀清洗设备并不适用。
[0003]因此，在大多数情况下，为了降低成本，为了缩短试验周期，更快的获得实验结果，常常使用比较方便的玻璃缸作为溶液的载具，再通过简单的夹具或者晶圆存储盒，将晶圆放入玻璃缸的溶液内，对晶圆进行腐蚀清洗。在这一过程中，为了使腐蚀清洗效果均匀，往往伴随之手动摇晃夹具，以达到高效、模拟自动量产设备状态的目的，提高晶圆的腐蚀速率。但是在作业人员摇晃夹具时，夹具的运动轨迹不规则，存在溶液碰撞溅射、晶圆漂移等情况，危害作业人员的健康，也有碎片的风险。而且由于每个人的习惯、摇晃动作不一致，引入了不可控的人为因素，可能会误导实验结果。
技术实现思路
[0004]有鉴于此，本技术的目的是提供一种便携式湿法腐蚀装置，解决了
技术介绍
中指出的在作业人员摇晃夹具时，夹具的运动轨迹不规则，存在溶液碰撞溅射的问题。
[0005]本技术通过以下技术手段解决上述技术问题：
[0006]一种便携式湿法腐蚀装置，包括用于固定晶圆的载台、用于驱动载台规则运动的升降旋转机构以及用于将升降旋转机构安装在玻璃缸上的安装架。
[0007]进一步，所述升降旋转机构包括安装壳体、转动套筒、往复丝杆、螺纹套和驱动组件，所述安装架固定在安装壳体上，所述转动套筒转动安装在安装壳体内，所述驱动组件用于驱动转动套筒转动，所述往复丝杆的上端滑动安装在转动套筒内，所述往复丝杆的下端贯穿至安装壳体外并与载台固定，所述螺纹套固定在壳体内，所述往复丝杆穿过螺纹套并与螺纹套螺纹连接。
[0008]进一步，所述转动套筒的内侧壁上沿轴向开设有限位滑槽，所述往复丝杆靠近上端的侧壁上固定有滑动键，所述滑动键滑动安装于限位滑槽内。
[0009]进一步，所述驱动组件包括第一锥齿轮、第二锥齿轮、转动轴和把手，所述第一锥齿轮固定在转动套筒上，所述转动轴转动安装在安装壳体上，所述转动轴的一端延伸至安装壳体内并与第二锥齿轮固定，所述第二锥齿轮与第一锥齿轮相互啮合，所述转动轴的一端延伸至安装壳体外并与把手固定。
[0010]进一步，所述安装壳体上固定有限位套筒，所述转动轴贯穿限位套筒并转动安装在限位套筒内。
[0011]进一步，所述载台包括弯折托架、两块能够相互抱合的弧形托板和用于连接两块弧形托板的连接件，所述弧形托板内凹的一侧设有用于安装晶圆的卡槽，当两块所述弧形托板相互抱合后，两块弧形托板共同围成环形板状，两个卡槽共同围成适配晶圆边缘的环形槽状，所述弯折托架的上端固定在往复丝杆的下端，所述弯折托架的下端与其中一个弧形托板固定。
[0012]进一步，所述连接件包括子件、母件和固定螺栓，所述子件固定在其中一个弯折托架的端部，所述母件固定在另一个弯折托架靠近子件的一端上，所述母件上具有供子件插入的插槽，所述母件上具有插孔，所述子件上具有螺纹孔，当所述子件插入母件的插槽内后，所述固定螺栓能够穿过插孔并螺纹连接在螺纹孔内。
[0013]进一步，所述安装架包括固定框、两个伸缩支架和两个夹具，所述固定框固定在安装壳体外，两个所述伸缩支架分别固定在固定框的两侧，两个所述夹具分别固定在两个伸缩支架远离固定框的一端。
[0014]本技术的有益效果：
[0015]1、本技术通过设置载台、升降旋转机构、安装架等结构，既使得晶圆能够充分与溶液接触，提高湿法腐蚀加工质量，同时也使得载台实现规则运动，降低溶液碰撞溅射的风险，以及降低晶圆破片的风险。
[0016]2、本技术通过弧形托板、连接件等结构，既便于安装晶圆，又能够对晶圆起到固定效果，降低晶圆受损或者破片的风险。
附图说明
[0017]图1是本技术一种便携式湿法腐蚀装置的结构示意图；
[0018]图2是本技术的剖视图；
[0019]图3是本技术中为展示如何安装晶圆的结构示意图；
[0020]其中，1、载台；11、弯折托架；12、弧形托板；121、卡槽；23、连接件；231、子件；232、母件；233、固定螺栓；2、升降旋转机构；21、安装壳体；211、限位套筒；22、转动套筒；221、限位滑槽；23、往复丝杆；231、滑动键；24、螺纹套；25、驱动组件；251、第一锥齿轮；252、第二锥齿轮；253、转动轴；254、把手；3、安装架；31、固定框；32、伸缩支架；33、夹具。
