本发明专利技术涉及芯片加工设备技术领域，特别涉及一种可调节排风量的风盒装置。该装置包括支座及设置于支座上的风盒和双轴电机，其中风盒内设有风道，风道两端内壁上分别设有上挡板和下挡板，风盒的中间位置通过转轴安装有转板；双轴电机的第一输出轴通过联轴器与转轴连接，双轴电机驱动转板转动，从而调节风盒内风道的风量；当转板处于竖直位置时，转板的上下端分别与上挡板和下挡板抵接，封闭风盒；双轴电机的第二输出轴与手轮连接。本发明专利技术通过启动双轴电机，双轴电机的第一输出轴带动转板进行转动，通过转动的转板实现调节风盒内风量的目的，对芯片单元腔室内的风流进行实时控制。对芯片单元腔室内的风流进行实时控制。对芯片单元腔室内的风流进行实时控制。
【技术实现步骤摘要】
一种可调节排风量的风盒装置
[0001]本专利技术涉及芯片加工设备
，特别涉及一种可调节排风量的风盒装置。
技术介绍
[0002]芯片指集成电路，电路制造在半导体芯片表面上的集成电路又称薄膜集成电路。另有一种厚膜集成电路是由独立半导体设备和被动组件，集成到衬底或线路板所构成的小型化电路，芯片制作完整过程包括芯片设计、晶片制作、封装制作、测试等几个环节，其中晶片制作过程尤为的复杂。
[0003]芯片单元腔室内的风流对芯片工艺有很大影响，尤其在涂胶领域，对风流进行控制调节能够使得芯片产品质量显著提高，但是现有的芯片加工工艺不具备对芯片单元腔室内的风流进行实时控制的功能，因此需要提出一种可调节排风量的风盒装置。
技术实现思路
[0004]针对上述问题，本专利技术的目的在于提供一种可调节排风量的风盒装置，该装置具备对芯片单元腔室内的风流进行实时控制的优点，以解决上述
技术介绍
中提出的问题。
[0005]为实现上述目的，本专利技术提供如下技术方案：
[0006]本专利技术一实施例提供一种可调节排风量的风盒装置，包括支座及设置于支座上的风盒和双轴电机，其中风盒内设有风道，风道的两端内壁上分别设有上挡板和下挡板，风盒的中间位置通过转轴安装有转板；双轴电机的第一输出轴通过联轴器与转轴连接，双轴电机驱动转板转动，从而调节风盒内风道的风量；当所述转板处于竖直位置时，转板的上下端分别与上挡板和下挡板抵接，封闭风盒内的风道；双轴电机的第二输出轴与手轮连接。
[0007]优选地，所述支座上设有第一支撑板和第二支撑板，所述双轴电机设置于第一支撑板和第二支撑板之间，且安装在第二支撑板上，所述双轴电机的第一输出轴贯穿第二支撑板且通过第二轴承与第二支撑板连接；所述双轴电机的第二输出轴贯穿第一支撑板且通过第一轴承与第一支撑板连接；所述双轴电机的第一输出轴或第二输出轴上通过摆杆连接有位置传感器。
[0008]优选地，所述风盒为圆筒形结构，且两端分别与进风管和排风管连接。
[0009]优选地，所述手轮与所述第一支撑板之间设有手轮限位机构，手轮限位机构用于限制或释放所述手轮转动。
[0010]优选地，所述手轮限位机构包括限位杆、复位导向机构及驱动机构，其中限位杆设置于所述手轮与所述第一支撑板之间，且限位杆的一端与所述手轮滑动连接；所述手轮为中空结构，驱动机构和复位导向机构均容置于所述手轮的空腔内，驱动机构用于驱动限位杆伸出，使限位杆的另一端与所述第一支撑板抵接，实现对所述手轮的锁紧；复位导向机构用于限位杆的复位及对限位杆的伸缩进行导向。
[0011]优选地，所述驱动机构包括块体、螺杆、螺套及导杆，其中块体与所述手轮的腔体内壁连接；螺杆的一端插入所述手轮的腔体内且与块体接触；螺套与螺杆螺纹连接，导杆的
一端与螺套的一侧连接，导杆的另一端设有转轮，转轮与所述限位杆的一端端部抵接。
[0012]优选地，所述螺套的另一侧设有导向销，所述手轮的腔体内壁上设有与导向销配合的导向槽，所述螺套在所述螺杆上移动时，导向销在导向槽内滑动。
[0013]优选地，所述限位杆包括斜块、连接杆及锥杆，其中连接杆的一端插设于所述手轮的腔体内，且与斜块连接，斜块与所述转轮接触；锥杆与连接杆的另一端连接。
[0014]优选地，所述复位导向机构包括固定座、滑杆及弹簧，其中固定座设置于所述斜块的底部，滑杆与所述连接杆平行设置，且一端与所述手轮的腔体内壁连接，滑杆的另一端与固定座滑动连接，弹簧套设于滑杆上，且两端分别与所述手轮的腔体内壁和固定座抵接。
[0015]优选地，所述第一支撑板上设有环形齿牙，环形齿牙环绕所述双轴电机的第二输出轴布设；所述锥杆的尖端部插入环形齿牙内，实现所述手轮的锁紧。
[0016]与现有技术相比，本专利技术的优点及有益效果是：
[0017]本专利技术通过启动双轴电机带动转板进行转动，转动的转板可以改变风盒内的横截面未被上挡板和下挡板遮挡部分的面积，从而实现调节风盒内风量的目的；在涂胶领域，对风流进行控制调节能够使得芯片产品质量显著提高。
附图说明
[0018]图1为本专利技术一种可调节排风量的风盒装置的俯视轴测图；
[0019]图2为本专利技术一种可调节排风量的风盒装置的前视轴测图；
[0020]图3为本专利技术一种可调节排风量的风盒装置的后视轴测图；
[0021]图4为本专利技术中限定机构的结构示意图；
[0022]图5为本专利技术中手轮的局部剖视图；
[0023]图6为本专利技术中环形齿牙的结构示意图；