具体实施方式
[0021]以下通过特定的具体实施例说明本技术的实施方式，本领域技术人员可由本说明书所揭露的内容了解本技术的优点和功效。需要说明的是，以下实施例中所提供的图示仅用于示例性说明，表示的仅是示意图，而非实物图，不能理解为对本技术的限制，为了更好地说明本技术的实施例，图中某些部件会有省略、放大或缩小，并不代表实际产品的尺寸；对本领域技术人员来说，图中某些公知结构及其说明可能省略是可以理解的。
[0022]本技术实施例的图中相同或相似的标号对应相同或相似的部件，在本技术的描述中，需要理解的是，若有术语“上”、“下”、“左”、“右”、“前”、“后”等指示的方位或位置关系为基于图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本技术和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此图
中描述位置关系的用语仅用于示例性说明，不能理解为对本技术的限制，对于本领域的普通技术人员而言，可以根据具体情况理解上述用于的具体含义。
[0023]如图1和图2所示，本技术的一种便携式湿法腐蚀装置，包括载台1、升降旋转机构2和安装架3，载台1用于固定晶圆，升降旋转机构2用于驱动载台1实现规则运动，安装架3用于将升降旋转机构2安装在玻璃缸上。升降旋转机构2包括安装壳体21、转动套筒22、往复丝杆23、螺纹套24和驱动组件25，安装架3固定在安装壳体21上，转动套筒22通过轴承转动安装在安装壳体21内，驱动组件25用于驱动转动套筒22转动，往复丝杆23的上端竖向滑动安装在转动套筒22内，往复丝杆23的下端贯穿至安装壳体21外，并与载台1固定，螺纹套24通过多根连接杆固定在壳体内，往复丝杆23穿出螺纹套24，并与螺纹套24螺纹连接。
[0024]当需要清洗晶圆时，首先将晶圆固定到载台1上，然后将载台1连同晶圆没入玻璃缸的溶液内，再通过安装架3将整个装置固定在玻璃缸上。此时，便可以通过驱动组件25驱动转动套筒22转动，转动套筒22再带动往复丝杆23转动。然后再往复丝杆23与螺纹套24的相互配合下，持续转本文档来自技高网...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种便携式湿法腐蚀装置，其特征在于：包括用于固定晶圆的载台、用于驱动载台规则运动的升降旋转机构以及用于将升降旋转机构安装在玻璃缸上的安装架。2.根据权利要求1所述的一种便携式湿法腐蚀装置，其特征在于：所述升降旋转机构包括安装壳体、转动套筒、往复丝杆、螺纹套和驱动组件，所述安装架固定在安装壳体上，所述转动套筒转动安装在安装壳体内，所述驱动组件用于驱动转动套筒转动，所述往复丝杆的上端滑动安装在转动套筒内，所述往复丝杆的下端贯穿至安装壳体外并与载台固定，所述螺纹套固定在壳体内，所述往复丝杆穿过螺纹套并与螺纹套螺纹连接。3.根据权利要求2所述的一种便携式湿法腐蚀装置，其特征在于：所述转动套筒的内侧壁上沿轴向开设有限位滑槽，所述往复丝杆靠近上端的侧壁上固定有滑动键，所述滑动键滑动安装于限位滑槽内。4.根据权利要求3所述的一种便携式湿法腐蚀装置，其特征在于：所述驱动组件包括第一锥齿轮、第二锥齿轮、转动轴和把手，所述第一锥齿轮固定在转动套筒上，所述转动轴转动安装在安装壳体上，所述转动轴的一端延伸至安装壳体内并与第二锥齿轮固定，所述第二锥齿轮与第一锥齿轮相互啮合，所述转动轴的一端延伸至安装壳体外并与把手固定。5.根据权利要求4所述的一种便携式湿法腐蚀装置，其...
【专利技术属性】
技术研发人员：张健，李洋，吴红迪，范毓，孙肖亭，
申请(专利权)人：威科赛乐微电子股份有限公司，
类型：新型
国别省市：
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