[0024]图中：1、支座；2、风盒；3、上挡板；4、下挡板；5、转板；6、双轴电机；7、联轴器；8、转轴；9、摆杆；10、位置传感器；11、第一支撑板；12、手轮；13、第二支撑板；14、进风管；15、排风管；16、块体；17、螺杆；18、螺套；19、导杆；20、转轮；21、斜块；22、固定座；23、滑杆；24、弹簧；25、连接杆；26、锥杆；27、环形齿牙。
具体实施方式
[0025]为使本专利技术实施方式的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合本专利技术实施方式中的附图，对本专利技术实施方式中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施方式是本专利技术一部分实施方式，而不是全部的实施方式。基于本专利技术中的实施方式，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施方式，都属于本专利技术保护的范围。因此，以下对在附图中提供的本专利技术的实施方式的详细描述并非旨在限制要求保护的本专利技术的范围，而是仅仅表示本专利技术的选定实施方式。基于本专利技术中的实施方式，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施方式，都属于本专利技术保护的范围。
[0026]实施例一
[0027]请参阅图1
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3所示，本专利技术提供一种可调节排风量的风盒装置，包括支座1及设置于支座1上的风盒2和双轴电机6，其中支座1用于对风盒2和双轴电机6进行安装和固定，风
盒2内设有风道，风道的一端内壁顶部设有上挡板3，风道的另一端内壁底部设有下挡板4，上挡板3和下挡板4的投影只会挡住风盒2部分的横截面，不会将风道完全封闭。风盒2的中间位置通过转轴8安装有转板5；双轴电机6的第一输出轴通过联轴器7与转轴8连接，双轴电机6通过转轴8驱动转板5转动，从而调节风盒2内风道的风量；当转板5处于竖直位置时，转板5的上下端分别与上挡板3和下挡板4抵接，封闭风盒2内的风道；双轴电机6的第二输出轴与手轮12连接，通过设置手轮12还能够实现手动控制的目的，在电力或供电线路出现意外故障时或不习惯电动控制时，可以手动对第二输出轴进行转动，从而达到对风量进行调节的目的。
[0028]本专利技术的实施例中，支座1上设有第一支撑板11和第二支撑板13，双轴电机6设置于第一支撑板11和第二支撑板13之间，且安装在第二支撑板13上，双轴电机6的第一输出轴贯穿第二支撑板13且通过第二轴承与第二支撑板13连接；双轴电机6的第二输出轴贯穿第一支撑板11且通过第一轴本文档来自技高网...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种可调节排风量的风盒装置，其特征在于，包括支座(1)及设置于支座(1)上的风盒(2)和双轴电机(6)，其中风盒(2)内设有风道，风道的两端内壁上分别设有上挡板(3)和下挡板(4)，风盒(2)的中间位置通过转轴(8)安装有转板(5)；双轴电机(6)的第一输出轴通过联轴器(7)与转轴(8)连接，双轴电机(6)驱动转板(5)转动，从而调节风盒(2)内风道的风量；当所述转板(5)处于竖直位置时，转板(5)的上下端分别与上挡板(3)和下挡板(4)抵接，封闭风盒(2)内的风道；双轴电机(6)的第二输出轴与手轮(12)连接。2.根据权利要求1所述的可调节排风量的风盒装置，其特征在于，所述支座(1)上设有第一支撑板(11)和第二支撑板(13)，所述双轴电机(6)设置于第一支撑板(11)和第二支撑板(13)之间，且安装在第二支撑板(13)上，所述双轴电机(6)的第一输出轴贯穿第二支撑板(13)且通过第二轴承与第二支撑板(13)连接；所述双轴电机(6)的第二输出轴贯穿第一支撑板(11)且通过第一轴承与第一支撑板(11)连接；所述双轴电机(6)的第一输出轴或第二输出轴上通过摆杆(9)连接有位置传感器(10)。3.根据权利要求2所述的可调节排风量的风盒装置，其特征在于，所述风盒(2)为圆筒形结构，且两端分别与进风管(14)和排风管(15)连接。4.根据权利要求2
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3任一项所述的可调节排风量的风盒装置，其特征在于，所述手轮(12)与所述第一支撑板(11)之间设有手轮限位机构，手轮限位机构用于限制或释放所述手轮(12)转动。5.根据权利要求4所述的可调节排风量的风盒装置，其特征在于，所述手轮限位机构包括限位杆、复位导向机构及驱动机构，其中限位杆设置于所述手轮(12)与所述第一支撑板(11)之间，且限位杆的一端与所述手轮(12)滑动连接；所述手轮(12)为中空结构，驱动机构和复位导向机构均容置于所述手轮(12)的空腔内，驱动机构用于驱动限位杆伸出，使限...
【专利技术属性】
技术研发人员：魏猛，王阳，张佳男，
申请(专利权)人：芯达半导体设备苏州有限公司，
类型：发明
国别省市：
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